真空鍍膜機的真空涂層技術起步時間不長,國際上在上世紀六十年代才出現將CVD(化學氣相沉積)技術應用于硬質合金刀具上。由于該技術需在高溫下進行(工藝溫度高于1000oC),涂層種類單一,局限性很大,起初并未得到推廣。到了上世紀七十年代末,開始出現PVD(物理的氣相沉積)技術,之后在短短的二、三十年間真空鍍膜機的PVD涂層技術得到迅猛發(fā)展,究其原因:(1)其在真空密封的腔體內成膜,幾乎無任何環(huán)境污染問題,有利于環(huán)保;(2)其能得到光亮、華貴的表面,在顏色上,成熟的有七彩色、銀色、透明色、金黃色、黑色、以及由金黃色到黑色之間的任何一種顏色,能夠滿足裝飾性的各種需要;(3)可以輕松得到其他方法難以獲得的高硬度、高耐磨性的陶瓷涂層、復合涂層,應用在工裝、模具上面,可以使壽命成倍提高,較好地實現了低成本、收益高的效果;(4)此外,PVD涂層技術具有低溫、高能兩個特點,幾乎可以在任何基材上成膜,因此,應用范圍十分廣闊,其發(fā)展神速也就不足為奇。真空鍍膜機是在真空室中利用電阻加熱法。電子束蒸鍍機設備規(guī)格
真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜,真空鍍膜有很多種類,包括真空離子蒸發(fā),磁控濺射,MBE分子束外延,PLD激光濺射沉積等很多種。應用較多的是蒸發(fā)和濺射兩種。蒸發(fā)鍍膜和磁探濺射鍍膜的特點如下:一、對于蒸發(fā)鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發(fā)出來,并且沉降在基片表面,通過成膜過程(散點-島狀結構-迷走結構-層狀生長)形成薄膜。1、厚度均勻性主要取決于:A.基片材料與靶材的晶格匹配程度;B.基片表面溫度;C.蒸發(fā)功率、速率;D.真空度;E.鍍膜時間、厚度大小。2、組分均勻性:蒸發(fā)鍍膜組分均勻性不是很容易保證,具體可以調控的因素同上,但是由于原理所限,對于非單一組分鍍膜,蒸發(fā)鍍膜的組分均勻性不好。河南半導體蒸鍍機真空鍍膜機在重新開機前,要注意檢漏工作。
如何正確維護真空鍍膜機?1、例行保養(yǎng)生產設備中發(fā)現了一個不好的跡象,立即解決。真空鍍膜機的油要定期更換,等待維修時間,轉子泵嚴重磨損可能。例如,軸承的一些卡工件轉架,更換軸承,然后等到它完全打破了,可真是個大問題,鍍膜機可能會導致轉架電機燒毀等。2、定期檢修,鍍膜機有人會問一個日常的維護也需要定期維護?事實上,每個設備都有它自己的生命,如2年油擴散泵的使用壽命,提前更換,鍍膜機在生產階段沒有問題。要你把日常維護和定期檢修,對設備的使用壽命,在同一時間的延長,生產過程中的失效概率減少,提高了生產效率。
真空蒸鍍工藝一般包括基片表面清潔、鍍膜前的準備、蒸鍍、取件、鍍后處理、檢測、成品等步驟。(1)基片表面清潔。真空室內壁、基片架等表面的油污、銹跡、殘余鍍料等在真空中易蒸發(fā),直接影響膜層的純度和結合力。鍍前必須清沽干凈。(2)鍍前準備。鍍膜室抽真空到合適的真空度,對基片和鍍膜材料進行預處理。加熱基片,其目的是去除水分和增強膜基結合力。在高真空下加熱基片,能夠使基片的表面吸附的氣體脫附。然后經真空泵抽氣排出真空室,有利于提高鍍膜室真空度、膜層純度和膜基結合力。然后達到一定真空度后.先對蒸發(fā)源通以較低功率的電,進行膜料的預熱或者預熔,為防止蒸發(fā)到基板上,用擋板遮蓋住蒸發(fā)源及源物質,然后輸入較大功率的電,將鍍膜材料迅速加熱到蒸發(fā)溫度,蒸鍍時再移開擋板。(3)蒸鍍。在蒸鍍階段要選擇合適的基片溫度、鍍料蒸發(fā)溫度外,沉積氣壓是一個很重要的參數。沉積氣壓即鍍膜室的真空度高低,決定了蒸鍍空間氣體分子運動的平均自由程和一定蒸發(fā)距離下的蒸氣與殘余氣體原子及蒸氣原子之間的碰撞次數。(4)取件。膜層厚度達到要求以后,用擋板蓋住蒸發(fā)源并停止加熱,但不要馬上導入空氣。降低真空鍍膜設備室內空氣流動性低、需盡量減小室外灰塵侵入。
真空鍍膜機在塑料表面鍍鋁有哪些優(yōu)點?真空鍍膜機是塑料表面蒸發(fā)鍍鋁的專門的設備。成膜速度快,成膜性強,色澤鮮艷,不易污染。電鍍設備可獲得純度高、膜厚均勻、致密、無廢液和廢水,可防止環(huán)境污染。是進行大規(guī)模生產的理想設備。真空鍍膜機市場應用廣,主要應用于汽車反光網、工藝品、首飾、鞋帽、掛鐘、燈具、裝飾等行業(yè)。主要由真空室、排氣系統、蒸發(fā)系統和電氣設備組成。真空制備的鍍層能防止鍍層材料和鍍層零件的表面污染,消除空間碰撞,提高鍍層的細度,制備出具有單一化合物特殊功能的鍍層。為了提高涂層厚度的均勻性,采用行星機構或行星運動形式等旋轉運動設備的真空室具有良好的涂膜均勻性、良好的涂層臺階覆蓋性能、較大的承載能力,并能充分利用有用空間。這是一種常見的運動形式,排氣系統通常由機械泵、分散泵、管路和閥門組成。真空鍍膜機的觀察窗應能觀察到沉積源的情況以及其他關鍵部位。長沙小型蒸鍍機
真空鍍膜機是塑料表面蒸發(fā)鍍鋁的專門的設備。電子束蒸鍍機設備規(guī)格
真空鍍膜機鍍膜前的清洗:紫外線輻照清洗,利用紫外輻照來分解表面上的碳氫化合物。例如,在空氣中照射15h就可產生清潔的玻璃表面。如果把適當預清洗的表面放在一個產生臭氧的紫外線源中。要不了幾分鐘就可以形成清潔表面(工藝清潔)。這表明臭氧的存在增加了清潔速率。其清洗機理是:在紫外線照射下,污物分子受激并離解,而臭氧的生成和存在產生高活性的原子態(tài)氧。受激的污物分子和由污物離解產生的自由基與原子態(tài)氧作用。形成較簡單易揮發(fā)分子。如H203、CO2和N2,其反應速率隨溫度的增加而增加。電子束蒸鍍機設備規(guī)格
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