真空鍍膜機(jī)主要指一類(lèi)需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜，真空鍍膜有很多種類(lèi)，包括真空離子蒸發(fā)，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積等很多種。應(yīng)用較多的是蒸發(fā)和濺射兩種。蒸發(fā)鍍膜和磁探濺射鍍膜的特點(diǎn)如下：一、對(duì)于蒸發(fā)鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被蒸發(fā)出來(lái)，并且沉降在基片表面，通過(guò)成膜過(guò)程（散點(diǎn)－島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長(zhǎng)）形成薄膜。1、厚度均勻性主要取決于：A.基片材料與靶材的晶格匹配程度；B.基片表面溫度；C.蒸發(fā)功率、速率；D.真空度；E.鍍膜時(shí)間、厚度大小。2、組分均勻性：蒸發(fā)鍍膜組分均勻性不是很容易保證，具體可以調(diào)控的因素同上，但是由于原理所限，對(duì)于非單一組分鍍膜，蒸發(fā)鍍膜的組分均勻性不好。真空鍍膜機(jī)在真空密封的腔體內(nèi)成膜，幾乎無(wú)任何環(huán)境污染問(wèn)題，有利于環(huán)保。實(shí)驗(yàn)室真空蒸鍍?cè)O(shè)備供應(yīng)報(bào)價(jià)
真空鍍膜技術(shù)是在真空條件下采用物理或者化學(xué)方法，使物體表面獲取所需膜體，真空鍍膜技術(shù)根據(jù)其采用方法的不同各分成蒸發(fā)鍍、濺射鍍、離子鍍、束流沉積以及分子束外延等，這次分析的鍍膜設(shè)備采用的是磁控濺射鍍膜。真空室是真空鍍膜機(jī)的主要部件之一。鍍膜機(jī)真空室均配有各種元件，能夠滿(mǎn)足各種類(lèi)型的真空鍍膜的工藝要求。就像蒸發(fā)鍍膜機(jī)真空室內(nèi)置蒸發(fā)金屬的裝置的話(huà)，便能完成金屬薄膜的蒸鍍工藝。盡管鍍膜機(jī)真空室的可能適配的工藝不同，但基本上它的組成離不開(kāi)氣缸、封頭、法蘭、管道、門(mén)、水冷等結(jié)構(gòu)。真空室是真空設(shè)備的一個(gè)主要組成部位，真空鍍膜設(shè)備真空室設(shè)計(jì)主要考慮的就是密封性和可靠性，結(jié)構(gòu)須要合理，真空設(shè)備的材料生產(chǎn)都是在真空室內(nèi)進(jìn)行的。全自動(dòng)蒸鍍機(jī)設(shè)備廠(chǎng)家檢查真空鍍膜機(jī)電路各控制開(kāi)關(guān)能否正常斷開(kāi)閉合，電壓指示380±20V。
真空鍍膜機(jī)擴(kuò)散泵維修與保養(yǎng)：擴(kuò)散泵是真空鍍膜機(jī)的主要部件，為機(jī)器能運(yùn)作在良好狀態(tài)，平時(shí)對(duì)真空鍍膜機(jī)擴(kuò)散泵的維護(hù)和保養(yǎng)非常重要。1、擴(kuò)散泵工作過(guò)程中冷卻水必須保證暢通，停止加熱后必須保證泵工作液已完全冷卻后方可關(guān)閉冷卻水。2、擴(kuò)散泵停止工作時(shí)，泵內(nèi)應(yīng)保持真空狀態(tài)，以免泵油劣化。3、被抽氣體應(yīng)是干燥、無(wú)腐蝕、無(wú)灰塵的氣體。4、擴(kuò)散泵如暫時(shí)不用，保管期間應(yīng)該保持真空狀態(tài)，以免泵油污染和各零件腐蝕并將冷卻水套入的剩水吹凈。保持場(chǎng)地的室溫應(yīng)在10-40攝氏度之間。
真空鍍膜機(jī)擴(kuò)散泵維修與保養(yǎng)：1、擴(kuò)散泵在長(zhǎng)期工作后性能會(huì)逐漸變壞，應(yīng)定期檢查。如：泵油是否減少或氧化，按相應(yīng)要求加油或更換處理；零件及泵腔先用航空汽油清洗，然后用清水進(jìn)行擦洗，并置于80-100攝氏度溫度下烘干或用電吹風(fēng)吹干。處理完后，按順序進(jìn)行裝配，保持泵芯與泵底垂直與泵腔同心，各級(jí)噴嘴間隙要按原要求調(diào)整好。2、待水分揮發(fā)干以后裝好泵芯，加入新擴(kuò)散泵油，并裝回機(jī)體，接好水管，裝好電爐盤(pán)，便可以重新開(kāi)機(jī)。3、在重新開(kāi)機(jī)前，要注意檢漏工作。方法是：?jiǎn)?dòng)維護(hù)泵，關(guān)好真空室門(mén)，數(shù)分鐘后，觀(guān)察真空度是否6*10的0帕，否則要進(jìn)行檢漏，檢查連接處是否漏裝密封膠圈，或者壓壞密封圈。排除漏氣隱患后方可加熱，否則擴(kuò)散泵油會(huì)燒壞，無(wú)法進(jìn)入工作狀態(tài)。真空鍍膜機(jī)中的真空管道、靜態(tài)密封零部件（法蘭、密封圈等）的結(jié)構(gòu)形式，應(yīng)符合GB/T6070的規(guī)定。
真空鍍膜機(jī)的真空涂層技術(shù)起步時(shí)間不長(zhǎng)，國(guó)際上在上世紀(jì)六十年代才出現(xiàn)將CVD（化學(xué)氣相沉積）技術(shù)應(yīng)用于硬質(zhì)合金刀具上。由于該技術(shù)需在高溫下進(jìn)行（工藝溫度高于1000oC），涂層種類(lèi)單一，局限性很大，起初并未得到推廣。到了上世紀(jì)七十年代末，開(kāi)始出現(xiàn)PVD（物理的氣相沉積）技術(shù)，之后在短短的二、三十年間真空鍍膜機(jī)的PVD涂層技術(shù)得到迅猛發(fā)展，究其原因：（1）其在真空密封的腔體內(nèi)成膜，幾乎無(wú)任何環(huán)境污染問(wèn)題，有利于環(huán)保；（2）其能得到光亮、華貴的表面，在顏色上，成熟的有七彩色、銀色、透明色、金黃色、黑色、以及由金黃色到黑色之間的任何一種顏色，能夠滿(mǎn)足裝飾性的各種需要；（3）可以輕松得到其他方法難以獲得的高硬度、高耐磨性的陶瓷涂層、復(fù)合涂層，應(yīng)用在工裝、模具上面，可以使壽命成倍提高，較好地實(shí)現(xiàn)了低成本、收益高的效果；（4）此外，PVD涂層技術(shù)具有低溫、高能兩個(gè)特點(diǎn)，幾乎可以在任何基材上成膜，因此，應(yīng)用范圍十分廣闊，其發(fā)展神速也就不足為奇。真空鍍膜機(jī)設(shè)計(jì)焊縫結(jié)構(gòu)的時(shí)候，接頭一定要焊透，應(yīng)該避免產(chǎn)生聚集污物的有害空間。成都蒸發(fā)真空鍍膜機(jī)
真空鍍膜機(jī)在鍍膜的時(shí)候，需要鍍層表面的化學(xué)成分保持均勻性。實(shí)驗(yàn)室真空蒸鍍?cè)O(shè)備供應(yīng)報(bào)價(jià)
真空鍍膜機(jī)的保養(yǎng)：每完成200個(gè)鍍膜程序以上，應(yīng)清潔工作室一次。方法：用氫氧化鈉（NaOH）飽和溶液反復(fù)擦洗真空室內(nèi)壁，（注意人體皮膚不可以直接接觸燒堿溶液，以免灼傷）目的是使鍍上去的膜料鋁（AL）與NaOH發(fā)生反應(yīng)，反應(yīng)后膜層脫落，并釋放出氫氣，再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽閥內(nèi)的污垢。當(dāng)粗抽泵（滑閥泵，旋片泵）連續(xù)工作一個(gè)月（雨季減半），需更換新油。方法：擰開(kāi)放油螺栓，放掉舊油，再將泵啟動(dòng)數(shù)秒，使泵內(nèi)的舊油完全排放出來(lái)。擰回放油螺栓，加入新油至額定量（油視鏡觀(guān)察）。實(shí)驗(yàn)室真空蒸鍍?cè)O(shè)備供應(yīng)報(bào)價(jià)
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