激光干涉儀laserinterferometer以激光波長為已知長度利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量.工具激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種。激光具有高的強度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點。目前常用來測量長度的干涉儀,主要是以邁克爾遜干涉儀為主,并以穩(wěn)頻氦氖激光為光源,構(gòu)成一個具有干涉作用的測量系統(tǒng)。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平。常用于檢定測長機、三坐標(biāo)測量機、光刻機和加工中心等的坐標(biāo)精度,也可用作測長機、高精度三坐標(biāo)測量機等的測量系統(tǒng)。利用相應(yīng)附件,還可進行高精度直線度測量、平面度測量、回轉(zhuǎn)精度測量、平行度測量和小角度測量。影響激光干涉儀測量精度的因素包括:測量讀數(shù)軟件系統(tǒng)帶來的誤差。廣州工業(yè)級激光干涉儀哪個牌子好
激光干涉儀以其優(yōu)異的亞納米精度和精密度普遍應(yīng)用于光學(xué)表面的評價,在精密儀器的質(zhì)量控制與校準以及科研開發(fā)、設(shè)備制造等領(lǐng)域用途普遍。到激光干涉儀工作原理和一臺干涉儀所應(yīng)具備的基本組構(gòu)。激光干涉儀是精度較高的線性位移測量儀器,其光波可以直接對米進行定義,可溯源至國家標(biāo)準。激光束路徑與被測軸之間存在的任何未準直都會造成測得的距離和實際的運動距離之間有差異,此誤差被稱為余弦誤差。當(dāng)激光測量系統(tǒng)與運動軸未準直時,余弦誤差會使得測量的距離比實際距離要短。隨著未準直角度的增加,誤差也跟著明顯增加。品質(zhì)激光干涉儀推薦咨詢激光干涉儀具有快速、高準確測量的優(yōu)點。
激光干涉儀的使用方法:透鏡面形檢測:調(diào)節(jié)沉座到被檢透鏡的適合尺寸,(建議大批量固定透鏡的檢測,自己加工固定的沉座)放上透鏡調(diào)節(jié)高度和透鏡調(diào)節(jié)鈕使透鏡的星點與標(biāo)準鏡頭的星點重合,觀測顯示器是否出現(xiàn)干涉條紋,條紋越少精度越高。此外,干涉圖像與對準系統(tǒng)同步,無需切換,任何人都能簡單操作。高度調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)選擇加長的測試軌道來配合測量尺寸,可簡便的測量出曲率半徑。透鏡曲率半徑檢測:開啟標(biāo)尺電源開關(guān)(清零),調(diào)整圖像到看清直線干涉條紋(3條到5條),凸透鏡向上調(diào)節(jié)高度(凹透鏡向下調(diào)節(jié)高度)到第2個星點出現(xiàn)的時候調(diào)節(jié)標(biāo)準鏡頭調(diào)節(jié)旋鈕,使圖像出現(xiàn)貓眼像,標(biāo)尺移動的數(shù)值就為被測透鏡的曲率半徑。
激光干涉儀具有有線性測量鏡組、角度測量鏡組、平面度測量組件、直線度測量組件、垂直度測量鏡組、激光器準直輔助鏡等等,實際使用中,有些不同功能的鏡組也可以相互組合使用,以滿足測量需要。比如角度測量鏡組中的反射鏡也可以替換線性測量鏡組中的反射鏡;激光器準直輔助鏡的使用可以減少準直調(diào)整的時間。同時,激光干涉儀各個測量鏡組也可以在別的測量工作中使用,常見的利用分光鏡或者光學(xué)直角器,達到改變光路,方便測量的目的。這需要,了解設(shè)備性能、掌握測量技巧,在滿足測量準確度的前提下活學(xué)活用。影響激光干涉儀測量精度的因素包括:反射鏡、角錐棱角誤差。
激光干涉儀,以激光波長為已知長度,利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量?!案缮娣ā笔且环N利用波(通常是光波、無線電波或聲波)干涉現(xiàn)象的測量方法。測量可以包括波本身的某些特性以及波與之相互作用的材料。激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、較高測速下分辨率高等優(yōu)點,結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度。激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、較高測速下分辨率高等優(yōu)點,結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下,可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測,以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析,如振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等??捎眉す飧缮鎯x進行機床振動測試與分析。品質(zhì)激光干涉儀推薦咨詢
激光干涉儀的應(yīng)用:幾何精度檢測。廣州工業(yè)級激光干涉儀哪個牌子好
激光干涉儀的應(yīng)用:1、幾何精度檢測可用于檢測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。2、器的誤差,而且還能通過RS232接口自動對其線性誤差進行補償,比通常的補償方法節(jié)省了大量時間,并且避免了手工計算和手動數(shù)控鍵入而引起的操作者誤差,同時可蕞大限度地選用被測軸上的補償點數(shù),使機床達到蕞佳精度,另外操作者無需具有機床參數(shù)及補償方法的知識。3、數(shù)控轉(zhuǎn)臺分度精度的檢測及其自動補償現(xiàn)在,利用ML10激光干涉儀加上RX10轉(zhuǎn)臺基準還能進行回轉(zhuǎn)軸的自動測量。它可對任意角度位置,以任意角度間隔進行全自動測量,其精度達±1。新的國際標(biāo)準已推薦使用該項新技術(shù)。它比傳統(tǒng)用自準直儀和多面體的方法不只節(jié)約了大量的測量時間,而且還得到完整的回轉(zhuǎn)軸精度曲線,知曉其精度的每一細節(jié),并給出按相關(guān)標(biāo)準處理的統(tǒng)計結(jié)果。廣州工業(yè)級激光干涉儀哪個牌子好