數(shù)控機床設(shè)備在維修維?;驒C床設(shè)備大修之后,使用雷尼紹XL-80激光干涉儀來實現(xiàn)線性數(shù)控軸直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量,把檢測的數(shù)據(jù)值通過數(shù)控系統(tǒng)參數(shù)補償進入數(shù)控系統(tǒng),利用數(shù)控系統(tǒng)消除數(shù)控軸的正常磨損誤差,利用球桿儀檢測數(shù)控軸聯(lián)動加工的真圓度,不但可以提高相關(guān)聯(lián)的幾個數(shù)控軸聯(lián)動加工的精度等級,還保證了數(shù)控軸的精度、延長數(shù)控軸的壽命。保證數(shù)控機床更高的定位精度、更小的公差及更高的進給率。它是一種精密測量儀器,對數(shù)控機床設(shè)備進行精度的再校準(zhǔn)。雷尼紹激光干涉儀為機床檢定提供一種高精度標(biāo)準(zhǔn),它具備自動線性誤差補償功能,可以方便恢復(fù)機床精度。激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種方式。機床誤差修正激光干涉儀多少錢
激光干涉儀有單頻的和的兩種。單頻激光干涉儀:從激光器發(fā)出的光束,經(jīng)擴束準(zhǔn)直后由分光鏡分為兩路,并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。當(dāng)可動反射鏡移動時,干涉條紋的光強變化由接受器中的光電轉(zhuǎn)換元件和電子線路等轉(zhuǎn)換為電脈沖信號,經(jīng)整形、放大后輸入可逆計數(shù)器計算出總脈沖數(shù),再由電子計算機按計算式[356-11]式中λ為激光波長(N為電脈沖總數(shù)),算出可動反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時,要求周圍大氣處于穩(wěn)定狀態(tài),各種空氣湍流都會引起直流電平變化而影響測量結(jié)果。機床誤差修正激光干涉儀多少錢激光干涉儀具有有平面度測量組件、直線度測量組件、垂直度測量鏡組、激光器準(zhǔn)直輔助鏡等等。
激光具有高的強度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點。目前常用來測量長度的干涉儀,主要是以邁克爾遜干涉儀為主,并以穩(wěn)頻氦氖激光為光源,構(gòu)成一個具有干涉作用的測量系統(tǒng)。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作,并可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。以激光波長為已知長度利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量.工具激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種。
激光干涉儀的測量精度高:以激光干涉技術(shù)為關(guān)鍵,分辨率可達(dá)納米級;采用高精度環(huán)境補償模塊,解決溫度、空氣壓力、相對濕度、材料溫度等環(huán)境因素對測量結(jié)果的影響;使用激光熱穩(wěn)頻控制系統(tǒng),保證激光長期穩(wěn)頻精度;干涉鏡與主機分離設(shè)計,避免干涉鏡受熱變形,保證干涉光路穩(wěn)定。具有實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度等幾何量的檢測功能。可以檢測數(shù)控機床、三坐標(biāo)測量機等精密運動設(shè)備運動導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等;同時也能檢測運動導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度;并且可滿足回轉(zhuǎn)軸分度精度的測量。激光干涉儀使用注意事項:在使用時應(yīng)避免強旋、硬扳等情況,合理恰當(dāng)?shù)恼{(diào)整部件。
激光干涉儀是精度比較高的線性位移測量儀器,其光波可以直接對米進行定義,可溯源至國家標(biāo)準(zhǔn)。但是我們在使用中往往會出現(xiàn)檢測偏離值,偏離我們的預(yù)估,以至于在高精度檢測時,對設(shè)備產(chǎn)生懷疑。因測量光學(xué)鏡組的安裝高度不在被測設(shè)備的運動軸上引起的測量誤差稱之為阿貝誤差。產(chǎn)生的原因是設(shè)備移動時存在俯仰、扭擺差,因此光學(xué)鏡組與運動軸偏置距離越遠(yuǎn),引起的阿貝誤差越大。環(huán)境補償單元能準(zhǔn)確采集空氣溫度、壓力、相對濕度信息,基于Edlen公式計算空氣折射率,以此對激光波長進行補償。激光干涉儀可以進導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析等。機床誤差修正激光干涉儀多少錢
激光干涉儀常配合筆記本電腦使用。機床誤差修正激光干涉儀多少錢
激光干涉儀原理:激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡,然后分成兩道光束,一道光束(參考光束)射向連接分光鏡的反射鏡,而第二道透射光束(測量光束)則通過分光鏡射入第二個反射鏡,這兩道光束再反射回到分光鏡,重新匯聚之后返回激光器,其中會有一個探測器監(jiān)控兩道光束之間的干涉(見圖)。若光程差沒有變化時,探測器會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號。若光程差有變化時,探測器會在每一次光程變化時,在相長性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號,這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化。機床誤差修正激光干涉儀多少錢