二、2DU型硅光電二極管:2DU型硅光電二極管是用P型硅單晶制作的,從外形上分有2DUA,2DUB等類型,其中2DUA型管子體積較小些(見圖1(b))。2DU型硅光電二極管目前多采用陶瓷樹脂封裝,入射光的窗口不帶透鏡。這類管子引線共有三條,分別稱作前極、后極、環(huán)極(見圖1(b))。前極即光敏區(qū)(N型區(qū))的引線;后極為襯底(P型區(qū))的引線;環(huán)極是為了減小光電管的暗電流和提高管子的穩(wěn)定性而設(shè)計的另一電極。光電管的暗電流是指光電二極管在無光照、高工作電壓下的反向漏電流。我們要求暗電流越小越好。這樣的管子性能穩(wěn)定,同時對檢測弱光的能力也越強。為什么加了環(huán)極后就可以減小2DU型硅光電二極管的暗電流呢?這要從硅光電二極管的制造工藝談起。在制造硅光電二極管的管心時,將硅單晶片經(jīng)過研磨拋光后在高溫下先生長一層二氧化硅氧化層,然后利用光刻工藝在氧化層上刻出光敏面的窗口圖形,利用擴散工藝在圖形中擴散進去相應(yīng)的雜質(zhì)以形成P-N結(jié)。然后再利用蒸發(fā)、壓焊、燒結(jié)等工藝引出電極引線。由于2DU型硅光電二極管是用P型硅單晶制造的,在高溫生長氧化層的過程中,容易在氧化層下面的硅單晶表面形成一層薄薄的N型層。硅光電二極管參數(shù)哪家好!世華高好。廣州國產(chǎn)硅光電二極管品牌
深圳市世華高半導(dǎo)體有限公司(SIVAGO)成立于2004年,總部設(shè)在深圳,主要負責研發(fā)和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產(chǎn)基地,負責光電器件的制造。其產(chǎn)品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發(fā)射管、發(fā)光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關(guān)、光電編碼器、紙張感應(yīng)器和光電耦合器等。經(jīng)過十余年的發(fā)展,世華高半導(dǎo)體已成為一家先進的半導(dǎo)體器件制造商。公司在全球范圍內(nèi)設(shè)有多個銷售機構(gòu),分布在中國、印度、泰國、伊朗、香港等多個國家和地區(qū)。據(jù)外媒報道,韓國浦項工科大學(PohangUniversityofScienceandTechnology)的一組研究人員已經(jīng)研發(fā)出近紅外(NIR)硅光電二極管,比現(xiàn)有的光電二極管靈敏度高出三分之一?,F(xiàn)有的近紅外光電二極管通常由化學材料制成,需要單獨的冷卻裝置,很難集成。而浦項工科大學Chang-KiBaek教授領(lǐng)導(dǎo)的一組研究人員采用沙漏型的硅納米線,增加了硅對紅外光的吸收。位于納米線上方,倒轉(zhuǎn)的納米錐通過產(chǎn)生回音壁式共振,延長了近紅外-短波紅外(SWIR)光子的停留時間,而下方的納米錐由于反射率低,能夠重新吸收附近納米線的入射光。與現(xiàn)有的平板硅光電子二極管相比,該納米線在1000納米波長下。寧波進口硅光電二極管電池世華高硅光電二極管物體檢測效果很好,使用壽命也很長。
技術(shù)實現(xiàn)要素:本發(fā)明解決的技術(shù)問題在于提供高速高響應(yīng)度的硅基光電二極管及其制備方法,在不影響光電二極管響應(yīng)度的前提下,解決了硅基光電二極管響應(yīng)速度慢的問題,實現(xiàn)硅基光電二極管高響應(yīng)度與高響應(yīng)速度同時提升。本發(fā)明是通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn):一種高速高響應(yīng)度的硅基光電二極管,包括背面設(shè)有背面電極的襯底;襯底正面依次設(shè)有高反層、外延層、注入層、氧化硅層、氮化硅層和正面金屬電極;所述的高反層上開設(shè)有用于形成電流路徑的刻蝕孔,以及與正面金屬電極相對應(yīng)的刻蝕區(qū);所述的注入層包括保護環(huán)以及設(shè)在其內(nèi)的有源區(qū);所述的正面金屬電極還貫穿氧化硅層、氮化硅層與有源區(qū)相連接。所述的襯底為電阻率20~100為ohm·cm的硅基襯底,襯底背面直接做金屬化處理形成背面電極。所述的高反層由折射率~~;高反層上開設(shè)的刻蝕孔為矩陣排列的圓形孔,或者為同心環(huán)形孔。所述的刻蝕孔為均勻分布的圓形孔時,孔直徑為10~50um,孔間距為15~50um,圓形孔的總面積為結(jié)面積的1/2;所述的刻蝕孔為同心環(huán)形孔時,同心環(huán)中心與正面金屬電極的中心重合,同心環(huán)中心為刻蝕區(qū),相鄰環(huán)間距5~20um。所述的外延層淀積在高反層上;在外延層上分別以n型離子注入形成保護環(huán)。
其產(chǎn)品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發(fā)射管、發(fā)光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關(guān)、光電編碼器、紙張感應(yīng)器和光電耦合器等。經(jīng)過十余年的發(fā)展,世華高半導(dǎo)體已成為一家先進的半導(dǎo)體器件制造商。公司在全球范圍內(nèi)設(shè)有多個銷售機構(gòu),分布在中國、印度、泰國、伊朗、香港等多個國家和地區(qū)。因此擴散時間很短;從而實現(xiàn)硅基光電二極管高響應(yīng)度與高響應(yīng)速度同時提升。該結(jié)構(gòu)中,襯底材料107不用進行背面處理,直接與金屬形成良好的歐姆接觸;外延層厚度取決于耗盡區(qū)寬度。進一步的,所述外延層101的電阻率為500~1000ohm·cm,外延層101厚度wepi根據(jù)耗盡區(qū)寬度wd確定:wepi≈wd,而wd≥w入/2,其中w入=f(λ),w入為入射光入射深度,λ為入射光波長;所述的高反層109由折射率~~;高反層109上開設(shè)的刻蝕孔為矩陣排列的圓形孔,或者為同心環(huán)形孔。所述的刻蝕孔為均勻分布的圓形孔時,孔直徑為10~50um,孔間距為15~50um,圓形孔的總面積為結(jié)面積的1/2;所述的刻蝕孔為同心環(huán)形孔時,同心環(huán)中心與正面金屬電極106的中心重合,同心環(huán)中心為刻蝕區(qū),相鄰環(huán)間距5~20um。具體的,高反層109可以為多孔結(jié)構(gòu),可采用矩陣排列(比如采用正方形陣列排列)。低功耗硅光電二極管就找世華高。
所述下固定板的進氣管通過耐高溫傳輸管道與氮氣充氣泵的充氣端固定連通,所述卡槽底端的一側(cè)與熔深檢測儀的檢測端穿插連接。作為本實用新型的一種技術(shù)方案,所述石英玻璃罩、上固定板和下固定板的外壁均固定設(shè)有隔熱層,三個所述隔熱層均由多層鍍鋁薄膜制成。作為本實用新型的一種技術(shù)方案,所述下固定板進氣管的一側(cè)固定設(shè)有氮氣電磁閥。作為本實用新型的一種技術(shù)方案,所述卡槽底端的另一側(cè)與溫度檢測儀的檢測端穿插連接。作為本實用新型的一種技術(shù)方案,所述上固定板的一側(cè)設(shè)有控制面板。深圳市世華高半導(dǎo)體有限公司(SIVAGO)成立于2004年,總部設(shè)在深圳,主要負責研發(fā)和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產(chǎn)基地,負責光電器件的制造。其產(chǎn)品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發(fā)射管、發(fā)光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關(guān)、光電編碼器、紙張感應(yīng)器和光電耦合器等。經(jīng)過十余年的發(fā)展,世華高半導(dǎo)體已成為一家先進的半導(dǎo)體器件制造商。公司在全球范圍內(nèi)設(shè)有多個銷售機構(gòu),分布在中國、印度、泰國、伊朗、香港等多個國家和地區(qū)。深圳市世華高半導(dǎo)體有限公司(SIVAGO)成立于2004年,總部設(shè)在深圳,主要負責研發(fā)和銷售工作。硅光電二極管方案商,一站式服務(wù)商世華高。湖南硅光電二極管廠家
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深圳市世華高半導(dǎo)體有限公司(SIVAGO)成立于2004年,總部設(shè)在深圳,主要負責研發(fā)和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產(chǎn)基地,負責光電器件的制造。硅光電二極管是當前普遍應(yīng)用的半導(dǎo)體光電二極管。下面我們談?wù)?CU和2DU兩種類型硅光電二極管的種類、構(gòu)造以及應(yīng)用上的一些問題。種類與構(gòu)造一、2CU型硅光電二極管:2CU型硅光電二極管是用N型硅單晶制作的,根據(jù)外形尺寸的大小它又可分2CU-1-,2CU-2-,2CU-3-等型號,其中2CU-1-與2CU-2-體積較大,2CU-3-稍小些(見圖1(a))。這種類型的光電二極管多用帶透鏡窗口的金屬管殼封裝,下端有正、負兩個電極引線,它們分別與管心中的光敏面(P型層)和N型襯底相連。光線從窗入后經(jīng)透鏡聚焦在管心上,由于這種聚光作用增強了光照強度,從而可以產(chǎn)生較大的光電流。二、2DU型硅光電二極管:2DU型硅光電二極管是用P型硅單晶制作的,從外形上分有2DUA,2DUB等類型,其中2DUA型管子體積較小些(見圖1(b))。2DU型硅光電二極管目前多采用陶瓷樹脂封裝,入射光的窗口不帶透鏡。這類管子引線共有三條,分別稱作前極、后極、環(huán)極(見圖1(b))。前極即光敏區(qū)(N型區(qū))的引線;后極為襯底(P型區(qū))的引線。廣州國產(chǎn)硅光電二極管品牌