隨著工業(yè)快速的發(fā)展 ，對(duì)精密測(cè)量技術(shù)的要求越來(lái)越高，位移測(cè)量技術(shù)作為幾何量精密測(cè)量的基礎(chǔ)，不僅需要超高測(cè)量精度，而且需要對(duì)環(huán)境和材料的大量適應(yīng)性，并且逐步趨于實(shí)時(shí)、無(wú)損檢測(cè)。與傳統(tǒng)接觸式測(cè)量方法相比，光譜共焦位移傳感器具有高速度，高精度，高適應(yīng)性等明顯優(yōu)勢(shì)。本文通過(guò)對(duì)光譜共焦傳感器應(yīng)用場(chǎng)景的分析，有助于廣大讀者進(jìn)一步加深對(duì)光譜共焦傳感器技術(shù)的理解。得益于納米級(jí)精度及超好的角度特性，光譜共焦位移傳感器可用于對(duì)表面粗糙度進(jìn)行高精度測(cè)量。相對(duì)于傳統(tǒng)的接觸式粗糙度儀，光譜共焦位移傳感器以更高的速度采集粗糙度輪廓，并且對(duì)產(chǎn)品表面無(wú)任何損傷。線性色散設(shè)計(jì)的光譜共焦測(cè)量技術(shù)是一種新型的測(cè)量方法；新型光譜共焦的精度
玻璃基板是液晶顯示屏必不可少的零部件之一，一張液晶顯示屏要用二張玻璃基板，各自做為底層玻璃基板和彩色濾底版應(yīng)用。玻璃基板的品質(zhì)對(duì)控制面板成品屏幕分辨率、透光性、厚度、凈重、可視角度等數(shù)據(jù)都是有關(guān)鍵危害。玻璃基板是組成液晶顯示屏元器件一個(gè)基本上構(gòu)件。這是一種表層極為平坦的方法生產(chǎn)制造薄玻璃鏡片。現(xiàn)階段在商業(yè)上運(yùn)用的玻璃基板，其厚度為0.7 mm及0.5m m，且將要邁進(jìn)特薄厚度之制造。大部分，一片TFT-LCD控制面板需用到二片玻璃基板。因?yàn)椴ＡЩ搴穸群鼙。穸纫?guī)格監(jiān)管又比較嚴(yán)格，一般在0.01mm的公差，關(guān)鍵清晰地測(cè)量夾層玻璃厚度、漲縮和平面度。選用創(chuàng)視智能自主生產(chǎn)研發(fā)的高精度光譜共焦位移傳感器可以非常好的處理這一難題，一次測(cè)量就可以完成了相對(duì)高度值、厚度系數(shù)的收集，再加上與此同時(shí)選用多個(gè)感應(yīng)器測(cè)量，不僅提高了效率，并且防止觸碰測(cè)量所造成的二次損害 。原裝光譜共焦測(cè)厚度光譜共焦位移傳感器在微機(jī)電系統(tǒng)、醫(yī)學(xué)、材料科學(xué)等領(lǐng)域中有著廣泛的應(yīng)用。
由于每一個(gè)波長(zhǎng)都可以固定一個(gè)距離值，因此，通過(guò)將光譜山線峰值波長(zhǎng)確定下來(lái)，就可以將精確的距離值推算出來(lái)。假設(shè)傳感器與物體表面存在相對(duì)移動(dòng)，此時(shí)物體表面的中心點(diǎn)恰好處在單色光（A1）的像點(diǎn)處，可以作出光譜儀探測(cè)到的光譜曲線。通過(guò)測(cè)量得到不同的波長(zhǎng)值，可以將物體表面不同點(diǎn)之間的相對(duì)位移值計(jì)算出來(lái)。如果配上精細(xì)的掃描機(jī)構(gòu)，就可以對(duì)整體的二維表面輪廓及形貌進(jìn)行精確的測(cè)量。相比其他傳統(tǒng)的位移傳感器 ，光譜共焦傳感器憑借獨(dú)特的測(cè)量原理，具有測(cè)量效率高、精度高、體積小、非接觸等特點(diǎn)，在各個(gè)領(lǐng)域都得到了大量的應(yīng)用。
在容器玻璃生產(chǎn)過(guò)程中，圓度和壁厚是重要的質(zhì)量特征，需要進(jìn)行檢查。任何有缺陷的容器都會(huì)被判定為不合格產(chǎn)品并返回到玻璃熔體中。為了實(shí)現(xiàn)快速的非接觸式測(cè)量，并確保不損壞瓶子，需要高處理速度。對(duì)于這種測(cè)量任務(wù)，光譜共焦傳感器是一種合適的選擇。該系統(tǒng)在兩個(gè)點(diǎn)上同步測(cè)量并通過(guò)EtherCAT接口實(shí)時(shí)輸出數(shù)據(jù) ，厚度校準(zhǔn)功能允許在傳感器的整個(gè)測(cè)量范圍內(nèi)進(jìn)行精確的厚度測(cè)量。此外，自動(dòng)曝光控制可以實(shí)現(xiàn)對(duì)不同玻璃顏色的測(cè)量的穩(wěn)定性。激光位移傳感器的應(yīng)用主要是用于非標(biāo)的特定檢測(cè)設(shè)備中。
在硅片柵線的厚度測(cè)量過(guò)程中，創(chuàng)視智能TS-C系列光譜共焦傳感器和CCS控制器被使用。TS-C系列光譜共焦位移傳感器具有0.025 μm的重復(fù)精度，±0.02%的線性精度，10kHz的測(cè)量速度和±60°的測(cè)量角度。它適用于鏡面、透明、半透明、膜層、金屬粗糙面和多層玻璃等材料表面，支持485、USB、以太網(wǎng)和模擬量數(shù)據(jù)傳輸接口。在測(cè)量太陽(yáng)能光伏板硅片柵線厚度時(shí)，使用單探頭在二維運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上進(jìn)行掃描測(cè)量。柵線厚度可通過(guò)柵線高度與基底高度之差獲得，通過(guò)將需要掃描測(cè)量的硅片標(biāo)記三個(gè)區(qū)域并使用光譜共焦C1200單探頭單側(cè)測(cè)量來(lái)完成測(cè)量。由于柵線不是平整面，并且有一定的曲率，因此對(duì)于測(cè)量區(qū)域的選擇具有較大的隨機(jī)性影響 。光譜共焦位移傳感器可以應(yīng)用于材料科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、納米技術(shù)等多個(gè)領(lǐng)域。高采樣速率光譜共焦能測(cè)什么
光譜共焦透鏡組設(shè)計(jì)和性能優(yōu)化是光譜共焦技術(shù)研究的重要內(nèi)容之一；新型光譜共焦的精度
在精密幾何量計(jì)量測(cè)試中，光譜共焦技術(shù)是非常重要的應(yīng)用，可以提高測(cè)量效率和精度。在使用光譜共焦技術(shù)進(jìn)行測(cè)量之前，需要對(duì)其原理進(jìn)行分析，并對(duì)應(yīng)用的傳感器進(jìn)行綜合應(yīng)用，以獲得更準(zhǔn)確的測(cè)量數(shù)據(jù)。光譜共焦位移傳感器的工作原理是使用寬譜光源照射被測(cè)物體表面，然后通過(guò)光譜儀檢測(cè)反射回來(lái)的光譜。未來(lái)，光譜共焦技術(shù)將繼續(xù)發(fā)展，為更多領(lǐng)域帶來(lái)創(chuàng)新和改進(jìn)。通過(guò)不斷的研究和應(yīng)用，我們可以期待看到更多令人振奮的成果，使光譜共焦技術(shù)成為科學(xué)和工程領(lǐng)域不可或缺的一部分 為測(cè)量和測(cè)試提供更多可能性。新型光譜共焦的精度