光譜共焦位移傳感器可以嵌入2D掃描系統(tǒng)進行測量,提供有關負載表面形貌的2D和高度測量數(shù)據(jù)。它的創(chuàng)新原理使傳感器能夠直接透過透明工件的前后表面進行厚度測量,并且只需要使用一個傳感器從工件的一側(cè)進行測量。相較于三角反射原理的激光位移傳感器,因采用同軸光,所以光譜共焦位移傳感器可以更有效地測量弧形工件的厚度。該傳感器采樣頻率高,體積小,且?guī)в斜憬莸臄?shù)據(jù)接口,因此很容易集成到在線生產(chǎn)和檢測設備中 實現(xiàn)線上檢測。由于采用超高的采樣頻率和超高的精度,該傳感器可以對震動物體進行測量,同時采用無觸碰設計,避免了測量過程中對震動物體的干擾,也可以對復雜區(qū)域進行詳細的測量和分析 。光譜共焦厚度檢測系統(tǒng)可以實現(xiàn)厚度的非接觸式測量。線陣光譜共焦供應商
光譜共焦測量技術由于其具有測量精度高、測量速度快、可以實現(xiàn)非接觸測量的獨特優(yōu)勢而被大量應用于工業(yè)級測量。讓我們先來看一下光譜共焦技術的起源和光譜共焦技術在精密幾何量計量測試中的成熟典型應用。共焦顯微術的概念首先是由美國的 Minsky 于 1955年提出, 其利用共焦原理搭建臺共焦顯微鏡, 并于1957年申請了專利。自20世紀90年代, ? 隨著計算機技術的飛速發(fā)展, ? 共焦顯微術成了研究的熱點,得到快速的發(fā)展。光譜共焦技術是在共焦顯微術基礎上發(fā)展而來,其無需軸向掃描, 直接由波長對應軸向距離信息, 從而大幅提高測量速度。 ? 而基于光譜共焦技術的傳感器是近年來出現(xiàn)的一種高精度、 非接觸式的新型傳感器, ? 目前精度上可達nm量級。 共焦測量術由于其高精度、允許被測表面有更大的傾斜角、測量速度快、實時性高、對被測表面狀況要求低、以及高分辨率的獨特優(yōu)勢,迅速成為工業(yè)測量的熱門傳感器,在生物醫(yī)學 、材料科學、半導體制造、 表面工程研究、 精密測量等領域得到大量應用。高頻光譜共焦工廠光譜共焦位移傳感器可以實現(xiàn)亞微米級別的位移和形變測量,具有高精度和高分辨率。
硅片柵線的厚度測量方法我們還用創(chuàng)視智能TS-C系列光譜共焦傳感器和CCS控制器,TS-C系列光譜共焦位移傳感器能夠?qū)崿F(xiàn)0.025 μm的重復精度,±0.02% of F.S.的線性精度,10kHz的測量速度,以及±60°的測量角度,能夠適應鏡面、透明、半透明、膜層、金屬粗糙面、多層玻璃等材料表面,支持485、USB、以太網(wǎng)、模擬量的數(shù)據(jù)傳輸接口。我們主要測量太陽能光伏板硅片刪線的厚度,所以這次用單探頭在二維運動平臺上進行掃描測量。柵線測量方法:首先我們將需要掃描測量的硅片選擇三個區(qū)域進行標記如圖1,用光譜共焦C1200單探頭單側(cè)測量 ,柵線厚度是柵線高度-基底的高度差。二維運動平臺掃描測量(由于柵線不是一個平整面,自身有一定的曲率,對測量區(qū)域的選擇隨機性影響較大)。
隨著科技的進步和應用的深入,光譜共焦在點膠行業(yè)中的未來發(fā)展前景非常廣闊。以下是一些可能的趨勢和發(fā)展方向:高速化方向,為了滿足不斷提高的生產(chǎn)效率要求,光譜共焦技術需要更快的光譜分析速度和更短的檢測時間。這需要不斷優(yōu)化算法和改進硬件設備,以提高數(shù)據(jù)處理速度和檢測效率。智能化方向,通過引入人工智能和機器學習技術,光譜共焦可以實現(xiàn)更復雜的分析和判斷能力,例如自動識別不同種類的點膠、檢測微小的點膠缺陷等。這將有助于提高檢測精度和降低人工成本。多功能化方向,為了滿足多樣化的生產(chǎn)需求,光譜共焦技術可以擴展到更多的應用領域。例如,將光譜共焦技術與圖像處理技術相結(jié)合,可以實現(xiàn)更復雜的樣品分析和檢測任務。另外 環(huán)保與可持續(xù)發(fā)展方向也越來越受關注。隨著環(huán)保意識的提高,光譜共焦技術在點膠行業(yè)中的應用也可以從環(huán)保角度出發(fā)。例如,通過光譜分析可以精確地控制點膠的厚度和用量,從而減少材料的浪費和減少對環(huán)境的影響。光譜共焦位移傳感器可以用于材料的彈性模量、形變和破壞等參數(shù)的測量。
在容器玻璃生產(chǎn)過程中,圓度和壁厚是重要的質(zhì)量特征,需要進行檢查。任何有缺陷的容器都會被判定為不合格產(chǎn)品并返回到玻璃熔體中。為了實現(xiàn)快速的非接觸式測量,并確保不損壞瓶子,需要高處理速度。對于這種測量任務,光譜共焦傳感器是一種合適的選擇。該系統(tǒng)在兩個點上同步測量并通過EtherCAT接口實時輸出數(shù)據(jù) ,厚度校準功能允許在傳感器的整個測量范圍內(nèi)進行精確的厚度測量。此外,自動曝光控制可以實現(xiàn)對不同玻璃顏色的測量的穩(wěn)定性。光譜共焦技術可以對材料表面和內(nèi)部進行非接觸式的檢測和分析。平面度測量 光譜共焦常用解決方案
光譜共焦技術在醫(yī)學、材料科學、環(huán)境監(jiān)測等領域有著廣泛的應用;線陣光譜共焦供應商
主要是對光譜共焦傳感器的校準后的誤差進行分析。各自利用干涉儀與高精密測長機對光譜共焦傳感器開展測量,用曲面測針確保光譜共焦傳感器的激光光路坐落于測針,以確保光譜共焦傳感器在測量時安裝精密度,隨后拆換平面圖歪頭,對光譜共焦傳感器開展校準。用小二乘法對測量數(shù)據(jù)進行解決,獲得測量數(shù)據(jù)庫的離散系統(tǒng)誤差。結(jié)果顯示:高精密測長機校準后的離散系統(tǒng)誤差為 0.030%,激光器于涉儀校準時的分析線形誤差為0.038% 。利用小二乘法開展數(shù)據(jù)處理方法及離散系統(tǒng)誤差的計算,減少校準時產(chǎn)生的平行度誤差及光譜共焦傳感器的系統(tǒng)誤差,提高對光譜共焦傳感器的校準精密度。線陣光譜共焦供應商