根據(jù)對光譜共焦位移傳感器原理的理解和分析,可以得出理想的鏡頭應(yīng)具備以下性能:首先,產(chǎn)生較大的軸向色差,通常需要對鏡頭進(jìn)行消色差措施,而該傳感器需要利用色差進(jìn)行測量,需要將其擴(kuò)大化 ;其次,產(chǎn)生軸向色差后,焦點在軸上會因單色光的球差問題而導(dǎo)致光譜曲線響應(yīng)的FWHM(半峰全寬)變大,影響分辨率;同時,為確保單色光在軸上匯聚到單一點,需要控制其球差;為保證傳感器的線性度并平衡其各聚焦位置的靈敏度,焦點位置應(yīng)盡量與波長成線性關(guān)系。光譜共焦技術(shù)在醫(yī)療器械制造中可以用于醫(yī)療器械的精度檢測和測量。新型光譜共焦制造廠家
背景技術(shù):光學(xué)測量與成像技術(shù),通過光源、被測物體和探測器三點共,去除焦點以外的雜散光,得到比傳統(tǒng)寬場顯微鏡更高的橫向分辨率,同時由于引入圓孔探測具有了軸向深度層析能力,通過焦平面的上下平移從而得到物體的微觀三維空間結(jié)構(gòu)信息。這種三維成像能力使得共焦三維顯微成像技背景技術(shù):光學(xué)測量與成像技術(shù),通過光源、被測物體和探測器三點共,去除焦點以外的雜散光,得到比傳統(tǒng)寬場顯微鏡更高的橫向分辨率,同時由于引入圓孔探測具有了軸向深度層析能力,通過焦平面的上下平移從而得到物體的微觀三維空間結(jié)構(gòu)信息。這種三維成像能力使得共焦三維顯微成像技術(shù)已經(jīng)廣泛應(yīng)用于醫(yī)學(xué)、材料分析、工業(yè)探測及計量等各種不同的領(lǐng)域之中。現(xiàn)有的光學(xué)測量術(shù)已經(jīng)廣泛應(yīng)用于醫(yī)學(xué)、材料分析、工業(yè)探測及計量等各種不同的領(lǐng)域之中。現(xiàn)有的光學(xué)測量與成像技術(shù)主要激光成像,其功耗大、成本高,而且精度較差,難以勝任復(fù)雜異形表面(如曲面、弧面、凸凹溝槽等)的高精度、穩(wěn)定檢測或者成像的光譜共焦成像技術(shù)比激光成像具有更高的精度,而且能夠降低功耗和成本但現(xiàn)有的光譜共焦檢測設(shè)備大都是靜態(tài)檢測,檢測效率低,而且難以勝任復(fù)雜異形表面 。高頻光譜共焦測量方法光譜共焦透鏡組設(shè)計和性能優(yōu)化是光譜共焦技術(shù)研究的重要內(nèi)容之一;
光譜共焦傳感器如何工作?共焦色度測量原理通過使用多透鏡光學(xué)系統(tǒng)將多色白光聚焦到目標(biāo)表面來工作。透鏡的排列方式是通過控制色差(像差)將白光分散成單色光。工廠校準(zhǔn)為每個波長分配了一定的偏差(特定距離)。只有精確聚焦在目標(biāo)表面或材料上的波長才能用于測量。從目標(biāo)表面反射的這種光通過共焦孔徑到達(dá)光譜儀,該光譜儀檢測并處理光譜變化。在整個傳感器的測量范圍內(nèi),實現(xiàn)了一個非常小的、恒定的光斑尺寸 ,通常 <10 μm。微型徑向和軸向共焦版本可用于測量鉆孔或鉆孔的內(nèi)表面,以及測量窄孔、小間隙和空腔。
光譜共焦測量技術(shù)由于其高精度、允許被測表面有更大的傾斜角、快速測量方式、實時性高、對被測表面狀況要求低、以及高分辨率的獨特優(yōu)勢,迅速成為工業(yè)測量的熱門傳感器,在生物醫(yī)學(xué)、材料科學(xué)、半導(dǎo)體制造、表面工程研究、精密測量、3C電子等領(lǐng)域得到大量應(yīng)用。本次測量場景使用的是創(chuàng)視智能TS-C1200光譜共焦傳感頭和CCS控制器。TS-C系列光譜共焦位移傳感器能夠?qū)崿F(xiàn)0.025μm的重復(fù)精度,±0.02% of F.S.的線性精度, 30kHz的采樣速度,以及±60°的測量角度,能夠適應(yīng)鏡面、透明、半透明、膜層、金屬粗糙面、多層玻璃等材料表面,支持485、USB、以太網(wǎng)、模擬量的數(shù)據(jù)傳輸接口 。光譜共焦技術(shù)具有軸向按層分析功能;
采用對比測試方法,首先對基于白光共焦光譜技術(shù)的靶丸外表面輪廓測量精度進(jìn)行了考核 。為了便于比較,將原子力顯微鏡輪廓儀的測量數(shù)據(jù)進(jìn)行了偏移。二者的低階輪廓整體相似,局部的輪廓信息存在一定的偏差,原因在于二者在靶丸赤道附近的精確測量圓周輪廓結(jié)果不一致;此外,白光共焦光譜的信噪比較原子力低,這表明白光共焦光譜適用于靶丸表面低階的輪廓誤差的測量。在模數(shù)低于100的功率譜范圍內(nèi),兩種方法的測量結(jié)果一致性較好,當(dāng)模數(shù)大于100時,白光共焦光譜的測量數(shù)據(jù)大于原子力顯微鏡的測量數(shù)據(jù),這也反應(yīng)了白光共焦光譜儀在高頻段測量數(shù)據(jù)信噪比相對較差的特點。由于光譜傳感器Z向分辨率比原子力低一個量級,同時,受環(huán)境振動、光譜儀采樣率及樣品表面散射光等因素的影響,共焦光譜檢測數(shù)據(jù)高頻隨機(jī)噪聲可達(dá)100nm左右。光譜共焦技術(shù)在電子制造領(lǐng)域可以用于電子元件的精度檢測和測量。高頻光譜共焦測量方法
光譜共焦技術(shù)可以對生物和材料的微觀結(jié)構(gòu)進(jìn)行分析。新型光譜共焦制造廠家
我們智能能設(shè)備的進(jìn)化日新月異,人們的追求越來越個性化。愈發(fā)復(fù)雜的形狀意味著,對點膠設(shè)備提出更高的要求,需要應(yīng)對更高的點膠精度!更靈活的點膠角度!目前手機(jī)中板和屏幕模組貼合時,需要在中板上面點一圈透明的UV膠,這種膠由于白色反光的原因,只能使用光譜共焦傳感器進(jìn)行完美測量,由于光譜共焦傳感器的復(fù)合光特性,可以完美的高速測量膠水的高度和寬度。由于膠水自身特性:液體,成型特性:帶有弧形 ,材料特性:透明或半透明。新型光譜共焦制造廠家