本發(fā)明公開了一種激光位移傳感器，包括激光器、成像物鏡以及感光元件，激光器用于射出激光束，由成像物鏡接收并出射的光入射到感光元件，在對成像物鏡和感光元件進行調(diào)制傳遞函數(shù)MTF解析時，解析結(jié)果滿足以下條件：在感光元件的多個感光單元的主要排列方向為弧矢方向的情況下，MTFS＞MTFT；在感光元件的多個感光單元的主要排列方向為子午方向的情況下，MTFT＞MTFS；其中，MTFS為弧矢方向上的MTF值，MTFT為子午方向上的MTF值。本發(fā)明能夠降低物鏡的設(shè)計難度，節(jié)省制造和維護成本，另外還有助于提高測量的準確度，能夠更好地應(yīng)對使用中因為振動或機械變形等隨帶來的不良影響。激光位移傳感器在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用案例。廣東激光位移傳感器性價比高
在采用方式2的情況下，可以在成像物鏡前或成像物鏡6后加入能夠引入像散的光學(xué)元器件(如平板玻璃)，配合調(diào)整成像物鏡6與感光元件7之間的距離時，可以在微米量級進行調(diào)整。每次調(diào)整后，可以進行MTF解析，在判斷解析結(jié)果滿足上述條件時，停止調(diào)節(jié)。如果調(diào)整后發(fā)現(xiàn)解析結(jié)果不滿足上述條件，則繼續(xù)進行調(diào)整。此外，在圖1所示的實施例中，反光元件8設(shè)置在接收物鏡6和感光元件7之間，從而可以提高所述激光位移傳感器的內(nèi)部空間利用率，減小其外形尺寸。在所述激光位移傳感器外形尺寸允許的情況下，反光元件8可省略。在測量光斑和成像物鏡6之間的帶通濾光片5被用來濾除或降低雜散光對測量系統(tǒng)的影響。新品激光位移傳感器按需定制高精度激光位移傳感器采用激光技術(shù)，能夠?qū)崿F(xiàn)非常精確的位移測量。
進一步地，所述可伸縮導(dǎo)軌包括一電動伸縮雙直線導(dǎo)軌、一No.1支撐件、一第二支撐件、一滑動輪、一伸縮制動開關(guān)以及一控制面板；所述No.1支撐件安裝在所述電動伸縮雙直線導(dǎo)軌固定端的底部，所述第二支撐件安裝在所述電動伸縮雙直線導(dǎo)軌可伸縮端的底部；所述滑動輪設(shè)于所述第二支撐件的底部；所述伸縮制動開關(guān)設(shè)于所述第二支撐件的側(cè)面；所述控制面板與所述電動伸縮雙直線導(dǎo)軌電連接。進一步地，所述微調(diào)裝置包括一蝸輪蝸桿機構(gòu)、一電子測量儀以及一微調(diào)平臺；所述微調(diào)平臺設(shè)于所述電動伸縮雙直線導(dǎo)軌上端的尾部，所述微調(diào)平臺的末端向上設(shè)有一延伸部；所述蝸輪蝸桿機構(gòu)設(shè)于所述微調(diào)平臺的前端；所述電子測量儀的一端抵接于所述延伸部，另一端抵接于所述蝸輪蝸桿機構(gòu)。
方式[0019]請參照圖1所示，本實用新型激光位移傳感器檢驗校準裝置100的較佳實施例，包括一可伸縮導(dǎo)軌1、一微調(diào)裝置2、一傳感器夾持裝置3、一激光位移傳感器4以及一激光紅外線接收擋板5；所述微調(diào)裝置2和傳感器夾持裝置3設(shè)于所述可伸縮導(dǎo)軌1的上端；所述激光位移傳感器4夾持在所述傳感器夾持裝置3上，且使所述激光位移傳感器4的激光發(fā)射端朝向所述微調(diào)裝置2；所述激光紅外線接收擋板5與所述微調(diào)裝置2固接，且使所述激光紅外線接收擋板5的接收面朝向所述傳感器夾持裝置3。激光位移傳感器在3C電子行業(yè)中的應(yīng)用案例。
在一個實施例中，上述感光元件7可以為線陣CCD感光芯片，或者也可以是線陣CMOS感光芯片。在線陣CCD感光芯片或線陣CMOS感光芯片中，包括線形排列的多個感光單元，通常為直線排列，該直線的延伸方向為感光單元的主要排列方向，這些感光單元沿著水平方向(弧矢方向)排列。由于感光單元為直線狀排列，因此，長條形光斑可增加與像元之間的接觸面積，可降低機械器件形變對所述激光位移傳感器信噪比的影響。[0045]在其他實施例中，上述感光元件7可以是面陣CCD感光芯片或面陣CMOS感光芯片。面陣CCD感光芯片或面陣CMOS感光芯片包括排列為矩形的多個感光單元，矩形的長邊沿著水平方向(弧矢方向)延伸，短邊沿著豎直方向(子午方向)延伸，其長邊的延伸方向即為感光單元的主要排列方向。這樣，長條形光斑同樣更加容易地被面陣CCD感光芯片或CMOS感光芯片接收到。它抗干擾能力強，能夠在復(fù)雜環(huán)境下正常工作。嘉定區(qū)激光位移傳感器廠家現(xiàn)貨
它可以用于測量電子元件的尺寸和形狀。廣東激光位移傳感器性價比高
非接觸式激光平面檢測采用的是集光、機電一體化的測量設(shè)備系統(tǒng)，系統(tǒng)中的激光位移傳感器是一種代替?zhèn)鹘y(tǒng)接觸式測量的新型位移檢測裝置，具有分辨率高，線性度高和穩(wěn)定性好等特點，可實現(xiàn)對對象物的高精度、高可靠性的測量。本文中定性檢測試驗較好地反映出對象物平面實際起伏情況，定量檢測試驗結(jié)果達到了儀器的理論精度為6μm范圍內(nèi)的要求。該系統(tǒng)能滿足現(xiàn)代化生產(chǎn)和科學(xué)研究的需要，具有廣闊的應(yīng)用前景。創(chuàng)視智能技術(shù)創(chuàng)視智能技術(shù)廣東激光位移傳感器性價比高