在感光元件的多個感光單元的主要排列方向為子弧矢向的情況下，成像物鏡本身的MTFS＞MTFT、或者在感光元件的多個感光單元的主要排列方向為子午方向的情況下，成像物鏡本身的MTFT＞MTFS，使得解析結(jié)果滿足條件；和/或在成像物鏡前和/或在成像物鏡后加入能夠引入像散的光學(xué)元器件，并且配合微調(diào)所述成像物鏡與所述感光元件之間的相對距離使得解析結(jié)果滿足條件。反光元件，反光元件設(shè)置在成像物鏡的出射光路上，成像物鏡的出射光經(jīng)反光元件反射后，入射到感光元件。它具有較長的使用壽命，能夠長時間穩(wěn)定地運行。泉州激光位移傳感器源頭直供廠家
隨著科學(xué)技術(shù)的迅猛發(fā)展，具有非接觸、高精度、穩(wěn)定性好、可自動化及易于與計算機相結(jié)合等特點的激光位移檢測技術(shù)在自動檢測、機器人視覺、計算機輔助設(shè)計與制造等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用，已將逐漸取代傳統(tǒng)的接觸式檢測技術(shù)，成為現(xiàn)代檢測技術(shù)很重要的手段和方法。非接觸式激光平面檢測系統(tǒng)主要利用激光位移傳感器與平臺運動控制系統(tǒng)來檢測對象物平面平整度。位移傳感器用來測量目標物體的距離，按與對象物的接觸類型它分為兩類：主要有使用差動電壓等形式的接觸式與使用磁場、超聲波、激光等形式的非接觸式。由于非接觸式激光位移傳感器具有高精度表面掃描的特點，系統(tǒng)選擇基恩士公司的LT一9001Series型激光位移傳感器，該激光位移傳感器可以對任何對象物進行高精密度的位移測定，例如可以對微細工件、粗面工件的高度進行測定，還可以測量電路板上的焊錫以及測定透明體的表面和厚度。平臺運動控制系統(tǒng)選擇丹納赫公司的ULTIMAC—G型控制器和二維電動平移臺。云南麗江天文工作站2.4mm天文望遠鏡終端的拼接CCD相機為了得到更清晰的天體圖像，將采用該非接觸式激光平面檢測系統(tǒng)，對拼接CCD相機平面平整度進行檢測。東莞激光位移傳感器免費咨詢它可以實時監(jiān)測物體的位移變化，提供準確的數(shù)據(jù)支持。
在采用方式2的情況下，可以在成像物鏡前或成像物鏡6后加入能夠引入像散的光學(xué)元器件(如平板玻璃)，配合調(diào)整成像物鏡6與感光元件7之間的距離時，可以在微米量級進行調(diào)整。每次調(diào)整后，可以進行MTF解析，在判斷解析結(jié)果滿足上述條件時，停止調(diào)節(jié)。如果調(diào)整后發(fā)現(xiàn)解析結(jié)果不滿足上述條件，則繼續(xù)進行調(diào)整。此外，在圖1所示的實施例中，反光元件8設(shè)置在接收物鏡6和感光元件7之間，從而可以提高所述激光位移傳感器的內(nèi)部空間利用率，減小其外形尺寸。在所述激光位移傳感器外形尺寸允許的情況下，反光元件8可省略。在測量光斑和成像物鏡6之間的帶通濾光片5被用來濾除或降低雜散光對測量系統(tǒng)的影響。
從圖3所示的成像光學(xué)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖可看出，在整個物面并不垂直于光軸時，經(jīng)過系統(tǒng)成像以后得到的像面也不垂直于光軸，與光軸存在一定的夾角β，設(shè)計的lastβ優(yōu)化值取為60.4628°，此時像面上可得到比較理想的光斑分布。在工作范圍內(nèi)不同視場的散射光均能很好地成像于探測器。在圖4中可看到不同視場的成像光斑形狀，此點列圖表明成像光斑分布均勻，但還存在一定的剩余像差，主要為球差，光斑大小可見表2，光斑直徑在20μm左右。同時根據(jù)設(shè)計結(jié)果可得像距為33.092mm，經(jīng)計算tanα/tanβ=0.6137，di/do=0.6145，此物鏡設(shè)計基本滿足于Scheimpflug理想成像條件。它們通常具有小巧的尺寸和輕便的重量，可以方便地安裝在各種設(shè)備和系統(tǒng)中。
方式[0019]請參照圖1所示，本實用新型激光位移傳感器檢驗校準裝置100的較佳實施例，包括一可伸縮導(dǎo)軌1、一微調(diào)裝置2、一傳感器夾持裝置3、一激光位移傳感器4以及一激光紅外線接收擋板5；所述微調(diào)裝置2和傳感器夾持裝置3設(shè)于所述可伸縮導(dǎo)軌1的上端；所述激光位移傳感器4夾持在所述傳感器夾持裝置3上，且使所述激光位移傳感器4的激光發(fā)射端朝向所述微調(diào)裝置2；所述激光紅外線接收擋板5與所述微調(diào)裝置2固接，且使所述激光紅外線接收擋板5的接收面朝向所述傳感器夾持裝置3。它可以用于測量物體的形狀和輪廓，以提供準確的幾何信息。青浦區(qū)激光位移傳感器廠家現(xiàn)貨
激光三角反射式測量原理基于簡單的幾何關(guān)系。泉州激光位移傳感器源頭直供廠家
通過將反光元件設(shè)置在成像物鏡與感光元件之間，能夠減小激光位移傳感器的設(shè)備體積，便于激光位移傳感器的使用和安裝；通過采用線陣感光元件，能夠降低激光位移傳感器的成本；另外，由于線陣感光元件的多個感光單元沿著直線排列，所以在該直線的延伸方向上的MTF值拉高而將與該直線垂直方向上的MTF值降低，并不會影響測量精度，還能夠讓光斑更加容易地被線陣感光元件所接收；通過采用帶通濾光片，能夠濾除或降低雜散光，避免激光位移傳感器收到干擾，保證測量的準確度。泉州激光位移傳感器源頭直供廠家