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易于想到的是,發(fā)光件還可設(shè)置為發(fā)射多色光,如當(dāng)被測物體放置在efficient測量區(qū)域但不是best位置時(shí),發(fā)光件發(fā)出黃光等。光源耦合器和探頭殼體之間設(shè)置有導(dǎo)光光纖,導(dǎo)光光纖的入光端可拆卸連接在光源耦合器中,preference的連接方式為導(dǎo)光光纖的入光端正對(duì)發(fā)光件的發(fā)光面,探頭殼體上開設(shè)有插槽,導(dǎo)光光纖的另一端(出光端)通過插槽可拆卸連接在探頭殼體的側(cè)壁上,導(dǎo)光光纖用于將光源耦合器中的發(fā)光件發(fā)出的光傳導(dǎo)到探頭殼體的側(cè)壁,從而實(shí)現(xiàn)提示光從探頭殼體的側(cè)壁上發(fā)出,當(dāng)手握探頭殼體進(jìn)行位置測量時(shí),方便人眼獲取探頭殼體上發(fā)出的指示光,通過指示光的不同顏色,從而判斷物體的擺放位置的狀態(tài)。該傳感器的測量范圍受到光譜共焦顯微鏡成像范圍的限制。無錫光譜共焦位移傳感器誠信合作
本實(shí)用新型涉及光電精密測量領(lǐng)域,尤其涉及的是一種光譜共焦位移傳感器。隨著我國的航空航天、汽車、造船等高技術(shù)產(chǎn)業(yè)飛速發(fā)展,對(duì)產(chǎn)品和零部件外形尺寸的工藝水平及精度要求越來越高,所以,能否進(jìn)行高效率、高精度的檢測,將直接關(guān)系到產(chǎn)品的質(zhì)量和使用壽命。能進(jìn)行高效率、高精度測量的技術(shù)手段通常分為接觸式測量(以機(jī)械式和壓電式為主)與非接觸式測量(光學(xué)式為主)兩類。非接觸式光學(xué)測量具有如下優(yōu)點(diǎn):無損檢測:可測量柔軟和易變形件、脆性和易損件,特別適合不允許接觸的場景。天津光譜共焦位移傳感器詳情光譜共焦位移傳感器需要專門的光譜共焦顯微鏡來實(shí)現(xiàn)測量。
根據(jù)權(quán)利要求7所述的光譜共焦傳感器,其中,所述分光器包括設(shè)置有所述多個(gè)光入射口的光入射面,以及所述多個(gè)光入射口設(shè)置在包括所述線方向和所述預(yù)定基準(zhǔn)軸的方向的平面與所述光入射面相交的直線上。根據(jù)權(quán)利要求1至8中任一項(xiàng)所述的光譜共焦傳感器,其中,在針對(duì)所述多個(gè)光學(xué)頭中的各光學(xué)頭將如下區(qū)域假定為測量對(duì)象區(qū)域的情況下,所述多個(gè)受光區(qū)域與分別對(duì)應(yīng)于所述多個(gè)光學(xué)頭的多個(gè)測量對(duì)象區(qū)域相對(duì)應(yīng),其中,該區(qū)域是所述線傳感器的從在射出所述多個(gè)光束中的具有shortest波長的光作為所述測量光的情況下的受光位置到在射出具有longest波長的光作為所述測量光的情況下的受光位置為止的區(qū)域。
光譜共焦位移傳感探頭,光譜共焦位移傳感探頭固定連接在入射光纖的出光端,光譜共焦位移傳感探頭用于對(duì)入射光纖傳導(dǎo)的多色光進(jìn)行軸向色散后將不同波長的光分別聚焦,并對(duì)被測物體的反射光進(jìn)行傳導(dǎo)。接收光纖,所述接收光纖的入光端固定設(shè)置在所述光譜共焦位移傳感探頭內(nèi),所述接收光纖的入光端用于選擇性的接收所述光譜共焦位移傳感探頭傳導(dǎo)的被測物體的反射光; 光譜儀,所述光譜儀固定連接所述接收光纖的出光端,所述光譜儀帶有感光元件并用于把被測物體的反射光進(jìn)行色散聚焦到感光元件上且量化成光譜曲線。該傳感器利用光學(xué)共焦原理,通過測量材料表面的光譜變化來確定位移大小。
光譜共焦位移傳感器系統(tǒng)中的光譜儀還包括有用于對(duì)反射光進(jìn)行準(zhǔn)直調(diào)整的準(zhǔn)直透鏡組,準(zhǔn)直透鏡組設(shè)置在接收光纖的出光端與所述棱鏡組之間。機(jī)殼設(shè)置有兩層,聚焦透鏡組位于所述機(jī)殼的上層,感光元件位于機(jī)殼的下層,聚焦透鏡組與感光元件的光路之間設(shè)置有用于轉(zhuǎn)變光線傳播方向的光線轉(zhuǎn)向鏡組,光線轉(zhuǎn)向鏡組包括有上反光鏡,設(shè)置在上反光鏡下方位置的下反光鏡,光線轉(zhuǎn)向鏡組用于使從上層的聚焦透鏡組射出的光線聚焦到下層的感光元件上。光譜共焦位移傳感器是一種高精度具有廣泛的應(yīng)用前景。原裝光譜共焦位移傳感器常用知識(shí)
它的精度可以達(dá)到納米級(jí)別,適用于各種需要高精度位移測量的領(lǐng)域。無錫光譜共焦位移傳感器誠信合作
根據(jù)權(quán)利要求所述的光譜共焦傳感器,其中,所述多個(gè)光學(xué)頭是2個(gè)光學(xué)頭或者3個(gè)光學(xué)頭。一種測量方法,包括以下步驟:射出具有不同波長的多個(gè)光束:通過多個(gè)光學(xué)頭中的各光學(xué)頭將所射出的所述多個(gè)光束會(huì)聚于不同的聚焦位置處,并且射出在所述聚焦位置處被測量點(diǎn)反射的測量光;使從所述多個(gè)光學(xué)頭射出的多個(gè)測量光束發(fā)生衍射,并且向線傳感器的不同的多個(gè)受光區(qū)域射出衍射光束:以及基于所述線傳感器的所述多個(gè)受光區(qū)域各自的受光位置來計(jì)算作為所述多個(gè)光學(xué)頭的測量對(duì)象的多個(gè)測量點(diǎn)各自的位置。無錫光譜共焦位移傳感器誠信合作