浙江光譜共焦位移傳感器產(chǎn)品原理

來源: 發(fā)布時(shí)間:2024-07-17

位于沉孔的開口端,通過粘接固定設(shè)置有透光鏡,透光鏡為玻璃材質(zhì)或塑料材質(zhì),透光鏡可以為平面鏡或凹透鏡,平面透光鏡的設(shè)置可以對導(dǎo)光光纖的出光端進(jìn)行保護(hù),本實(shí)施例中推薦凹透鏡,凹透鏡可以將導(dǎo)光光纖從發(fā)光件傳導(dǎo)過來的光發(fā)散傳導(dǎo)到探頭外,使光的指示范圍更廣,更有利于使用者觀察。探頭殼體設(shè)置為兩部分,包括有上殼體和下殼體,上殼體和下殼體均為圓柱形,上殼體和下殼體通過螺紋或卡扣實(shí)現(xiàn)可拆卸連接,導(dǎo)光光纖的出光端連接在上殼體的沉孔上;而探頭的其他精密光學(xué)部件設(shè)置在下殼體上,這樣導(dǎo)光光纖傳導(dǎo)從發(fā)光件發(fā)出來的光時(shí),不可避免的會產(chǎn)生熱量,通過上殼體與下殼體的分開設(shè)置,從而上殼體和下殼體之間裝配過程中產(chǎn)生配合間隙,導(dǎo)光光纖的熱量大部分會傳導(dǎo)到上殼體上,上殼體與下殼體的配合間隙會抵消上殼體因受熱而產(chǎn)生的形變量,從而減少產(chǎn)生的熱量對下殼體及對下殼體中的高精度元件的影響,提高探頭精度。光譜共焦位移傳感器是一種高精度具有廣泛的應(yīng)用前景。浙江光譜共焦位移傳感器產(chǎn)品原理

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傳統(tǒng)的光譜儀中,還可采用光柵進(jìn)行分光,與棱鏡組相比,光柵分光的光能量損失較大,對于光譜共焦系統(tǒng),finally照射到光譜儀的感光器件上的efficient光譜儀中,還可采用光柵進(jìn)行分光,與棱鏡組相比,光柵分光的光能量損失較大,對于光譜共焦系統(tǒng),finally照射到光譜儀的感光器件上的有效光能信號很弱,影響測量精度和效果。光譜儀還包括有用于對反射光進(jìn)行準(zhǔn)直的準(zhǔn)直透鏡組,準(zhǔn)直透鏡組設(shè)置在接收光纖的出光端與棱鏡組之間。通常光線是發(fā)散的,即開始相鄰的兩條光線傳播后會相離越來越遠(yuǎn),通過準(zhǔn)直透鏡組對反射光進(jìn)行準(zhǔn)直,可以讓多色光平行射入棱鏡組。平行光束的方向穩(wěn)定性高,在接收平面上能形成穩(wěn)定的中心,有利于后續(xù)對各色光進(jìn)行色散。石家莊光譜共焦位移傳感器市場價(jià)格光譜共焦位移傳感器可以實(shí)現(xiàn)對材料的微小變形進(jìn)行精確測量,對于研究材料的性能具有重要意義。

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本實(shí)施例中在探頭殼體的內(nèi)壁上一體成型設(shè)置有鏡座,反光鏡粘接固定設(shè)置在所述鏡座上,所述反光鏡的反光面與探頭殼體的軸向呈45°設(shè)置。通過鏡座對反光鏡形成穩(wěn)定支撐,使反光鏡的反光面與所述探頭殼體的軸向呈45°,便于對光線進(jìn)行反射,使被測物體反射的光線經(jīng)半透半反光學(xué)鏡后轉(zhuǎn)折90°,到達(dá)反光鏡,反光鏡對其轉(zhuǎn)折90°,使光線順利進(jìn)入接收光纖的入光端。探頭殼體的末端固定設(shè)置有用于對光線進(jìn)行色散聚焦的色散鏡頭,色散鏡頭包括有準(zhǔn)直鏡組和色散聚焦鏡組,準(zhǔn)直鏡組固定設(shè)置在靠近多色光光源的一側(cè),用于多色光的準(zhǔn)直;色散聚焦鏡組設(shè)置在被測物體的一側(cè),用于將多色光分別色散和聚焦,使不同波長的光的焦點(diǎn)沿軸向分布在不同高度。從半透半反光學(xué)鏡射出的光線到達(dá)色散鏡頭,先通過準(zhǔn)直鏡組對多色光進(jìn)行準(zhǔn)直,使出射光線變成為軸向平行光,軸向平行光到達(dá)色散聚焦鏡組,從色散聚焦鏡組射出的各色光由于波長的不同而聚焦在不同的高度,各焦點(diǎn)高度按照波長的順序,沿軸向依次排列。

分光器包括線傳感器和光學(xué)系統(tǒng)。光學(xué)系統(tǒng)包括用于使從所述多個(gè)光學(xué)頭射出的多個(gè)測量光束發(fā)生衍射的衍射光柵,并且所述光學(xué)系統(tǒng)向所述線傳感器的不同的多個(gè)受光區(qū)域射出通過所述衍射光柵所衍射的所述多個(gè)測量光束中的各個(gè)測量光束。 所述位置計(jì)算部基于所述線傳感器的所述多個(gè)受光區(qū)域各自的受光位置來計(jì)算作為所述多個(gè)光學(xué)頭的測量對象的多個(gè)測量點(diǎn)各自的位置。該光譜共焦傳感器包括用于使用從光源部射出的光進(jìn)行測量的多個(gè)光學(xué)頭。從光學(xué)頭各自射出的測量光由于衍射光柵而發(fā)生衍射,并且分別向線傳感器的多個(gè)受光區(qū)域射出。因此,可以基于線傳感器的多個(gè)受光區(qū)域的各受光位置來計(jì)算多個(gè)測量點(diǎn)各自的位置。結(jié)果,可以在不增加衍射光柵和線傳感器的數(shù)量的情況下,利用少量的組件來執(zhí)行多點(diǎn)測量該傳感器的優(yōu)點(diǎn)包括高精度、非接觸式和抗溫度、抗振動等效應(yīng)。

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準(zhǔn)直鏡組與色散聚焦鏡組同軸設(shè)置,且準(zhǔn)直鏡組和色散聚焦鏡組共焦點(diǎn)。這樣,使準(zhǔn)直鏡組與色散聚焦鏡組形成4F光學(xué)系統(tǒng),進(jìn)一步減小雜散光。準(zhǔn)直鏡組與色散聚焦鏡組結(jié)構(gòu)簡單,易于加工裝配和調(diào)整,同時(shí)實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)直鏡組與色散聚焦鏡組的軸向色散與波長有較好的函數(shù)關(guān)系的優(yōu)點(diǎn);例如,軸向色散與波長產(chǎn)生三次函數(shù)關(guān)系,有利于加快后續(xù)處理數(shù)據(jù)的運(yùn)算速度。本實(shí)用新型的光譜儀包括有機(jī)殼,在機(jī)殼中固定設(shè)置有棱鏡組,棱鏡組位于接收光纖出光端的軸向上,棱鏡組用于對反射光進(jìn)行色散,在機(jī)殼內(nèi)固定設(shè)置有聚焦透鏡組,聚焦透鏡組用于對色散后的光進(jìn)行聚焦,位于機(jī)殼內(nèi)的所述感光元件設(shè)置在聚焦透鏡組的出光端并用于接收聚焦后的多色光。該傳感器的測量范圍受到光譜共焦顯微鏡成像范圍的限制。松江區(qū)光譜共焦位移傳感器品牌企業(yè)

該傳感器適用于高分辨率成像系統(tǒng),例如光學(xué)顯微鏡和掃描電子顯微鏡中的位移測量。浙江光譜共焦位移傳感器產(chǎn)品原理

多個(gè)光入射口可以沿著與線傳感器的線方向相對應(yīng)的預(yù)定方向設(shè)置。因此,可以容易地設(shè)計(jì)分光器。分光器可以包括設(shè)置有多個(gè)光入射口的光入射面。在這種情況下,多個(gè)光入射口可以設(shè)置在包括線方向和預(yù)定基準(zhǔn)軸的方向的平面與光入射面相交的直線上。因此,可以容易地設(shè)計(jì)分光器。在針對多個(gè)光學(xué)頭中的各光學(xué)頭將如下區(qū)域假定為測量對象區(qū)域的情況下,多個(gè)受光區(qū)域可以與分別對應(yīng)于多個(gè)光學(xué)頭的多個(gè)測量對象區(qū)域相對應(yīng),其中,該區(qū)域是線傳感器的從在射出多個(gè)光東中的具shortest波長的光作為測量光的情況下的受光位置到在射出具有longest波長的光作為測量光的情況下的受光位置為止的區(qū)域。浙江光譜共焦位移傳感器產(chǎn)品原理