金華校驗光譜共焦位移傳感器

傳統(tǒng)的探頭中采用的是分光鏡，分光鏡有一定厚度，使光波產(chǎn)生了垂直光軸方向的橫向偏移，而波長不同，其橫向偏移不相等，導(dǎo)致多色光的光軸發(fā)生分離，經(jīng)過色散鏡頭后的聚焦點上不在光軸上，其連線也不是一條直線，所以會產(chǎn)生較大的軸向像差和橫向像差而降低MTF值，使整個系統(tǒng)產(chǎn)生較大誤差，難以保證整個系統(tǒng)的測量精度。因此，本方案采用的半透半反光學(xué)鏡2300實現(xiàn)所有多色光的波長共光軸，不發(fā)生光軸偏移，即發(fā)射光線和接收光線沿光軸完全對稱，而且沒有垂直光軸方向的偏移，可以更好的消除像差，同時其結(jié)構(gòu)簡單，提高機械結(jié)構(gòu)的可加工性。該傳感器可應(yīng)用于微納制造、生物醫(yī)學(xué)和半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域中的精密測量。金華校驗光譜共焦位移傳感器

套筒限位在限位槽內(nèi),且與限位槽相匹配,套筒上設(shè)置有用于光纖連接的螺紋孔進一步,兩個雙凸球面鏡的凸面?zhèn)瘸瘍?nèi)對稱設(shè)置。進一步,兩個雙凸球面鏡之間的間距為2.5~5.5mm。進一步,位于中間的雙凸球面鏡與彎月透鏡之間的間距為3.5~6.0mm。進一步,鹵素?zé)艄庠吹墓庾V波段范圍為360nm~2500nm。光譜共焦位移傳感器是一種具有超高精度和超高穩(wěn)定性的非接觸式位移傳感器與激光三角法相比,光譜共焦具有更高的分辨率,并且由于光發(fā)射和接收同光路,不會出現(xiàn)激光三角法光路容易被遮擋或被測目標(biāo)表面過于光滑而接收不到目標(biāo)反射光的情況,對被測物體適應(yīng)性強,適用于手機玻璃的檢測,凹坑、小孔的測量以及表面形貌的掃描恢復(fù)。光譜共焦傳感器是一種基于光學(xué)色散原理的非接觸式位移傳感器,目的是建立距離與波長間的對應(yīng)關(guān)系。傳統(tǒng)的激光三角法測量技術(shù)已經(jīng)比較成熟,運用也比較widely,但由于CCD相機接收反射光范圍的限制,不能用于可以透光的透明材料和表面有凹坑缺陷玻璃的測量。光譜共焦位移傳感器由于其運用同光路的光纖,只要光能照射的區(qū)域就能夠沿原路返回,可以解決傳統(tǒng)的激光三角法測量不了的領(lǐng)域,對一些高反射、高深寬比、陡峭內(nèi)壁表面有缺陷的玻璃間隙進行測量,且測量精度能夠達到亞微米級別。深圳光譜共焦位移傳感器出廠價該傳感器適用于光學(xué)顯微鏡、掃描電子顯微鏡等高分辨率成像系統(tǒng)中的位移測量。

線傳感器可以是在使用預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下布置的。在這種情況下,光學(xué)系統(tǒng)可以是在使用預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下配置的,并且光學(xué)系統(tǒng)可以包括多個測量光束入射的多個光入射口,其中 多個光入射口在使用 預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下設(shè)置在不同位置處。通過以這種方式在使用預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下在布置線傳感器的同時配置光學(xué)系統(tǒng),可以向線傳感器的不同受光區(qū)域射出相應(yīng)的測量光。特別地,通過使用該基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)來在不同位置處設(shè)置多個光入射口,可以容易將各測量光射出至多個受光區(qū)域。 預(yù)定基準(zhǔn)軸可以與在使 測量光從 分光器的虛擬光入射口入射至 光學(xué)系統(tǒng)的情況下的光軸相對應(yīng)。通過在使用測量光從虛擬光入射口入射的情況下的光軸作為基準(zhǔn)的情況下在布置線傳感器的同時配置光學(xué)系統(tǒng),可以將從多個光入射口入射的測量光分別射出至線傳感器的多個受光區(qū)域。

遠距離測量：可遠離被測物體進行掃描測量。 測量效率高：不像接觸測頭那樣需要探測、返回、移動等進行逐點測量，可高速掃描測量。測量精度高：光斑可聚焦到很小，進而可探測一般機械測頭難以探測的部位。 其中，光學(xué)測量以三角測量法應(yīng)用broadest。而根據(jù)三角測量法制成的三角位移傳感器通常所使用的光源為具有亮度高、探測信噪比高的激光光源，但使用激光進行三角測量時，照射到物體表面的激光會呈現(xiàn)顆粒狀的散斑，而且被測物體的顏色、材質(zhì)和放置的角度會影響的光斑的分布，從而確定像點的質(zhì)心位置變得異常困難，導(dǎo)致三角法測量誤差比較大，在測量光潔度高的物體表面時這些缺陷更為明顯，為了更加精細、更加穩(wěn)定的測量位移，需要采用新型位移測量技術(shù)。因此，現(xiàn)有技術(shù)還有待于改進和發(fā)展。光譜共焦位移傳感器是一種高精度、高分辨率的位移測量技術(shù)，具有廣泛的應(yīng)用前景。

光學(xué)頭內(nèi)部的結(jié)構(gòu)不受限制,并且可以適當(dāng)?shù)卦O(shè)計。例如,可以使用諸如孔和準(zhǔn)直透鏡等的其它透鏡。在本實施例中,可以通過No.1光學(xué)頭和第二光學(xué)頭來測量待測物體上的兩個測量點的位置。換句話說,可以同時對作為No.1 光學(xué)頭和第二光學(xué)頭的測量對象的兩個測量點和進行多點測量。當(dāng)然,本發(fā)明不限于在同一待測物體0上進行多點測量的情況,并且可以同時測量兩個不同的待測物體。將從No.1光學(xué)頭和第二光學(xué)頭射出的測量光和經(jīng)由光纖和引導(dǎo)至控制器。射出綠色光作為測量光和。當(dāng)然,本發(fā)明不限于射出同一波長光的情況,并且可以射出分別與測量點和的位置相對應(yīng)的波長光。光譜共焦位移傳感器可以實現(xiàn)對材料的振動頻率和振動幅度的測量，對于研究材料的振動特性具有重要意義。河北光譜共焦位移傳感器產(chǎn)品使用誤區(qū)

光譜共焦技術(shù)可以消除光學(xué)系統(tǒng)的像差和色差等影響，提高測量精度。金華校驗光譜共焦位移傳感器

將光纖和光纖連接至白色LED。具體地,光纖和被布置成使得它們的端部在白色LED 的發(fā)光區(qū)域中彼此充分地接近。因此,可以從單個白色LED 向光纖和射出白色光W。應(yīng)當(dāng)注意,可以適當(dāng)?shù)卦O(shè)計發(fā)光區(qū)域的面積和光纖的芯直徑等,并且還可以配置用于將白色光W向兩個光纖射出的光學(xué)系統(tǒng)等。光纖分束器將從光纖導(dǎo)入的白色光W導(dǎo)出至與No.1光學(xué)頭相連接的光纖。此外,光纖分束器34a將從光纖導(dǎo)入的測量光進行分支,并且將其導(dǎo)出至與分光器相連接的光纖。因此,使從No.1光學(xué)頭射出的測量光從光纖射出到分光器的內(nèi)部。金華校驗光譜共焦位移傳感器