徐州光譜共焦位移傳感器定做

來源: 發(fā)布時間:2024-07-15

在光源耦合器上可裝配連接有入射光纖,入射光纖固定連接在光源耦合器上后,入射光纖的入光端固定連接在光源耦合器中,入射光纖用于接收并傳導所述多色光光源所發(fā)出的多色光;,在入射光纖的出光端固定連接有光譜共焦位移傳感探頭,光譜共焦位移傳感探頭用于對入射光傳導的多色光進行軸向色散后將不同波長的光分別在聚焦于軸向不同高度,并對被測物體的反射光進行接收和傳導;在光譜共焦位移傳感探頭上固定連接有接收光纖,接收光纖的入光端固定設置在光譜共焦位移傳感探頭內(nèi),接收光纖的入光端用于選擇性的接收光譜共焦位移傳感探頭傳導的被測物體的反射光,接收到的反射光在接收光纖內(nèi)進行傳導;該傳感器的應用將有助于提高微納制造、生物醫(yī)學和半導體制造等領域中的精密測量的準確性和效率。徐州光譜共焦位移傳感器定做

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在能夠以這種方式執(zhí)行多點測量的光譜共焦傳感器中,需要能夠減少必要組件的數(shù)量的技術。有鑒于如上所述的情形,本發(fā)明旨在提供能夠利用少量的組件來執(zhí)行多點測量的光譜共焦傳感器以及使用該光譜共焦傳感器的測量方法。為了實現(xiàn)上述目的,根據(jù)本發(fā)明實施例的光譜共焦傳感器包括光源部、多個光學頭、分光器和位置計算部。光源部射出具有不同波長的多個光束。多個光學頭將從所述光源部射出的所述多個光束會聚于不同的聚焦位置處,并且射出在所述聚焦位置處被測量點反射的測量光。南充光譜共焦位移傳感器定做價格它可以實現(xiàn)對材料的表面形貌進行高精度測量,對于研究材料的表面性質(zhì)具有重要意義。

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入射光纖,接收光纖,多個導光光纖外表面套設有保護套,所述保護套一端固定設置在探頭殼體內(nèi)。這樣通過保護套使入射光纖,接收光纖,多個導光光纖形成通過光源耦合器產(chǎn)生多色光,多色光在入射光纖中傳導到光譜共焦位移傳感探頭內(nèi)。通過光譜共焦位移傳感探頭內(nèi)的半透半反光學鏡和色散鏡頭使多色光發(fā)生光譜色散,不同波長的單色光聚焦到不同的軸向位置,使波長與被測物體的位移產(chǎn)生對應關系;被測物體表面反射的反射光通過探頭接收并由接收光纖傳輸?shù)焦庾V儀,光譜儀對反射光進行聚焦并通過設置在光譜儀中的感光元件對反射光進行量化處理,量化后的光波在光譜儀上產(chǎn)生一個光譜波峰,光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測物體表面的波長產(chǎn)生對應關系;

光纖連接至殼體部的后端的大致centre所設置的連接口,使得白色光W被射出到殼體部的內(nèi)部。從光纖射出的白色光穿過物鏡并且從殼體部的前端處所設置的照射面向著待測物體上的測量點照射。物鏡是針對光譜傳感器所設計的透鏡并且產(chǎn)生軸向色像差。具體地,物鏡使入射到光學頭的光會聚于光軸上的各自與波長入相對應的聚焦位置P處。因此,在本實施例中,白色光中所包括的多個可見光東由物鏡會聚于與波長入相對應的相互不同的聚焦位置處。創(chuàng)視智光譜共焦位移傳感器具有高精度、非接觸式、抗溫度、抗振動等優(yōu)點。

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進一步,光譜共焦位移傳感探頭包括有:探頭殼體,探頭殼體與入射光纖和接收光纖固定連接; 半透半反光學鏡,半透半反光學鏡固定設置在入射光纖的出光端的正下方;反光鏡,反光鏡固定設置在探頭殼體的內(nèi)側壁上,反光鏡用于反射半透半反光學鏡所發(fā)出的反射光,接收光纖入光端位于所述反光鏡的上方。進一步,半透半反光學鏡包括有上三棱鏡,與上三棱鏡相膠合的下三棱鏡,膠合面鍍有半透半反膜,半透半反膜與所述入射光纖的出光端射出的光線呈45°設置,上三棱鏡和下三棱鏡均采用等邊直角棱鏡,上三棱鏡和下三棱鏡的直角邊相等。該傳感器可應用于微納制造、生物醫(yī)學和半導體制造等領域中的精密測量。國產(chǎn)光譜共焦位移傳感器性價比高企業(yè)

光譜共焦位移傳感器是一種高精度非接觸位移測量傳感器。徐州光譜共焦位移傳感器定做

位于沉孔的開口端,通過粘接固定設置有透光鏡,透光鏡為玻璃材質(zhì)或塑料材質(zhì),透光鏡可以為平面鏡或凹透鏡,平面透光鏡的設置可以對導光光纖的出光端進行保護,本實施例中推薦凹透鏡,凹透鏡可以將導光光纖從發(fā)光件傳導過來的光發(fā)散傳導到探頭外,使光的指示范圍更廣,更有利于使用者觀察。探頭殼體設置為兩部分,包括有上殼體和下殼體,上殼體和下殼體均為圓柱形,上殼體和下殼體通過螺紋或卡扣實現(xiàn)可拆卸連接,導光光纖的出光端連接在上殼體的沉孔上;而探頭的其他精密光學部件設置在下殼體上,這樣導光光纖傳導從發(fā)光件發(fā)出來的光時,不可避免的會產(chǎn)生熱量,通過上殼體與下殼體的分開設置,從而上殼體和下殼體之間裝配過程中產(chǎn)生配合間隙,導光光纖的熱量大部分會傳導到上殼體上,上殼體與下殼體的配合間隙會抵消上殼體因受熱而產(chǎn)生的形變量,從而減少產(chǎn)生的熱量對下殼體及對下殼體中的高精度元件的影響,提高探頭精度。徐州光譜共焦位移傳感器定做