杭州有哪些光譜共焦位移傳感器

來源: 發(fā)布時間:2024-07-14

光譜共焦位移傳感探頭還設(shè)置有提示組件,提示組件包括有:發(fā)光件,發(fā)光件設(shè)置在光源耦合器中;導光光纖,所述導光光纖的一端連接在光源耦合器中,且另一端延伸連接在探頭殼體的側(cè)壁上,所述導光光纖用于傳導發(fā)光件所發(fā)出的提示光。進一步,入射光纖,接收光纖,導光光纖外表面套設(shè)有保護套,所述保護套一端固定設(shè)置在探頭殼體內(nèi)。采用上述方案的有益效果是:本實用新型提出的一種光譜共焦位移傳感器,通過光源耦合器產(chǎn)生多色光源,多色光源在入射光纖中傳導到光譜共焦位移傳感探頭內(nèi),通過光譜共焦位移傳感探頭內(nèi)的透鏡組和光學元件使多色光發(fā)生光譜色散,不同波長的單色光聚焦到不同的軸向位置,使波長與被測物體的位移產(chǎn)生對應(yīng)關(guān)系;該傳感器可應(yīng)用于微納制造、生物醫(yī)學和半導體制造等領(lǐng)域中的精密測量。杭州有哪些光譜共焦位移傳感器

在接收光纖的出光端可裝配連接有光譜儀,當光譜儀與接收光纖的出光端裝配好后,光譜儀與接收光纖的出光端實現(xiàn)固定連接,光譜儀帶有感光元件并用于把被測物體的反射光進行色散聚焦到感光元件上且量化成光譜曲線。這樣,通過光源耦合器產(chǎn)生多色光,多色光在入射光纖中傳導到光譜共焦位移傳感探頭內(nèi);通過光譜共焦位移傳感探頭內(nèi)的透鏡組和光學元件使多色光發(fā)生光譜色散,不同波長的單色光聚焦到不同的軸向高度,使波長與被測物體的位移產(chǎn)生對應(yīng)關(guān)系;銷售光譜共焦位移傳感器安裝操作注意事項光譜共焦位移傳感器是一種先進的光學測量技術(shù),可以實現(xiàn)高精度的位移測量。

接收光纖,所述接收光纖的入光端固定設(shè)置在所述光譜共焦位移傳感探頭內(nèi),所述接收光纖的入光端用于選擇性的接收所述光譜共焦位移傳感探頭傳導的被測物體的反射光;光譜儀,所述光譜儀固定連接所述接收光纖的出光端,所述光譜儀帶有感光元件并用于把被測物體的反射光進行色散聚焦到感光元件上且量化成光譜曲線。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光譜共焦位移傳感器,其特征在于,所述光譜共焦位移傳感探頭包括有:探頭殼體,所述探頭殼體與入射光纖和接收光纖固定連接;半透半反光學鏡,所述半透半反光學鏡固定設(shè)置在所述入射光纖的出光端的正下方;反光鏡,所述反光鏡固定設(shè)置在所述探頭殼體的內(nèi)側(cè)壁上,所述反光鏡用于反射所述半透半反光學鏡所發(fā)出的反射光,所述接收光纖入光端位于所述反光鏡的上方。

入射光纖,接收光纖,多個導光光纖外表面套設(shè)有保護套,所述保護套一端固定設(shè)置在探頭殼體內(nèi)。這樣通過保護套使入射光纖,接收光纖,多個導光光纖形成通過光源耦合器產(chǎn)生多色光,多色光在入射光纖中傳導到光譜共焦位移傳感探頭內(nèi)。通過光譜共焦位移傳感探頭內(nèi)的半透半反光學鏡和色散鏡頭使多色光發(fā)生光譜色散,不同波長的單色光聚焦到不同的軸向位置,使波長與被測物體的位移產(chǎn)生對應(yīng)關(guān)系;被測物體表面反射的反射光通過探頭接收并由接收光纖傳輸?shù)焦庾V儀,光譜儀對反射光進行聚焦并通過設(shè)置在光譜儀中的感光元件對反射光進行量化處理,量化后的光波在光譜儀上產(chǎn)生一個光譜波峰,光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測物體表面的波長產(chǎn)生對應(yīng)關(guān)系;它可以應(yīng)用于材料的力學性能測試、微納加工、光學元件的制造等多個領(lǐng)域。

傳統(tǒng)的光譜儀中,還可采用光柵進行分光,與棱鏡組相比,光柵分光的光能量損失較大,對于光譜共焦系統(tǒng),finally照射到光譜儀的感光器件上的efficient光譜儀中,還可采用光柵進行分光,與棱鏡組相比,光柵分光的光能量損失較大,對于光譜共焦系統(tǒng),finally照射到光譜儀的感光器件上的有效光能信號很弱,影響測量精度和效果。光譜儀還包括有用于對反射光進行準直的準直透鏡組,準直透鏡組設(shè)置在接收光纖的出光端與棱鏡組之間。通常光線是發(fā)散的,即開始相鄰的兩條光線傳播后會相離越來越遠,通過準直透鏡組對反射光進行準直,可以讓多色光平行射入棱鏡組。平行光束的方向穩(wěn)定性高,在接收平面上能形成穩(wěn)定的中心,有利于后續(xù)對各色光進行色散。它使用光譜共焦技術(shù)來測量物體的微小位移,達到亞微米級的高精度。常州光譜共焦位移傳感器規(guī)格尺寸齊全

光譜共焦位移傳感器是一種高精度、非接觸式的位移測量傳感器。杭州有哪些光譜共焦位移傳感器

進一步,光譜共焦位移傳感探頭包括有:探頭殼體,探頭殼體與入射光纖和接收光纖固定連接; 半透半反光學鏡,半透半反光學鏡固定設(shè)置在入射光纖的出光端的正下方;反光鏡,反光鏡固定設(shè)置在探頭殼體的內(nèi)側(cè)壁上,反光鏡用于反射半透半反光學鏡所發(fā)出的反射光,接收光纖入光端位于所述反光鏡的上方。進一步,半透半反光學鏡包括有上三棱鏡,與上三棱鏡相膠合的下三棱鏡,膠合面鍍有半透半反膜,半透半反膜與所述入射光纖的出光端射出的光線呈45°設(shè)置,上三棱鏡和下三棱鏡均采用等邊直角棱鏡,上三棱鏡和下三棱鏡的直角邊相等。杭州有哪些光譜共焦位移傳感器