隨著科學(xué)技術(shù)的迅猛發(fā)展，具有非接觸、高精度、穩(wěn)定性好、可自動(dòng)化及易于與計(jì)算機(jī)相結(jié)合等特點(diǎn)的激光位移檢測(cè)技術(shù)在自動(dòng)檢測(cè)、機(jī)器人視覺、計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)與制造等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用，已將逐漸取代傳統(tǒng)的接觸式檢測(cè)技術(shù)，成為現(xiàn)代檢測(cè)技術(shù)很重要的手段和方法。非接觸式激光平面檢測(cè)系統(tǒng)主要利用激光位移傳感器與平臺(tái)運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)來檢測(cè)對(duì)象物平面平整度。位移傳感器用來測(cè)量目標(biāo)物體的距離，按與對(duì)象物的接觸類型它分為兩類：主要有使用差動(dòng)電壓等形式的接觸式與使用磁場(chǎng)、超聲波、激光等形式的非接觸式。由于非接觸式激光位移傳感器具有高精度表面掃描的特點(diǎn)，系統(tǒng)選擇基恩士公司的LT一9001Series型激光位移傳感器，該激光位移傳感器可以對(duì)任何對(duì)象物進(jìn)行高精密度的位移測(cè)定，例如可以對(duì)微細(xì)工件、粗面工件的高度進(jìn)行測(cè)定，還可以測(cè)量電路板上的焊錫以及測(cè)定透明體的表面和厚度。平臺(tái)運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)選擇丹納赫公司的ULTIMAC—G型控制器和二維電動(dòng)平移臺(tái)。云南麗江天文工作站2.4mm天文望遠(yuǎn)鏡終端的拼接CCD相機(jī)為了得到更清晰的天體圖像，將采用該非接觸式激光平面檢測(cè)系統(tǒng)，對(duì)拼接CCD相機(jī)平面平整度進(jìn)行檢測(cè)。它具有高精度、高靈敏度和快速響應(yīng)的特點(diǎn)，適用于各種應(yīng)用領(lǐng)域。安徽激光位移傳感器量大從優(yōu)
圖3a至圖3c示出了在弧矢(S)方向和(T)方向的MTF值被配置為滿足上述要求的情況下，被感光元件接收到的光斑的形狀。圖3a是被測(cè)物體在激光位移傳感器的best小量程處的情況下，感光元件接收到的光斑的形狀，OBJ：-2.1000mm，0.0000mm為物點(diǎn)在子午方向無偏離，在弧矢方向偏離-2.1mm，IMA：1.627，0.000mm為所成的像點(diǎn)在子午方向無偏離，在弧矢方向偏離1.627mm。圖3b是被測(cè)物體在激光位移傳感器的中間量程處的情況下，感光元件接收到的光斑的形狀，OBJ：0.0000，0.0000mm為物點(diǎn)在弧矢方向無偏離，在子午方向無偏離，IMA：-0.243，0.000mm為所成的像點(diǎn)在子午方向無偏離，在弧矢方向偏離-0.243mm。圖3c是被測(cè)物體在激光位移傳感器的比較大量程處的情況下，感光元件接收到的光斑的形狀，OBJ：2.1000，0.0000mm為物點(diǎn)在子午方向無偏離，虹口區(qū)激光位移傳感器主要功能與優(yōu)勢(shì)高精度激光位移傳感器可以用于測(cè)量材料的壓縮和伸展性能。
在一個(gè)實(shí)施例中，激光位移傳感器通過調(diào)整成像物鏡6與感光元件7之間的距離，在空間頻率為62.5lp/mm處，MTFS大于10倍的MTFT，其中，MTFS為量程內(nèi)被測(cè)點(diǎn)在S方向的MTF值，MTFT為量程內(nèi)被測(cè)點(diǎn)在T方向的MTF值，曲線1為物點(diǎn)在子午方向和弧矢方向上都沒有偏離的MTFT值，曲線2為物點(diǎn)在子午方向和弧矢方向上都沒有偏移的MTFS值；曲線3為物點(diǎn)在弧矢方向偏離-2.1mm、在子午方向無偏離的MTFT值；曲線4為物點(diǎn)在弧矢方向偏離-2.1mm、在子午方向無偏離的MTFS值；曲線5為物點(diǎn)在弧矢方向偏離2.1mm、在子午方向無偏離的MTFT值；曲線6為物點(diǎn)在弧矢方向偏離2.1mm、在子午方向無偏離的MTFS值(其中，在弧矢方向內(nèi)，向光軸以里偏離為正，向光軸以外偏離為負(fù))。在一具體實(shí)施例中，在空間頻率為62.5lp/mm處，量程內(nèi)被測(cè)點(diǎn)的MTFS≥0.5，MTFT＜0.05。類似地，在采用上述方式1的情況CN10685539 1B6下，同樣可以保證成像物鏡的MTFT和MTFS滿足這些條件。
公開號(hào)為CN1 05138193A的中國發(fā)明專利申請(qǐng)公開一種用于光學(xué)觸摸屏的攝像模組及其鏡頭，具體而言，該專利申請(qǐng)采用拉高成像物鏡T方向的MTF值、壓低S方向的調(diào)質(zhì)傳遞函數(shù)(MTF)值，來提高光學(xué)觸摸屏裝置的靈敏性能。因此，該patent對(duì)于如何提高光學(xué)觸摸屏的靈敏性能，提出了解決方案。但是，激光位移傳感器不同于光學(xué)觸摸屏，隨著激光位移傳感器的使用，很可能會(huì)因?yàn)檎駝?dòng)、機(jī)械變形等原因，使得激光器發(fā)出的光斑無法正確投向傳感器，進(jìn)而導(dǎo)致無法進(jìn)行準(zhǔn)確檢測(cè)、甚至完全無法進(jìn)行測(cè)量的問題。而對(duì)于激光位移傳感器所面臨的設(shè)計(jì)難度高、易受振動(dòng)和機(jī)械變形影響的問題，上述patent無能為力。[0007]針對(duì)上述問題，目前尚未提出有效的解決方案。相比于傳統(tǒng)的接觸式傳感器，激光位移傳感器不會(huì)對(duì)被測(cè)物體造成任何損傷或干擾，適用于對(duì)敏感物體進(jìn)行測(cè)量。
從理論分析和實(shí)際狀況來看，不管是哪種被測(cè)的道路表面，也無論其材料、顏色、反射率、表面粗糙度等是否均勻，它對(duì)檢測(cè)結(jié)果造成的影響主要表現(xiàn)在:表面激光散射點(diǎn)經(jīng)過光學(xué)成像鏡頭成像后，其像點(diǎn)的大小、形狀、光強(qiáng)嚴(yán)格來講是隨機(jī)變化的，成像的光斑并不均勻?qū)ΨQ。在激光位移傳感器中，像面上像點(diǎn)光斑的不對(duì)稱分布是影響激光位移傳感器精度的主要因素。此外，影響傳統(tǒng)類型激光位移傳感器檢測(cè)精度的另一個(gè)重要因素是該傳感器中的光電接收芯片的光電特性。當(dāng)激光位移傳感器的接收芯片采用CCD(光電耦合器件)芯片時(shí)，由于常用的CCD芯片在光照很強(qiáng)時(shí)，會(huì)產(chǎn)生飽和拖尾現(xiàn)象，并由此直接造成像點(diǎn)光斑的極大不對(duì)稱，這對(duì)檢測(cè)結(jié)果會(huì)產(chǎn)生極大影響，嚴(yán)重降低檢測(cè)精度。高精度激光位移傳感器采用激光技術(shù)，能夠?qū)崿F(xiàn)非常精確的位移測(cè)量。江西激光位移傳感器規(guī)格尺寸齊全
它具有較長的使用壽命，能夠長時(shí)間穩(wěn)定地運(yùn)行。安徽激光位移傳感器量大從優(yōu)
所述微調(diào)裝置2包括一蝸輪蝸桿機(jī)構(gòu)21、一電子測(cè)量?jī)x22以及一微調(diào)平臺(tái)23；所述微調(diào)平臺(tái)23設(shè)于所述電動(dòng)伸縮雙直線導(dǎo)軌11上端的尾部，所述微調(diào)平臺(tái)23的末端向上設(shè)有一延伸部231；所述蝸輪蝸桿機(jī)構(gòu)21設(shè)于所述微調(diào)平臺(tái)23的前端；所述電子測(cè)量?jī)x22的一端抵接于所述延伸部231，另一端抵接于所述蝸輪蝸桿機(jī)構(gòu)21。所述蝸輪蝸桿機(jī)構(gòu)21包括一橫向蝸桿211、一蝸輪(未圖示)以及一位移調(diào)節(jié)把手212；所述橫向蝸桿211的一端與所述激光紅外線接收擋板5的背面固接，另一端與所述電子測(cè)量?jī)x22抵接；所述位移調(diào)節(jié)把手212與所述蝸輪固接；當(dāng)旋轉(zhuǎn)所述位移調(diào)節(jié)把手212時(shí)通過所述蝸輪聯(lián)動(dòng)所述橫向蝸桿211進(jìn)行橫向位移。安徽激光位移傳感器量大從優(yōu)