根據權利要求7所述的光譜共焦傳感器,其中，所述分光器包括設置有所述多個光入射口的光入射面，以及所述多個光入射口設置在包括所述線方向和所述預定基準軸的方向的平面與所述光入射面相交的直線上。根據權利要求1至8中任一項所述的光譜共焦傳感器,其中，在針對所述多個光學頭中的各光學頭將如下區(qū)域假定為測量對象區(qū)域的情況下,所述多個受光區(qū)域與分別對應于所述多個光學頭的多個測量對象區(qū)域相對應,其中,該區(qū)域是所述線傳感器的從在射出所述多個光束中的具有shortest波長的光作為所述測量光的情況下的受光位置到在射出具有longest波長的光作為所述測量光的情況下的受光位置為止的區(qū)域。它使用光譜共焦技術來測量物體的微小位移，達到亞微米級的高精度。湖州什么樣光譜共焦位移傳感器
本實施例中在探頭殼體的內壁上一體成型設置有鏡座，反光鏡粘接固定設置在所述鏡座上，所述反光鏡的反光面與探頭殼體的軸向呈45°設置。通過鏡座對反光鏡形成穩(wěn)定支撐，使反光鏡的反光面與所述探頭殼體的軸向呈45°，便于對光線進行反射，使被測物體反射的光線經半透半反光學鏡后轉折90°，到達反光鏡，反光鏡對其轉折90°，使光線順利進入接收光纖的入光端。探頭殼體的末端固定設置有用于對光線進行色散聚焦的色散鏡頭，色散鏡頭包括有準直鏡組和色散聚焦鏡組，準直鏡組固定設置在靠近多色光光源的一側，用于多色光的準直；色散聚焦鏡組設置在被測物體的一側，用于將多色光分別色散和聚焦，使不同波長的光的焦點沿軸向分布在不同高度。從半透半反光學鏡射出的光線到達色散鏡頭，先通過準直鏡組對多色光進行準直，使出射光線變成為軸向平行光，軸向平行光到達色散聚焦鏡組，從色散聚焦鏡組射出的各色光由于波長的不同而聚焦在不同的高度，各焦點高度按照波長的順序，沿軸向依次排列。浦東新區(qū)光譜共焦位移傳感器找哪家光譜共焦位移傳感器是一種高精度具有廣泛的應用前景。
光纖連接至殼體部的后端的大致centre處所設置的連接口,使得白色光W被射出到殼體部的內部。從光纖射出的白色光穿過物鏡并且從殼體部的前端處所設置的照射面向著待測物體上的測量點照射。物鏡是針對光譜傳感器所設計的透鏡并且產生軸向色像差。具體地,物鏡使入射到光學頭的光會聚于光軸上的各自與波長入相對應的聚焦位置P處。因此,在本實施例中,白色光中所包括的多個可見光東由物鏡會聚于與波長入相對應的相互不同的聚焦位置處。創(chuàng)視智
8.根據權利要求7所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于，所述機殼設置有兩層，所述聚焦透鏡組位于所述機殼的上層，所述感光元件位于所述機殼的下層，所述聚焦透鏡組與所述感光元件的光路之間設置有用于轉變光線傳播方向的光線轉向鏡組，所述光線轉向鏡組包括有上反光鏡，設置在所述上反光鏡下方位置的下反光鏡，所述光線轉向鏡組用于將上層的聚焦透鏡組射出的光線聚焦到下層的感光元件上。根據權利要求1所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于，所述光譜共焦位移傳感探頭還設置有提示組件，所述提示組件包括有：發(fā)光件，所述發(fā)光件設置在光源耦合器中；導光光纖，所述導光光纖的一端連接在所述光源耦合器中且另一端延伸連接在探頭殼體的側壁上，所述導光光纖用于傳導所述發(fā)光件所發(fā)出的提示光。10.根據權利要求9所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于，所述入射光纖，接收光纖，導光光纖外表面套設有保護套，所述保護套一端固定設置在探頭殼體內。該傳感器可用于微納制造、生物醫(yī)學、半導體制造等領域中的精密測量。
光譜共焦位移傳感器系統(tǒng)中的光譜儀還包括有用于對反射光進行準直調整的準直透鏡組，準直透鏡組設置在接收光纖的出光端與所述棱鏡組之間。機殼設置有兩層，聚焦透鏡組位于所述機殼的上層，感光元件位于機殼的下層，聚焦透鏡組與感光元件的光路之間設置有用于轉變光線傳播方向的光線轉向鏡組，光線轉向鏡組包括有上反光鏡，設置在上反光鏡下方位置的下反光鏡，光線轉向鏡組用于使從上層的聚焦透鏡組射出的光線聚焦到下層的感光元件上。光譜共焦位移傳感器可以實現(xiàn)對材料的變形過程進行實時監(jiān)測，對于研究材料的力學行為具有重要意義。廣州高精度光譜共焦位移傳感器
光譜共焦位移傳感器是一種高精度、非接觸式的位移測量傳感器。湖州什么樣光譜共焦位移傳感器
6.根據權利要求1所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于，所述光譜儀包括有機殼，固定設置在機殼中并位于所述接收光纖出光端的軸向上且用于對反射光進行色散的棱鏡組，固定設置在所述棱鏡組的出光端并用于對色散后的光進行聚焦的聚焦透鏡組，所述感光元件設置在聚焦透鏡組的出光端并用于接收聚焦后的各色光。7.根據權利要求6所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于，所述光譜儀還包括有用于對反射光進行準直調整的準直透鏡組，所述準直透鏡組設置在所述接收光纖的出光端與所述棱鏡組之間。湖州什么樣光譜共焦位移傳感器