南京通信光譜共焦位移傳感器

遠距離測量：可遠離被測物體進行掃描測量。 測量效率高：不像接觸測頭那樣需要探測、返回、移動等進行逐點測量，可高速掃描測量。測量精度高：光斑可聚焦到很小，進而可探測一般機械測頭難以探測的部位。 其中，光學(xué)測量以三角測量法應(yīng)用broadest。而根據(jù)三角測量法制成的三角位移傳感器通常所使用的光源為具有亮度高、探測信噪比高的激光光源，但使用激光進行三角測量時，照射到物體表面的激光會呈現(xiàn)顆粒狀的散斑，而且被測物體的顏色、材質(zhì)和放置的角度會影響的光斑的分布，從而確定像點的質(zhì)心位置變得異常困難，導(dǎo)致三角法測量誤差比較大，在測量光潔度高的物體表面時這些缺陷更為明顯，為了更加精細(xì)、更加穩(wěn)定的測量位移，需要采用新型位移測量技術(shù)。因此，現(xiàn)有技術(shù)還有待于改進和發(fā)展。該傳感器可被應(yīng)用于微納制造、生物醫(yī)學(xué)和半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域中的精密測量。南京通信光譜共焦位移傳感器

在接收光纖的出光端可裝配連接有光譜儀，當(dāng)光譜儀與接收光纖的出光端裝配好后，光譜儀與接收光纖的出光端實現(xiàn)固定連接，光譜儀帶有感光元件并用于把被測物體的反射光進行色散聚焦到感光元件上且量化成光譜曲線。這樣，通過光源耦合器產(chǎn)生多色光，多色光在入射光纖中傳導(dǎo)到光譜共焦位移傳感探頭內(nèi)；通過光譜共焦位移傳感探頭內(nèi)的透鏡組和光學(xué)元件使多色光發(fā)生光譜色散，不同波長的單色光聚焦到不同的軸向高度，使波長與被測物體的位移產(chǎn)生對應(yīng)關(guān)系；品牌光譜共焦位移傳感器出廠價該傳感器利用光路中的光譜信息來測量位移。

一種光譜共焦傳感器,包括:光源部,用于射出具有不同波長的多個光束:多個光學(xué)頭,用于將從所述光源部射出的所述多個光束會聚于不同的聚焦位置處,并且射出在所述聚焦位置處被測量點反射的測量光:分光器,其包括:線傳感器,以及光學(xué)系統(tǒng),其包括用于使從所述多個光學(xué)頭射出的多個測量光束發(fā)生衍射的衍射光柵,并且向所述線傳感器的不同的多個受光區(qū)域射出通過所述衍射光柵所衍射的所述多個測量光束中的各個測量光束;以及位置計算部,用于基于所述線傳感器的所述多個受光區(qū)域各自的受光位置來計算作為所述多個光學(xué)頭的測量對象的多個測量點各自的位置。

激光位移傳感器利用光學(xué)三角法原理，通過將激光發(fā)射光束投射到被測物體表面，利用漫反射效應(yīng)接收反射光并將光信號轉(zhuǎn)換為電信號輸出，從而獲取被測物體空間位置信息。隨著現(xiàn)代技術(shù)的發(fā)展，激光位移傳感器已成為非接觸測量領(lǐng)域的重要手段，并可以通過與計算機及應(yīng)用軟件配合實現(xiàn)測量數(shù)據(jù)實時處理，為工業(yè)生產(chǎn)制定相關(guān)決策提供幫助。激光位移傳感器具有結(jié)構(gòu)小巧、測量速度快、精度高、測量光斑小、抗干擾能力強和非接觸式的測量特點，廣泛應(yīng)用于微位移測量領(lǐng)域。其應(yīng)用主要是用于非標(biāo)的檢測設(shè)備中，國內(nèi)所使用的激光非接觸測量儀器幾乎主要依靠國外進口。該傳感器的測量范圍受到光譜共焦顯微鏡成像范圍的限制。

將光纖和光纖連接至白色LED。具體地,光纖和被布置成使得它們的端部在白色LED 的發(fā)光區(qū)域中彼此充分地接近。因此,可以從單個白色LED 向光纖和射出白色光W。應(yīng)當(dāng)注意,可以適當(dāng)?shù)卦O(shè)計發(fā)光區(qū)域的面積和光纖的芯直徑等,并且還可以配置用于將白色光W向兩個光纖射出的光學(xué)系統(tǒng)等。光纖分束器將從光纖導(dǎo)入的白色光W導(dǎo)出至與No.1光學(xué)頭相連接的光纖。此外,光纖分束器34a將從光纖導(dǎo)入的測量光進行分支,并且將其導(dǎo)出至與分光器相連接的光纖。因此,使從No.1光學(xué)頭射出的測量光從光纖射出到分光器的內(nèi)部。光譜共焦位移傳感器可以應(yīng)用于材料科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、納米技術(shù)等多個領(lǐng)域。唐山光譜共焦位移傳感器廠家供應(yīng)

該傳感器適用于高分辨率成像系統(tǒng)，例如光學(xué)顯微鏡和掃描電子顯微鏡中的位移測量。南京通信光譜共焦位移傳感器

通過配置線傳感器和光學(xué)系統(tǒng)等以使得測量對象區(qū)域變成彼此不同的區(qū)域,可以高精度地執(zhí)行多點測量。多個光學(xué)頭可以是2個光學(xué)頭或者3個光學(xué)頭。利用本技術(shù),可以使用少量的組件來執(zhí)行2個或3個點的同時測量。根據(jù)本發(fā)明的實施例的測量方法包括射出具有不同波長的多個光束。通過多個光學(xué)頭中的各光學(xué)頭,將所射出的多個光束會聚于不同的聚焦位置處,并且射出在聚焦位置處被測量點反射的測量光。使從多個光學(xué)頭射出的多個測量光束發(fā)生衍射,并且向線傳感器的不同的多個受光區(qū)域射出衍射光束。基于線傳感器的多個受光區(qū)域各自的受光位置來計算作為多個光學(xué)頭的測量對象的多個測量點各自的位置。根據(jù)本發(fā)明,可以利用少量的組件來執(zhí)行多點測量。應(yīng)當(dāng)注意,不必局限于這里的效果,并且可以獲得說明書中的任何效果。南京通信光譜共焦位移傳感器