發(fā)光件和導(dǎo)光光纖的入光端之間，固定設(shè)置有濾光片，濾光片固定設(shè)置在發(fā)光件和導(dǎo)光光纖之間，濾光片用于過(guò)濾紅外線，以減少光熱效應(yīng)高的紅外線在傳遞到探頭殼體的位置時(shí)，使探頭殼體發(fā)熱變形而影響探頭精度。探頭殼體的側(cè)壁上開設(shè)有沉孔，連接導(dǎo)光光纖的出光端的插槽開設(shè)在沉孔底部，且導(dǎo)光光纖的出光端與沉孔的底部的插槽可拆卸連接；這樣，通過(guò)沉孔的設(shè)置，在探頭殼體上形成對(duì)導(dǎo)光光纖連接位進(jìn)行避讓，避免使用者在使用過(guò)程中觸碰到導(dǎo)光光纖，從而影響影響導(dǎo)光光纖，或損傷導(dǎo)光光纖與探頭殼體的連接位。光譜共焦位移傳感器是一種高精度、高分辨率的位移測(cè)量技術(shù)，具有廣闊的應(yīng)用前景。長(zhǎng)春光譜共焦位移傳感器常用解決方案
機(jī)殼設(shè)置有兩層，聚焦透鏡組位于所述機(jī)殼的上層，感光元件位于機(jī)殼的下層，所述聚焦透鏡組與所述感光元件的光路之間設(shè)置有用于轉(zhuǎn)變光線傳播方向的光線轉(zhuǎn)向鏡組，光線轉(zhuǎn)向鏡組包括有上反光鏡，設(shè)置在上反光鏡下方位置的下反光鏡，光線轉(zhuǎn)向鏡組用于使上層的聚焦透鏡組射出的光線聚焦到下層的感光元件上。這樣，通過(guò)光線轉(zhuǎn)向鏡組使光線實(shí)現(xiàn)掉頭轉(zhuǎn)向，從而充分利用上下空間，使原有的水平光路變換為上下光路，使光譜儀的長(zhǎng)度變短，有利于光譜儀小型化和便攜化。長(zhǎng)春光譜共焦位移傳感器常用解決方案光譜共焦位移傳感器具有非接觸式測(cè)量的優(yōu)勢(shì)，可以在微觀尺度下進(jìn)行精確的位移測(cè)量。
隨著精密和超精密制造業(yè)的迅速發(fā)展,對(duì)高精密的檢測(cè)需求也越來(lái)越高,因此高精密的位移傳感器也應(yīng)運(yùn)而生。超精密的位移傳感器精度可達(dá)到微納米級(jí)別;傳統(tǒng)的接觸式測(cè)量雖然也有較高的精度,但是由于其可能會(huì)劃傷被測(cè)物體表面,而且當(dāng)被測(cè)物體為弱剛性或是輕軟材料時(shí),接觸式測(cè)量也會(huì)造成彈性形變,引入測(cè)量的誤差,而且接觸式測(cè)量速度較慢,難以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化測(cè)量,基于接觸式測(cè)量存在的諸多不足,因此非接觸式位移傳感器受到了更大的關(guān)注。如今非接觸式測(cè)量主要有電磁式和光電式兩類,電磁式位移傳感器對(duì)被測(cè)物體的材料類型有要求,因此不具有wide適用性,而且外界的電磁信號(hào)的干擾也會(huì)對(duì)測(cè)量的精度造成影響;高精密光電式位移傳感器,目前常用的是基于激光三角法的位移傳感器,其測(cè)量原理是激光光源打在被測(cè)物體表面,反射的光經(jīng)過(guò)收光鏡簡(jiǎn),在光電探測(cè)器CCD上成像通過(guò)算法標(biāo)定可以推算出被測(cè)物體的位移。目前的光譜共焦位移傳感器大多采用分光鏡和線陣CCD采集干涉條紋的方法,通過(guò)兩束光源產(chǎn)生干涉,干涉條紋的寬度信息可以反映被測(cè)物的位移量測(cè)量信息,此種方案結(jié)構(gòu)復(fù)雜,成本相對(duì)較高;傳統(tǒng)的激光三角法光路容易出現(xiàn)遮擋,導(dǎo)致接收反射光困難,對(duì)透明玻璃或表面有凹坑的材料等更是難以測(cè)量。
本實(shí)用新型目的在于針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)所存在的不足而提供光譜共焦位移傳感器系統(tǒng)的技術(shù)方案,采用價(jià)格便宜的Y型光纖和光譜共焦透鏡組,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,使用方便,具有較強(qiáng)的實(shí)用性,實(shí)現(xiàn)了傳感器探頭的小型化,光源發(fā)射和接收同光路,利用光譜儀對(duì)采集的光波進(jìn)行采集分析,測(cè)量精度高,適用于具有高深寬比、陡峭內(nèi)壁表面有缺陷的玻璃間隙表面進(jìn)行測(cè)量。為了解決上述技術(shù)問(wèn)題,本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案:光譜共焦位移傳感器系統(tǒng),其特征在于:傳感器系統(tǒng)由鹵素?zé)艄庠?、Y型光纖、光譜共焦透鏡組、共焦小孔和光譜儀組成,鹵素?zé)艄庠催B接Y型光纖,光譜儀通過(guò)共焦小孔連接Y型光纖一端,y型光纖另一端連接光譜共焦透鏡組,光譜共焦透鏡組包括盒蓋、盒體、兩個(gè)雙凸球面鏡、套筒和一個(gè)彎月透鏡,盒體內(nèi)設(shè)置有光路通道、限位槽和透光孔,光路通道位于限位槽和透光孔之間,光路通道上從左往右依次設(shè)置有兩個(gè)相互平行的number one卡槽和一個(gè)第二卡槽,兩個(gè)雙凸球面鏡分別限位在兩個(gè)number one卡槽內(nèi),彎月透鏡限位在第二卡槽內(nèi),Y型光纖通過(guò)SMA905插頭與盒體相連。光譜共焦位移傳感器是一種高精度的非接觸式位移傳感器。
過(guò)去,針對(duì)測(cè)量待測(cè)物體的高度等,已經(jīng)使用了光譜共焦傳感器的技術(shù)。例如,日本的intenational公開2014/141535(以下稱為專利文獻(xiàn)1)公開了使用多個(gè)頭部的共焦光學(xué)系統(tǒng)來(lái)進(jìn)行對(duì)測(cè)量對(duì)象的位移的多點(diǎn)測(cè)量的共焦測(cè)量設(shè)備。在該共焦測(cè)量設(shè)備中,在各頭部中設(shè)置有光學(xué)濾波器,并且設(shè)置要用于測(cè)量的波長(zhǎng)帶,以使得這些頭部彼此不同。例如,在No.1頭部中使用具有約400nm~600nm的波長(zhǎng)的光,并且在第二頭部中使用具有約600nm~800nm的波長(zhǎng)的光(專利文獻(xiàn)1的說(shuō)明書中的段落、通過(guò)以這種方式使要在這些頭部中使用的光的波長(zhǎng)帶彼此不同,可以將分光器內(nèi)部所布置的攝像裝置分割成要由各頭部使用的多個(gè)區(qū)域(通道)。結(jié)果,可以針對(duì)多個(gè)光學(xué)頭only使用一個(gè)分光器(攝像裝置)來(lái)進(jìn)行測(cè)量對(duì)象的多點(diǎn)測(cè)量.光譜共焦技術(shù)可以消除光學(xué)系統(tǒng)的像差和色差等影響，提高測(cè)量精度。無(wú)錫優(yōu)勢(shì)光譜共焦位移傳感器
光譜共焦位移傳感器是一種高精度非接觸式位移傳感器。長(zhǎng)春光譜共焦位移傳感器常用解決方案
接收光纖，所述接收光纖的入光端固定設(shè)置在所述光譜共焦位移傳感探頭內(nèi)，所述接收光纖的入光端用于選擇性的接收所述光譜共焦位移傳感探頭傳導(dǎo)的被測(cè)物體的反射光；光譜儀，所述光譜儀固定連接所述接收光纖的出光端，所述光譜儀帶有感光元件并用于把被測(cè)物體的反射光進(jìn)行色散聚焦到感光元件上且量化成光譜曲線。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于，所述光譜共焦位移傳感探頭包括有：探頭殼體，所述探頭殼體與入射光纖和接收光纖固定連接；半透半反光學(xué)鏡，所述半透半反光學(xué)鏡固定設(shè)置在所述入射光纖的出光端的正下方；反光鏡，所述反光鏡固定設(shè)置在所述探頭殼體的內(nèi)側(cè)壁上，所述反光鏡用于反射所述半透半反光學(xué)鏡所發(fā)出的反射光，所述接收光纖入光端位于所述反光鏡的上方。長(zhǎng)春光譜共焦位移傳感器常用解決方案