光譜共焦位移傳感探頭，光譜共焦位移傳感探頭固定連接在入射光纖的出光端，光譜共焦位移傳感探頭用于對入射光纖傳導的多色光進行軸向色散后將不同波長的光分別聚焦，并對被測物體的反射光進行傳導。接收光纖，所述接收光纖的入光端固定設(shè)置在所述光譜共焦位移傳感探頭內(nèi)，所述接收光纖的入光端用于選擇性的接收所述光譜共焦位移傳感探頭傳導的被測物體的反射光； 光譜儀，所述光譜儀固定連接所述接收光纖的出光端，所述光譜儀帶有感光元件并用于把被測物體的反射光進行色散聚焦到感光元件上且量化成光譜曲線。該傳感器的測量范圍受到光譜共焦顯微鏡的成像范圍限制。直銷光譜共焦位移傳感器答疑解惑
激光位移傳感器的工作原理是利用激光發(fā)射光束投射到被測物體表面，接收反射光并將光信號轉(zhuǎn)換為電信號輸出，從而獲取被測物體空間位置信息。根據(jù)激光源發(fā)射光束的不同，激光傳感器可分為點、線兩種。點激光位移傳感器在一個采樣周期內(nèi)只能獲得被測量的一維信息，使用時通常依托于三坐標測量機或三坐標機床等設(shè)備，通過設(shè)備機械運動及傳感器同步掃描來獲取被測物體三維信息。因此，激光位移傳感器在精密測量領(lǐng)域有著廣泛的應用。。。如何光譜共焦位移傳感器定做價格光譜共焦技術(shù)消除了光學像差和色差的影響，提高了測量精度。
本實用新型由于采用了上述技術(shù)方案,具有以下有益效果:1、該系統(tǒng)采用價格便宜的Y型光纖和光譜共焦透鏡組,結(jié)構(gòu)簡單,使用方便,具有較強的實用性,實現(xiàn)了傳感器探頭的小型化,光源發(fā)射和接收同光路,利用光譜儀來對采集的光波進行采集分析2、該系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡單,易于產(chǎn)業(yè)化,測量精度高,能對有凹坑的材料及具有高反射特性的玻璃進行測量3、光譜共焦具有更高的分辨率,并且由于光發(fā)射和接收同光路,不會出現(xiàn)激光三角法光路容易被遮擋或被測目標表面過于光滑而接收不到目標反射光的情況,對被測物適應性強,適用于凹坑、小孔的測量以及表面形貌的掃描恢復:4、可以解決傳統(tǒng)的激光三角法測量不了的領(lǐng)域,對一些高反射、高深寬比、陡峭內(nèi)壁表面有缺陷的玻璃間隙進行測量,且測量精度能夠達到亞微米級別。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單,實用性強,不僅實現(xiàn)了傳感器探頭的小型化,有利于提高測量精度,而且適用于具有高深寬比、陡峭內(nèi)壁表面有缺陷的玻璃間隙進行測量。
通過配置線傳感器和光學系統(tǒng)等以使得測量對象區(qū)域變成彼此不同的區(qū)域,可以高精度地執(zhí)行多點測量。多個光學頭可以是2個光學頭或者3個光學頭。利用本技術(shù),可以使用少量的組件來執(zhí)行2個或3個點的同時測量。根據(jù)本發(fā)明的實施例的測量方法包括射出具有不同波長的多個光束。通過多個光學頭中的各光學頭,將所射出的多個光束會聚于不同的聚焦位置處,并且射出在聚焦位置處被測量點反射的測量光。使從多個光學頭射出的多個測量光束發(fā)生衍射,并且向線傳感器的不同的多個受光區(qū)域射出衍射光束?；诰€傳感器的多個受光區(qū)域各自的受光位置來計算作為多個光學頭的測量對象的多個測量點各自的位置。根據(jù)本發(fā)明,可以利用少量的組件來執(zhí)行多點測量。應當注意,不必局限于這里的效果,并且可以獲得說明書中的任何效果。該傳感器可用于微納制造、生物醫(yī)學和半導體制造等領(lǐng)域的精密測量。
進一步，光譜共焦位移傳感探頭包括有：探頭殼體，探頭殼體與入射光纖和接收光纖固定連接； 半透半反光學鏡，半透半反光學鏡固定設(shè)置在入射光纖的出光端的正下方；反光鏡，反光鏡固定設(shè)置在探頭殼體的內(nèi)側(cè)壁上，反光鏡用于反射半透半反光學鏡所發(fā)出的反射光，接收光纖入光端位于所述反光鏡的上方。進一步，半透半反光學鏡包括有上三棱鏡，與上三棱鏡相膠合的下三棱鏡，膠合面鍍有半透半反膜，半透半反膜與所述入射光纖的出光端射出的光線呈45°設(shè)置，上三棱鏡和下三棱鏡均采用等邊直角棱鏡，上三棱鏡和下三棱鏡的直角邊相等。它使用光譜共焦技術(shù)來測量物體的微小位移，能夠達到亞微米級的高精度。直銷光譜共焦位移傳感器答疑解惑
光譜共焦位移傳感器可以實現(xiàn)對不同材料的位移測量，包括金屬、陶瓷、塑料等。直銷光譜共焦位移傳感器答疑解惑
根據(jù)權(quán)利要求1所述的光譜共焦傳感器,其中所述線傳感器是在使用預定基準軸作為基準的情況下布置的,以及所述光學系統(tǒng)是在使用所述預定基準軸作為基準的情況下配置的,并且所述光學系統(tǒng)包括所述多個測量光束入射的多個光入射口,其中所述多個光入射口在使用所述預定基準軸作為基準的情況下設(shè)置在不同位置處。根據(jù)權(quán)利要求2所述的光譜共焦傳感器,其中，所述預定基準軸與在使所述測量光從所述分光器的虛擬光入射口入射至所述光學系統(tǒng)的情況下的光軸相對應。直銷光譜共焦位移傳感器答疑解惑