將光源耦合器與光譜共焦位移傳感探頭分開設置，設置在光源耦合器中的發(fā)光件實現(xiàn)發(fā)光，并通過導光光纖進行傳導光后在探頭殼體上顯示，從而實現(xiàn)產生熱量的發(fā)光件與探頭殼體分離，而不影響探頭殼體，從而減少發(fā)光件發(fā)光時產生的熱量對光譜共焦位移傳感探頭精度的影響，減少測量誤差，提高測量精度；通過濾光片過濾紅外線，進一步減小發(fā)熱量和傳導的熱量。將探頭殼體設置成可拆卸的上殼體和下殼體兩部分，產生的少量熱量集中在上殼體而不對下殼體上的主要光學部件產生影響，從而減少測量誤差，提高測量精度。它利用光譜共焦技術來測量物體的微小位移，具有亞微米級的高精度。高精度光譜共焦位移傳感器銷售價格
本實用新型涉及光電精密測量領域，尤其涉及的是一種光譜共焦位移傳感器。隨著我國的航空航天、汽車、造船等高技術產業(yè)飛速發(fā)展，對產品和零部件外形尺寸的工藝水平及精度要求越來越高，所以，能否進行高效率、高精度的檢測，將直接關系到產品的質量和使用壽命。能進行高效率、高精度測量的技術手段通常分為接觸式測量(以機械式和壓電式為主)與非接觸式測量(光學式為主)兩類。非接觸式光學測量具有如下優(yōu)點：無損檢測：可測量柔軟和易變形件、脆性和易損件，特別適合不允許接觸的場景。什么樣光譜共焦位移傳感器誠信企業(yè)推薦光譜共焦位移傳感器是一種高精度、具有廣泛的應用前景。
發(fā)光件和導光光纖的入光端之間，固定設置有濾光片，濾光片固定設置在發(fā)光件和導光光纖之間，濾光片用于過濾紅外線，以減少光熱效應高的紅外線在傳遞到探頭殼體的位置時，使探頭殼體發(fā)熱變形而影響探頭精度。探頭殼體的側壁上開設有沉孔，連接導光光纖的出光端的插槽開設在沉孔底部，且導光光纖的出光端與沉孔的底部的插槽可拆卸連接；這樣，通過沉孔的設置，在探頭殼體上形成對導光光纖連接位進行避讓，避免使用者在使用過程中觸碰到導光光纖，從而影響影響導光光纖，或損傷導光光纖與探頭殼體的連接位。
光學頭內部的結構不受限制,并且可以適當?shù)卦O計。例如,可以使用諸如孔和準直透鏡等的其它透鏡。在本實施例中,可以通過No.1光學頭和第二光學頭來測量待測物體上的兩個測量點的位置。換句話說,可以同時對作為No.1 光學頭和第二光學頭的測量對象的兩個測量點和進行多點測量。當然,本發(fā)明不限于在同一待測物體0上進行多點測量的情況,并且可以同時測量兩個不同的待測物體。將從No.1光學頭和第二光學頭射出的測量光和經由光纖和引導至控制器。射出綠色光作為測量光和。當然,本發(fā)明不限于射出同一波長光的情況,并且可以射出分別與測量點和的位置相對應的波長光。光譜共焦位移傳感器可以實現(xiàn)對不同材料的位移測量，包括金屬、陶瓷、塑料等。
根據權利要求所述的光譜共焦傳感器,其中，所述多個光學頭是2個光學頭或者3個光學頭。一種測量方法,包括以下步驟:射出具有不同波長的多個光束:通過多個光學頭中的各光學頭將所射出的所述多個光束會聚于不同的聚焦位置處,并且射出在所述聚焦位置處被測量點反射的測量光;使從所述多個光學頭射出的多個測量光束發(fā)生衍射,并且向線傳感器的不同的多個受光區(qū)域射出衍射光束:以及基于所述線傳感器的所述多個受光區(qū)域各自的受光位置來計算作為所述多個光學頭的測量對象的多個測量點各自的位置。該傳感器可應用于微納制造、生物醫(yī)學和半導體制造等領域中的精密測量。滄州原裝光譜共焦位移傳感器
該傳感器可以用于微納加工、生物醫(yī)學、半導體制造等領域的精密測量。高精度光譜共焦位移傳感器銷售價格
線傳感器可以是在使用預定基準軸作為基準的情況下布置的。在這種情況下,光學系統(tǒng)可以是在使用預定基準軸作為基準的情況下配置的,并且光學系統(tǒng)可以包括多個測量光束入射的多個光入射口,其中 多個光入射口在使用 預定基準軸作為基準的情況下設置在不同位置處。通過以這種方式在使用預定基準軸作為基準的情況下在布置線傳感器的同時配置光學系統(tǒng),可以向線傳感器的不同受光區(qū)域射出相應的測量光。特別地,通過使用該基準軸作為基準來在不同位置處設置多個光入射口,可以容易將各測量光射出至多個受光區(qū)域。 預定基準軸可以與在使 測量光從 分光器的虛擬光入射口入射至 光學系統(tǒng)的情況下的光軸相對應。通過在使用測量光從虛擬光入射口入射的情況下的光軸作為基準的情況下在布置線傳感器的同時配置光學系統(tǒng),可以將從多個光入射口入射的測量光分別射出至線傳感器的多個受光區(qū)域。高精度光譜共焦位移傳感器銷售價格