為了滿足全天候觀察的需求,設(shè)計了波段范圍為可見光-短波紅外寬光譜共焦光學(xué)成像系統(tǒng)。根據(jù)寬光譜共焦原理以及光學(xué)被動式無熱化原理,設(shè)計了一個波段范圍為0.4μm~2.5μm、焦距數(shù)為50 mm,F(xiàn)數(shù)為2.8的光學(xué)成像系統(tǒng),該系統(tǒng)在可見光波段在奈奎斯特頻率為30 lp/mm時傳函值高于0.7,紅外波段在奈奎斯特頻率為30 lp/mm時傳函值高于0.5,探測器選用為15μm×15μm、像元數(shù)為640 pixel×512 pixel碲鎘汞探測器。該寬光譜共焦型光學(xué)系統(tǒng)均采用普通玻璃材料以及易加工的球面透鏡,在溫度范圍-40℃~+60℃內(nèi)對光學(xué)系統(tǒng)消熱差,實現(xiàn)了無需調(diào)焦即可滿足晝夜觀察的使用需求,可廣泛應(yīng)用于安防監(jiān)控、森林防火等領(lǐng)域 。激光位移傳感器在微位移測量領(lǐng)域具有廣泛應(yīng)用。高速光譜共焦安裝操作注意事項
高像素傳感器的設(shè)計取決于對焦水平和圖像室內(nèi)空間NA的要求。同時,在光譜共焦位移傳感器中,屏幕分辨率通常采用全半寬來進行精確測量。高NA可以降低半寬,提高分辨率。因此,在設(shè)計超色差攝像鏡頭時,需要盡可能提高NA。高圖像室內(nèi)空間NA可以提高傳感器系統(tǒng)的燈源使用率,并允許待測表面在相對大的角度或某些方向上傾斜。但是,同時提高NA也會導(dǎo)致球差擴大,并增加電子光學(xué)設(shè)計的優(yōu)化難度。傳感器的檢測范圍主要取決于超色差鏡片的縱向色差。因為光譜儀在各個波長的像素應(yīng)該是一致的 ,如果縱向色差與波長之間存在離散系統(tǒng),這種離散系統(tǒng)也會對傳感器的像素或靈敏度在不同波長上造成較大的差別,從而損害傳感器的特性。通過使用自然散射的玻璃或者衍射光學(xué)元件(DOE)可以形成足夠強的色差。然而,制造難度和成本相對較高,且在可見光范圍內(nèi)透射損耗也非常高。高速光譜共焦安裝操作注意事項光譜共焦技術(shù)可以測量位移,利用返回光譜的峰值波長位置。
光譜共焦位移傳感器是一種高精度 、高靈敏度的測量工件表面缺陷的先進技術(shù)。它利用光學(xué)原理和共焦原理,通過測量光譜信號的位移來實現(xiàn)對工件表面缺陷的精確檢測和定位。本文將介紹光譜共焦位移傳感器測量工件表面缺陷的具體方法。首先,光譜共焦位移傳感器需要與光源和檢測系統(tǒng)配合使用。光源通常LED光源,以保證光譜信號的穩(wěn)定和清晰。檢測系統(tǒng)則包括光譜儀和位移傳感器,用于測量和記錄光譜信號的位移。其次,測量過程中需要對工件表面進行預(yù)處理。這包括清潔表面、去除雜質(zhì)和涂覆適當?shù)姆瓷渫苛?,以提高光譜信號的反射率和清晰度。同時,還需要調(diào)整光譜共焦位移傳感器的焦距和角度,以確保光譜信號能夠準確地投射到工件表面并被傳感器檢測到。接著,進行實際的測量操作。在測量過程中,光譜共焦位移傳感器會實時地對工件表面的光譜信號進行采集和分析。通過分析光譜信號的位移和波形變化,可以準確地檢測出工件表面的缺陷,如凹陷、凸起、裂紋等。同時,光譜共焦位移傳感器還可以實現(xiàn)對缺陷的精確定位和尺寸測量,為后續(xù)的修復(fù)和處理提供重要的參考數(shù)據(jù) 。
硅片柵線的厚度測量方法我們還用創(chuàng)視智能TS-C系列光譜共焦傳感器和CCS控制器,TS-C系列光譜共焦位移傳感器能夠?qū)崿F(xiàn)0.025 μm的重復(fù)精度,±0.02% of F.S.的線性精度,10kHz的測量速度,以及±60°的測量角度,能夠適應(yīng)鏡面、透明、半透明、膜層、金屬粗糙面、多層玻璃等材料表面,支持485、USB、以太網(wǎng)、模擬量的數(shù)據(jù)傳輸接口。我們主要測量太陽能光伏板硅片刪線的厚度,所以這次用單探頭在二維運動平臺上進行掃描測量。柵線測量方法:首先我們將需要掃描測量的硅片選擇三個區(qū)域進行標記如圖1,用光譜共焦C1200單探頭單側(cè)測量 ,柵線厚度是柵線高度-基底的高度差。二維運動平臺掃描測量(由于柵線不是一個平整面,自身有一定的曲率,對測量區(qū)域的選擇隨機性影響較大)。光譜共焦能夠提高研究和制造的精度和效率,為科學(xué)研究和工業(yè)生產(chǎn)提供了有力的技術(shù)支持。
光譜共焦位移傳感器原理,由光源、透鏡組、控制箱等組成。光源發(fā)出1束白光,透鏡組先將白光發(fā)散成一系列波長不同的單色光,然后經(jīng)同軸聚焦在一定范圍內(nèi)形成1個連續(xù)的焦點組,每個焦點的單色光波長對應(yīng)1個軸向位置。當樣品處于焦點范圍內(nèi)時,樣品表面將聚焦后的光反射回去。這些反射回來的光經(jīng)過與鏡頭組焦距相同的聚焦鏡再次聚焦后通過狹縫進入控制箱中的單色儀。因此,只有焦點位置正好處于樣品表面的單色光才能聚焦在狹縫上 。單色儀將該波長的光分離出來,由控制箱中的光電組件識別并?得到樣品的軸向位置。采用高數(shù)值孔徑的聚焦鏡頭可以使傳感器達到較高分辨率,滿足薄膜厚度分布測量要求。光譜共焦三維形貌儀用超大色散線性物鏡組設(shè)計是一項重要的研究內(nèi)容。防水型光譜共焦制作廠家
光譜共焦技術(shù)在生物醫(yī)學(xué)、材料科學(xué)、環(huán)境監(jiān)測等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。高速光譜共焦安裝操作注意事項
基于光譜共焦技術(shù)的手機曲面外殼輪廓測量,是一種利用光譜共焦技術(shù)對手機曲面外殼輪廓進行非接觸式測量的方法。該技術(shù)主要通過在光譜共焦顯微鏡中利用激光在手機曲面外殼上聚焦產(chǎn)生的共聚焦點,實現(xiàn)對表面高度的快速、準確測量 。通過采集不同波長的反射光譜信息,結(jié)合光譜共焦技術(shù)提高空間分辨率,可以測量出手機曲面外殼上不同位置的高度值,得到完整的三維輪廓圖。相比傳統(tǒng)的機械測量和影像測量方法,基于光譜共焦技術(shù)的手機曲面外殼輪廓測量具有非接觸、快速、高精度、高分辨率和方便可靠等優(yōu)勢,可以適用于手機外殼、香水瓶等曲面形狀復(fù)雜的產(chǎn)品的測量和質(zhì)量控制。高速光譜共焦安裝操作注意事項