被測物體表面反射的反射光通過探頭接收并由接收光纖選擇性的傳輸?shù)焦庾V儀，光譜儀對反射光進(jìn)行聚焦并通過設(shè)置在光譜儀中的感光元件對反射光進(jìn)行量化處理，量化后的光波在光譜儀上產(chǎn)生一個光譜波峰，光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測物體表面的波長產(chǎn)生對應(yīng)關(guān)系；光譜儀將波長、被測物體的位移和光譜波峰位置三者建立對應(yīng)關(guān)系后進(jìn)行分析，通過光譜波峰反推出被測物體的位移，實現(xiàn)利用光譜共焦原理測量位移的過程；因此本方案中的光譜共焦位移傳感器通過光譜共焦工作原理，避免使用激光直接照射到物體表面而呈現(xiàn)顆粒狀的散斑，克服不易確定像點的質(zhì)心位置的缺陷。該傳感器可被應(yīng)用于微納制造、生物醫(yī)學(xué)和半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域中的精密測量。如何選光譜共焦位移傳感器源頭直供廠家
發(fā)光件和導(dǎo)光光纖的入光端之間，固定設(shè)置有濾光片，濾光片固定設(shè)置在發(fā)光件和導(dǎo)光光纖之間，濾光片用于過濾紅外線，以減少光熱效應(yīng)高的紅外線在傳遞到探頭殼體的位置時，使探頭殼體發(fā)熱變形而影響探頭精度。探頭殼體的側(cè)壁上開設(shè)有沉孔，連接導(dǎo)光光纖的出光端的插槽開設(shè)在沉孔底部，且導(dǎo)光光纖的出光端與沉孔的底部的插槽可拆卸連接；這樣，通過沉孔的設(shè)置，在探頭殼體上形成對導(dǎo)光光纖連接位進(jìn)行避讓，避免使用者在使用過程中觸碰到導(dǎo)光光纖，從而影響影響導(dǎo)光光纖，或損傷導(dǎo)光光纖與探頭殼體的連接位。常用光譜共焦位移傳感器技術(shù)指導(dǎo)它可以實現(xiàn)對材料的表面形貌進(jìn)行高精度測量，對于研究材料的表面性質(zhì)具有重要意義。
光纖連接至殼體部的后端的大致centre處所設(shè)置的連接口,使得白色光W被射出到殼體部的內(nèi)部。從光纖射出的白色光穿過物鏡并且從殼體部的前端處所設(shè)置的照射面向著待測物體上的測量點照射。物鏡是針對光譜傳感器所設(shè)計的透鏡并且產(chǎn)生軸向色像差。具體地,物鏡使入射到光學(xué)頭的光會聚于光軸上的各自與波長入相對應(yīng)的聚焦位置P處。因此,在本實施例中,白色光中所包括的多個可見光東由物鏡會聚于與波長入相對應(yīng)的相互不同的聚焦位置處。創(chuàng)視智
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于，所述光譜儀包括有機(jī)殼，固定設(shè)置在機(jī)殼中并位于所述接收光纖出光端的軸向上且用于對反射光進(jìn)行色散的棱鏡組，固定設(shè)置在所述棱鏡組的出光端并用于對色散后的光進(jìn)行聚焦的聚焦透鏡組，所述感光元件設(shè)置在聚焦透鏡組的出光端并用于接收聚焦后的各色光。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于，所述光譜儀還包括有用于對反射光進(jìn)行準(zhǔn)直調(diào)整的準(zhǔn)直透鏡組，所述準(zhǔn)直透鏡組設(shè)置在所述接收光纖的出光端與所述棱鏡組之間。光譜共焦位移傳感器是一種高精度非接觸式位移傳感器。
根據(jù)權(quán)利要求2所述的光譜共焦傳感器,其中，所述預(yù)定基準(zhǔn)軸與在使所述測量光從所述分光器的虛擬光入射口入射至所述光學(xué)系統(tǒng)的情況下的光軸相對應(yīng)。根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的光譜共焦傳感器,其中，所述多個光入射口被設(shè)置成從所述多個光入射口入射的所述多個測量光束各自的光軸變得與所述預(yù)定基準(zhǔn)軸大致平行。根據(jù)權(quán)利要求2至4中任一項所述的光譜共焦傳感器,其中，所述多個光入射口設(shè)置在相對于所述預(yù)定基準(zhǔn)軸相互對稱的位置處。根據(jù)權(quán)利要求3所述的光譜共焦傳感器,其中，所述多個光入射口設(shè)置在相對于所述虛擬光入射口相互對稱的位置處。根據(jù)權(quán)利要求2至6中任一項所述的光譜共焦傳感器,其中，所述多個光入射口沿著與所述線傳感器的線方向相對應(yīng)的預(yù)定方向設(shè)置。該傳感器可用于微納制造、生物醫(yī)學(xué)和半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域的精密測量。南京光譜共焦位移傳感器制造公司
該傳感器利用光路中的光譜信息實現(xiàn)對位移的測量。如何選光譜共焦位移傳感器源頭直供廠家
本實施例中在探頭殼體的內(nèi)壁上一體成型設(shè)置有鏡座，反光鏡粘接固定設(shè)置在所述鏡座上，所述反光鏡的反光面與探頭殼體的軸向呈45°設(shè)置。通過鏡座對反光鏡形成穩(wěn)定支撐，使反光鏡的反光面與所述探頭殼體的軸向呈45°，便于對光線進(jìn)行反射，使被測物體反射的光線經(jīng)半透半反光學(xué)鏡后轉(zhuǎn)折90°，到達(dá)反光鏡，反光鏡對其轉(zhuǎn)折90°，使光線順利進(jìn)入接收光纖的入光端。探頭殼體的末端固定設(shè)置有用于對光線進(jìn)行色散聚焦的色散鏡頭，色散鏡頭包括有準(zhǔn)直鏡組和色散聚焦鏡組，準(zhǔn)直鏡組固定設(shè)置在靠近多色光光源的一側(cè)，用于多色光的準(zhǔn)直；色散聚焦鏡組設(shè)置在被測物體的一側(cè)，用于將多色光分別色散和聚焦，使不同波長的光的焦點沿軸向分布在不同高度。從半透半反光學(xué)鏡射出的光線到達(dá)色散鏡頭，先通過準(zhǔn)直鏡組對多色光進(jìn)行準(zhǔn)直，使出射光線變成為軸向平行光，軸向平行光到達(dá)色散聚焦鏡組，從色散聚焦鏡組射出的各色光由于波長的不同而聚焦在不同的高度，各焦點高度按照波長的順序，沿軸向依次排列。如何選光譜共焦位移傳感器源頭直供廠家