分光器包括線傳感器和光學(xué)系統(tǒng)。光學(xué)系統(tǒng)包括用于使從所述多個光學(xué)頭射出的多個測量光束發(fā)生衍射的衍射光柵,并且所述光學(xué)系統(tǒng)向所述線傳感器的不同的多個受光區(qū)域射出通過所述衍射光柵所衍射的所述多個測量光束中的各個測量光束。 所述位置計算部基于所述線傳感器的所述多個受光區(qū)域各自的受光位置來計算作為所述多個光學(xué)頭的測量對象的多個測量點(diǎn)各自的位置。該光譜共焦傳感器包括用于使用從光源部射出的光進(jìn)行測量的多個光學(xué)頭。從光學(xué)頭各自射出的測量光由于衍射光柵而發(fā)生衍射,并且分別向線傳感器的多個受光區(qū)域射出。因此,可以基于線傳感器的多個受光區(qū)域的各受光位置來計算多個測量點(diǎn)各自的位置。結(jié)果,可以在不增加衍射光柵和線傳感器的數(shù)量的情況下,利用少量的組件來執(zhí)行多點(diǎn)測量該傳感器適用于高分辨率成像系統(tǒng)，如光學(xué)顯微鏡和掃描電子顯微鏡中的位移測量。?？诠庾V共焦位移傳感器常用知識
遠(yuǎn)距離測量：可遠(yuǎn)離被測物體進(jìn)行掃描測量。 測量效率高：不像接觸測頭那樣需要探測、返回、移動等進(jìn)行逐點(diǎn)測量，可高速掃描測量。測量精度高：光斑可聚焦到很小，進(jìn)而可探測一般機(jī)械測頭難以探測的部位。 其中，光學(xué)測量以三角測量法應(yīng)用broadest。而根據(jù)三角測量法制成的三角位移傳感器通常所使用的光源為具有亮度高、探測信噪比高的激光光源，但使用激光進(jìn)行三角測量時，照射到物體表面的激光會呈現(xiàn)顆粒狀的散斑，而且被測物體的顏色、材質(zhì)和放置的角度會影響的光斑的分布，從而確定像點(diǎn)的質(zhì)心位置變得異常困難，導(dǎo)致三角法測量誤差比較大，在測量光潔度高的物體表面時這些缺陷更為明顯，為了更加精細(xì)、更加穩(wěn)定的測量位移，需要采用新型位移測量技術(shù)。因此，現(xiàn)有技術(shù)還有待于改進(jìn)和發(fā)展。優(yōu)勢光譜共焦位移傳感器制造廠家光譜共焦技術(shù)可以消除光學(xué)像差和色差的影響，提高測量精度。
光譜共焦位移傳感探頭還設(shè)置有提示組件，提示組件包括有：發(fā)光件，發(fā)光件設(shè)置在光源耦合器中；導(dǎo)光光纖，所述導(dǎo)光光纖的一端連接在光源耦合器中，且另一端延伸連接在探頭殼體的側(cè)壁上，所述導(dǎo)光光纖用于傳導(dǎo)發(fā)光件所發(fā)出的提示光。進(jìn)一步，入射光纖，接收光纖，導(dǎo)光光纖外表面套設(shè)有保護(hù)套，所述保護(hù)套一端固定設(shè)置在探頭殼體內(nèi)。采用上述方案的有益效果是：本實(shí)用新型提出的一種光譜共焦位移傳感器，通過光源耦合器產(chǎn)生多色光源，多色光源在入射光纖中傳導(dǎo)到光譜共焦位移傳感探頭內(nèi)，通過光譜共焦位移傳感探頭內(nèi)的透鏡組和光學(xué)元件使多色光發(fā)生光譜色散，不同波長的單色光聚焦到不同的軸向位置，使波長與被測物體的位移產(chǎn)生對應(yīng)關(guān)系；
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于，所述光譜儀包括有機(jī)殼，固定設(shè)置在機(jī)殼中并位于所述接收光纖出光端的軸向上且用于對反射光進(jìn)行色散的棱鏡組，固定設(shè)置在所述棱鏡組的出光端并用于對色散后的光進(jìn)行聚焦的聚焦透鏡組，所述感光元件設(shè)置在聚焦透鏡組的出光端并用于接收聚焦后的各色光。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于，所述光譜儀還包括有用于對反射光進(jìn)行準(zhǔn)直調(diào)整的準(zhǔn)直透鏡組，所述準(zhǔn)直透鏡組設(shè)置在所述接收光纖的出光端與所述棱鏡組之間。光譜共焦位移傳感器可以實(shí)時監(jiān)測材料的變化情況，對于研究材料的力學(xué)性能具有重要意義。
激光位移傳感器的工作原理是利用激光發(fā)射光束投射到被測物體表面，接收反射光并將光信號轉(zhuǎn)換為電信號輸出，從而獲取被測物體空間位置信息。根據(jù)激光源發(fā)射光束的不同，激光傳感器可分為點(diǎn)、線兩種。點(diǎn)激光位移傳感器在一個采樣周期內(nèi)只能獲得被測量的一維信息，使用時通常依托于三坐標(biāo)測量機(jī)或三坐標(biāo)機(jī)床等設(shè)備，通過設(shè)備機(jī)械運(yùn)動及傳感器同步掃描來獲取被測物體三維信息。因此，激光位移傳感器在精密測量領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。。。該傳感器可用于微納制造、生物醫(yī)學(xué)和半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域的精密測量。天津光譜共焦位移傳感器供應(yīng)鏈
它可以實(shí)現(xiàn)對材料的變形過程進(jìn)行精確測量，對于研究材料的變形行為具有重要意義。?？诠庾V共焦位移傳感器常用知識
本實(shí)施例中的光譜共焦位移傳感探頭還包括有提示組件，光源耦合器作為單獨(dú)結(jié)構(gòu)與探頭殼體分開設(shè)置。提示組件包括在光源耦合器內(nèi)，通過卡扣可拆卸設(shè)置，用于產(chǎn)生提示光的發(fā)光件；發(fā)光件也可直接固定在光源耦合器內(nèi)。發(fā)光件為雙色LED燈，也可為其他可見光光源，當(dāng)探頭操作正常且被測物體在有效測量區(qū)域時，由控制系統(tǒng)發(fā)出控制信號點(diǎn)亮發(fā)光件，發(fā)光件發(fā)出綠色光，提醒使用者操作正常，可以繼續(xù)操作。當(dāng)探頭操作不正?；虮粶y物體不在有效測量區(qū)域時，由控制系統(tǒng)發(fā)出控制信號點(diǎn)亮發(fā)光件，發(fā)光件發(fā)出紅光，提示使用者操作出現(xiàn)問題，需要更正。發(fā)光件發(fā)出不同顏色的光便于使用者了解探頭的使用情況，增加便利性。海口光譜共焦位移傳感器常用知識