閔行區(qū)光譜共焦位移傳感器

多個光入射口可以沿著與線傳感器的線方向相對應(yīng)的預(yù)定方向設(shè)置。因此,可以容易地設(shè)計分光器。分光器可以包括設(shè)置有多個光入射口的光入射面。在這種情況下,多個光入射口可以設(shè)置在包括線方向和預(yù)定基準(zhǔn)軸的方向的平面與光入射面相交的直線上。因此,可以容易地設(shè)計分光器。在針對多個光學(xué)頭中的各光學(xué)頭將如下區(qū)域假定為測量對象區(qū)域的情況下，多個受光區(qū)域可以與分別對應(yīng)于多個光學(xué)頭的多個測量對象區(qū)域相對應(yīng),其中，該區(qū)域是線傳感器的從在射出多個光東中的具有shortest波長的光作為測量光的情況下的受光位置到在射出具有longest波長的光作為測量光的情況下的受光位置為止的區(qū)域。光譜共焦位移傳感器需要專門的光譜共焦顯微鏡來實現(xiàn)測量。閔行區(qū)光譜共焦位移傳感器

本實施例中的光譜共焦位移傳感探頭具體包括有探頭殼體，探頭殼體與入射光纖和接收光纖固定連接，探頭殼體優(yōu)先采用圓柱形殼體，用于對探頭內(nèi)的光學(xué)元件進(jìn)行安裝和支撐且對結(jié)構(gòu)進(jìn)行保護(hù)，易于想到的是，探頭殼體可設(shè)置為方形，多邊形或其他特定形狀。在探頭殼體內(nèi)固定設(shè)置有半透半反光學(xué)鏡，半透半反光學(xué)鏡位于所述入射光纖的出光端的正下方；半透半反光學(xué)鏡對通過入射光纖傳導(dǎo)后的多色光實現(xiàn)一半透射而一半反射，而當(dāng)透射的光線經(jīng)過被測物體反射形成反射光后照射到半透半反光學(xué)鏡上，半透半反光學(xué)鏡對反射光進(jìn)行一半透射，一半反射；長春光譜共焦位移傳感器調(diào)試該傳感器的優(yōu)點包括高精度、非接觸式和抗溫度、抗振動等效應(yīng)。

這樣，通過棱鏡組對接收光纖的出光端發(fā)出的多色光進(jìn)行色散，色散后的光通過聚焦透鏡組進(jìn)行聚焦，使焦點位于感光元件上，通過感光元件與控制電路電性連接，從而實現(xiàn)電信號輸出，即對反射光進(jìn)行量化處理，量化后的光波在光譜儀上產(chǎn)生一個光譜波峰，光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測物體表面的波長產(chǎn)生對應(yīng)關(guān)系；光譜儀將波長、被測物體的位移和光譜波峰位置三者建立對應(yīng)關(guān)系后進(jìn)行分析，通過波光譜波峰位置反推出被測物體的位移，實現(xiàn)使用光譜共焦原理測量位移的過程。本實施例采用棱鏡組進(jìn)行色散，具有較小的光能量損失。

在探頭殼體的內(nèi)側(cè)壁上固定設(shè)置有反光鏡，所述反光鏡用于反射所述半透半反光學(xué)鏡所發(fā)出的反射光，即反光鏡對半透半反光學(xué)鏡所反射的光線進(jìn)行再次反射，所述接收光纖入光端位于所述反光鏡的上方，通過反光鏡所反射的反射光進(jìn)入到接收光纖的入光端，再通過接收光纖傳遞反射光到光譜儀。本實施例中采用的入射光纖和接收光纖的入光端和出光端的用于導(dǎo)光的纖芯直徑均為微米級，直徑通常為50-100毫米，導(dǎo)光直徑非常小，當(dāng)反射光的焦點落在接收光纖的纖芯之外時，無法對反射光進(jìn)行接收，而需要測量的相應(yīng)波長的反射光可以順利通過接收光纖的纖芯，被順利接收和傳導(dǎo)，實現(xiàn)對不同波長的反射光進(jìn)行選擇和物理過濾，因此可以通過縮小光纖的纖芯直徑來使采樣信號更銳利，從提高采樣信號的信噪比和測量精確度。光譜共焦位移傳感器可以應(yīng)用于材料科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、納米技術(shù)等多個領(lǐng)域。

本實用新型公開了光譜共焦位移傳感器系統(tǒng),傳感器系統(tǒng)由鹵素?zé)艄庠?、y型光纖、光譜共焦透鏡組、共焦小孔和光譜儀組成,鹵素?zé)艄庠催B接Y型光纖，光譜儀通過共焦小孔連接Y型光纖一端,Y型光纖另一端連接光譜共焦透鏡組，光譜共焦透鏡組包括盒蓋、盒體、兩個雙凸球面鏡、套筒和一個彎月透鏡,盒體內(nèi)設(shè)置有光路通道、限位槽和透光孔，光路通道上從左往右依次設(shè)置有較早卡槽和第二卡槽,兩個雙凸球面鏡分別限位在兩個較早卡槽內(nèi),彎月透鏡限位在第二卡槽內(nèi)。本實用新型采用價格便宜的Y型光纖和光譜共焦透鏡組，具有較強(qiáng)的實用性,減小傳感器探頭的體積,光源發(fā)射和接收同光路,適用于具有高深寬比、陡峭內(nèi)壁表面有缺陷的玻璃間隙表面進(jìn)行測量。光譜共焦位移傳感器可以實時監(jiān)測材料的變化情況，對于研究材料的力學(xué)性能具有重要意義。閔行區(qū)光譜共焦位移傳感器

光譜共焦位移傳感器是一種高精度、非接觸式的位移測量傳感器。閔行區(qū)光譜共焦位移傳感器

進(jìn)一步，光譜共焦位移傳感探頭包括有：探頭殼體，探頭殼體與入射光纖和接收光纖固定連接； 半透半反光學(xué)鏡，半透半反光學(xué)鏡固定設(shè)置在入射光纖的出光端的正下方；反光鏡，反光鏡固定設(shè)置在探頭殼體的內(nèi)側(cè)壁上，反光鏡用于反射半透半反光學(xué)鏡所發(fā)出的反射光，接收光纖入光端位于所述反光鏡的上方。進(jìn)一步，半透半反光學(xué)鏡包括有上三棱鏡，與上三棱鏡相膠合的下三棱鏡，膠合面鍍有半透半反膜，半透半反膜與所述入射光纖的出光端射出的光線呈45°設(shè)置，上三棱鏡和下三棱鏡均采用等邊直角棱鏡，上三棱鏡和下三棱鏡的直角邊相等。閔行區(qū)光譜共焦位移傳感器