6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光譜共焦位移傳感器,其特征在于,所述光譜儀包括有機(jī)殼,固定設(shè)置在機(jī)殼中并位于所述接收光纖出光端的軸向上且用于對(duì)反射光進(jìn)行色散的棱鏡組,固定設(shè)置在所述棱鏡組的出光端并用于對(duì)色散后的光進(jìn)行聚焦的聚焦透鏡組,所述感光元件設(shè)置在聚焦透鏡組的出光端并用于接收聚焦后的各色光。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的光譜共焦位移傳感器,其特征在于,所述光譜儀還包括有用于對(duì)反射光進(jìn)行準(zhǔn)直調(diào)整的準(zhǔn)直透鏡組,所述準(zhǔn)直透鏡組設(shè)置在所述接收光纖的出光端與所述棱鏡組之間。該傳感器的測(cè)量范圍受到光譜共焦顯微鏡成像范圍的限制。銷售光譜共焦位移傳感器出廠價(jià)
易于想到的是,發(fā)光件還可設(shè)置為發(fā)射多色光,如當(dāng)被測(cè)物體放置在efficient測(cè)量區(qū)域但不是best位置時(shí),發(fā)光件發(fā)出黃光等。光源耦合器和探頭殼體之間設(shè)置有導(dǎo)光光纖,導(dǎo)光光纖的入光端可拆卸連接在光源耦合器中,preference的連接方式為導(dǎo)光光纖的入光端正對(duì)發(fā)光件的發(fā)光面,探頭殼體上開(kāi)設(shè)有插槽,導(dǎo)光光纖的另一端(出光端)通過(guò)插槽可拆卸連接在探頭殼體的側(cè)壁上,導(dǎo)光光纖用于將光源耦合器中的發(fā)光件發(fā)出的光傳導(dǎo)到探頭殼體的側(cè)壁,從而實(shí)現(xiàn)提示光從探頭殼體的側(cè)壁上發(fā)出,當(dāng)手握探頭殼體進(jìn)行位置測(cè)量時(shí),方便人眼獲取探頭殼體上發(fā)出的指示光,通過(guò)指示光的不同顏色,從而判斷物體的擺放位置的狀態(tài)。直銷光譜共焦位移傳感器制作廠家該傳感器可以與其他測(cè)量設(shè)備相結(jié)合,實(shí)現(xiàn)多參數(shù)的綜合測(cè)量。
激光位移傳感器的工作原理是利用激光發(fā)射光束投射到被測(cè)物體表面,接收反射光并將光信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)輸出,從而獲取被測(cè)物體空間位置信息。根據(jù)激光源發(fā)射光束的不同,激光傳感器可分為點(diǎn)、線兩種。點(diǎn)激光位移傳感器在一個(gè)采樣周期內(nèi)只能獲得被測(cè)量的一維信息,使用時(shí)通常依托于三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)或三坐標(biāo)機(jī)床等設(shè)備,通過(guò)設(shè)備機(jī)械運(yùn)動(dòng)及傳感器同步掃描來(lái)獲取被測(cè)物體三維信息。因此,激光位移傳感器在精密測(cè)量領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。。。
光譜儀將波長(zhǎng)、被測(cè)物體的位移和光譜波峰位置三者建立對(duì)應(yīng)關(guān)系后進(jìn)行分析,通過(guò)光譜波峰位置反推出被測(cè)物體的位移,實(shí)現(xiàn)通過(guò)光譜共焦的原理測(cè)量位移的過(guò)程。應(yīng)當(dāng)理解的是,本實(shí)用新型的應(yīng)用不限于上述的舉例,對(duì)本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō),可以根據(jù)上述說(shuō)明加以改進(jìn)或變換,所有這些改進(jìn)和變換都應(yīng)屬于本實(shí)用新型所附權(quán)利要求的保護(hù)范圍。一條連接結(jié)構(gòu),實(shí)現(xiàn)便于裝配的同時(shí),對(duì)入射光纖,接收光纖,多個(gè)導(dǎo)光光纖進(jìn)行保護(hù)。創(chuàng)視智能嗯光譜共焦位移傳感器具有高精度、非接觸式、抗溫度和抗振動(dòng)等優(yōu)點(diǎn)。
根據(jù)權(quán)利要求1所述的光譜共焦傳感器,其中所述線傳感器是在使用預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下布置的,以及所述光學(xué)系統(tǒng)是在使用所述預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下配置的,并且所述光學(xué)系統(tǒng)包括所述多個(gè)測(cè)量光束入射的多個(gè)光入射口,其中所述多個(gè)光入射口在使用所述預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下設(shè)置在不同位置處。根據(jù)權(quán)利要求2所述的光譜共焦傳感器,其中,所述預(yù)定基準(zhǔn)軸與在使所述測(cè)量光從所述分光器的虛擬光入射口入射至所述光學(xué)系統(tǒng)的情況下的光軸相對(duì)應(yīng)。它可以實(shí)現(xiàn)對(duì)材料的微觀結(jié)構(gòu)進(jìn)行高精度測(cè)量,對(duì)于研究材料的微觀性質(zhì)具有重要意義。通信光譜共焦位移傳感器成本價(jià)
該傳感器的應(yīng)用將有助于提高微納制造、生物醫(yī)學(xué)和半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域中的精密測(cè)量的準(zhǔn)確性和效率。銷售光譜共焦位移傳感器出廠價(jià)
本實(shí)施例中的光譜共焦位移傳感探頭還包括有提示組件,光源耦合器作為單獨(dú)結(jié)構(gòu)與探頭殼體分開(kāi)設(shè)置。提示組件包括在光源耦合器內(nèi),通過(guò)卡扣可拆卸設(shè)置,用于產(chǎn)生提示光的發(fā)光件;發(fā)光件也可直接固定在光源耦合器內(nèi)。發(fā)光件為雙色LED燈,也可為其他可見(jiàn)光光源,當(dāng)探頭操作正常且被測(cè)物體在有效測(cè)量區(qū)域時(shí),由控制系統(tǒng)發(fā)出控制信號(hào)點(diǎn)亮發(fā)光件,發(fā)光件發(fā)出綠色光,提醒使用者操作正常,可以繼續(xù)操作。當(dāng)探頭操作不正?;虮粶y(cè)物體不在有效測(cè)量區(qū)域時(shí),由控制系統(tǒng)發(fā)出控制信號(hào)點(diǎn)亮發(fā)光件,發(fā)光件發(fā)出紅光,提示使用者操作出現(xiàn)問(wèn)題,需要更正。發(fā)光件發(fā)出不同顏色的光便于使用者了解探頭的使用情況,增加便利性。銷售光譜共焦位移傳感器出廠價(jià)