位于沉孔的開(kāi)口端，通過(guò)粘接固定設(shè)置有透光鏡，透光鏡為玻璃材質(zhì)或塑料材質(zhì)，透光鏡可以為平面鏡或凹透鏡，平面透光鏡的設(shè)置可以對(duì)導(dǎo)光光纖的出光端進(jìn)行保護(hù)，本實(shí)施例中推薦凹透鏡，凹透鏡可以將導(dǎo)光光纖從發(fā)光件傳導(dǎo)過(guò)來(lái)的光發(fā)散傳導(dǎo)到探頭外，使光的指示范圍更廣，更有利于使用者觀察。探頭殼體設(shè)置為兩部分，包括有上殼體和下殼體，上殼體和下殼體均為圓柱形，上殼體和下殼體通過(guò)螺紋或卡扣實(shí)現(xiàn)可拆卸連接，導(dǎo)光光纖的出光端連接在上殼體的沉孔上；而探頭的其他精密光學(xué)部件設(shè)置在下殼體上，這樣導(dǎo)光光纖傳導(dǎo)從發(fā)光件發(fā)出來(lái)的光時(shí)，不可避免的會(huì)產(chǎn)生熱量，通過(guò)上殼體與下殼體的分開(kāi)設(shè)置，從而上殼體和下殼體之間裝配過(guò)程中產(chǎn)生配合間隙，導(dǎo)光光纖的熱量大部分會(huì)傳導(dǎo)到上殼體上，上殼體與下殼體的配合間隙會(huì)抵消上殼體因受熱而產(chǎn)生的形變量，從而減少產(chǎn)生的熱量對(duì)下殼體及對(duì)下殼體中的高精度元件的影響，提高探頭精度。光譜共焦位移傳感器具有高精度、非接觸式、抗溫度、抗振動(dòng)等優(yōu)點(diǎn)。嘉興防護(hù)光譜共焦位移傳感器
本實(shí)用新型解決的技術(shù)問(wèn)題在于，針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的上述缺陷，提供一種光譜共焦位移傳感器，旨在通過(guò)光譜共焦工作原理，避免通過(guò)激光直接照射到物體表面而呈現(xiàn)顆粒狀的散斑，克服不易確定像點(diǎn)的質(zhì)心位置的缺陷。本實(shí)用新型解決技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案如下： 一種光譜共焦位移傳感器，包括底座，其中，還包括有：光源耦合器，所述光源耦合器用于產(chǎn)生多色光； 入射光纖，所述入射光纖的入光端固定連接在所述光源耦合器中并用于接收所述光源耦合器所發(fā)出的多色光；珠海光譜共焦位移傳感器常用知識(shí)該傳感器的應(yīng)用將有助于提高微納制造、生物醫(yī)學(xué)和半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域中的精密測(cè)量的準(zhǔn)確性。
過(guò)去,針對(duì)測(cè)量待測(cè)物體的高度等,已經(jīng)使用了光譜共焦傳感器的技術(shù)。例如,日本的intenational公開(kāi)2014/141535(以下稱(chēng)為專(zhuān)利文獻(xiàn)1)公開(kāi)了使用多個(gè)頭部的共焦光學(xué)系統(tǒng)來(lái)進(jìn)行對(duì)測(cè)量對(duì)象的位移的多點(diǎn)測(cè)量的共焦測(cè)量設(shè)備。在該共焦測(cè)量設(shè)備中,在各頭部中設(shè)置有光學(xué)濾波器,并且設(shè)置要用于測(cè)量的波長(zhǎng)帶,以使得這些頭部彼此不同。例如,在No.1頭部中使用具有約400nm~600nm的波長(zhǎng)的光,并且在第二頭部中使用具有約600nm~800nm的波長(zhǎng)的光(專(zhuān)利文獻(xiàn)1的說(shuō)明書(shū)中的段落、通過(guò)以這種方式使要在這些頭部中使用的光的波長(zhǎng)帶彼此不同,可以將分光器內(nèi)部所布置的攝像裝置分割成要由各頭部使用的多個(gè)區(qū)域(通道)。結(jié)果,可以針對(duì)多個(gè)光學(xué)頭only使用一個(gè)分光器(攝像裝置)來(lái)進(jìn)行測(cè)量對(duì)象的多點(diǎn)測(cè)量.
根據(jù)權(quán)利要求1所述的光譜共焦傳感器,其中所述線傳感器是在使用預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下布置的,以及所述光學(xué)系統(tǒng)是在使用所述預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下配置的,并且所述光學(xué)系統(tǒng)包括所述多個(gè)測(cè)量光束入射的多個(gè)光入射口,其中所述多個(gè)光入射口在使用所述預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下設(shè)置在不同位置處。根據(jù)權(quán)利要求2所述的光譜共焦傳感器,其中，所述預(yù)定基準(zhǔn)軸與在使所述測(cè)量光從所述分光器的虛擬光入射口入射至所述光學(xué)系統(tǒng)的情況下的光軸相對(duì)應(yīng)。光譜共焦位移傳感器可以應(yīng)用于材料科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、納米技術(shù)等多個(gè)領(lǐng)域。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于，所述光譜儀包括有機(jī)殼，固定設(shè)置在機(jī)殼中并位于所述接收光纖出光端的軸向上且用于對(duì)反射光進(jìn)行色散的棱鏡組，固定設(shè)置在所述棱鏡組的出光端并用于對(duì)色散后的光進(jìn)行聚焦的聚焦透鏡組，所述感光元件設(shè)置在聚焦透鏡組的出光端并用于接收聚焦后的各色光。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于，所述光譜儀還包括有用于對(duì)反射光進(jìn)行準(zhǔn)直調(diào)整的準(zhǔn)直透鏡組，所述準(zhǔn)直透鏡組設(shè)置在所述接收光纖的出光端與所述棱鏡組之間。它可以測(cè)量物體微小的位移，精度高達(dá)亞微米級(jí)別。鎮(zhèn)江光譜共焦位移傳感器常用知識(shí)
光譜共焦位移傳感器可以實(shí)現(xiàn)對(duì)材料的變形過(guò)程進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，對(duì)于研究材料的力學(xué)行為具有重要意義。嘉興防護(hù)光譜共焦位移傳感器
本實(shí)施例中通過(guò)采用可拆卸連接便于導(dǎo)光光纖的維護(hù)和更換。所述的發(fā)光件可設(shè)置為一個(gè)或多個(gè)，當(dāng)設(shè)置為一個(gè)時(shí)，導(dǎo)光光纖均傳遞一個(gè)發(fā)光件的光，這樣會(huì)導(dǎo)致傳遞到探頭殼體上的光較弱，從而導(dǎo)致光線的辨識(shí)度不高，因此本實(shí)施例中的所述發(fā)光件設(shè)置有多個(gè)，根據(jù)數(shù)量不同按照不同排列方式排列在光源耦合器中，所述的導(dǎo)光光纖設(shè)置有多個(gè)，發(fā)光件和導(dǎo)光光纖的關(guān)系為一一對(duì)應(yīng)連接關(guān)系，多個(gè)導(dǎo)光光纖呈對(duì)稱(chēng)分布或圓周陣列分布在探頭殼體的側(cè)壁上，這樣由導(dǎo)光光纖一一對(duì)應(yīng)傳遞發(fā)光件產(chǎn)生的光，使光從探頭殼體上發(fā)出后辨識(shí)度高。嘉興防護(hù)光譜共焦位移傳感器