8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于，所述機(jī)殼設(shè)置有兩層，所述聚焦透鏡組位于所述機(jī)殼的上層，所述感光元件位于所述機(jī)殼的下層，所述聚焦透鏡組與所述感光元件的光路之間設(shè)置有用于轉(zhuǎn)變光線(xiàn)傳播方向的光線(xiàn)轉(zhuǎn)向鏡組，所述光線(xiàn)轉(zhuǎn)向鏡組包括有上反光鏡，設(shè)置在所述上反光鏡下方位置的下反光鏡，所述光線(xiàn)轉(zhuǎn)向鏡組用于將上層的聚焦透鏡組射出的光線(xiàn)聚焦到下層的感光元件上。根據(jù)權(quán)利要求1所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于，所述光譜共焦位移傳感探頭還設(shè)置有提示組件，所述提示組件包括有：發(fā)光件，所述發(fā)光件設(shè)置在光源耦合器中；導(dǎo)光光纖，所述導(dǎo)光光纖的一端連接在所述光源耦合器中且另一端延伸連接在探頭殼體的側(cè)壁上，所述導(dǎo)光光纖用于傳導(dǎo)所述發(fā)光件所發(fā)出的提示光。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于，所述入射光纖，接收光纖，導(dǎo)光光纖外表面套設(shè)有保護(hù)套，所述保護(hù)套一端固定設(shè)置在探頭殼體內(nèi)。該傳感器的測(cè)量范圍受到光譜共焦顯微鏡的成像范圍限制。嘉興光譜共焦位移傳感器產(chǎn)品基本性能要求
這樣，通過(guò)棱鏡組對(duì)接收光纖的出光端發(fā)出的多色光進(jìn)行色散，色散后的光通過(guò)聚焦透鏡組進(jìn)行聚焦，使焦點(diǎn)位于感光元件上，通過(guò)感光元件與控制電路電性連接，從而實(shí)現(xiàn)電信號(hào)輸出，即對(duì)反射光進(jìn)行量化處理，量化后的光波在光譜儀上產(chǎn)生一個(gè)光譜波峰，光譜曲線(xiàn)的峰值位置與聚焦于被測(cè)物體表面的波長(zhǎng)產(chǎn)生對(duì)應(yīng)關(guān)系；光譜儀將波長(zhǎng)、被測(cè)物體的位移和光譜波峰位置三者建立對(duì)應(yīng)關(guān)系后進(jìn)行分析，通過(guò)波光譜波峰位置反推出被測(cè)物體的位移，實(shí)現(xiàn)使用光譜共焦原理測(cè)量位移的過(guò)程。本實(shí)施例采用棱鏡組進(jìn)行色散，具有較小的光能量損失。鄭州如何光譜共焦位移傳感器該傳感器的應(yīng)用將有助于提高微納制造、生物醫(yī)學(xué)和半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域中的精密測(cè)量的準(zhǔn)確性和效率。
在接收光纖的出光端可裝配連接有光譜儀，當(dāng)光譜儀與接收光纖的出光端裝配好后，光譜儀與接收光纖的出光端實(shí)現(xiàn)固定連接，光譜儀帶有感光元件并用于把被測(cè)物體的反射光進(jìn)行色散聚焦到感光元件上且量化成光譜曲線(xiàn)。這樣，通過(guò)光源耦合器產(chǎn)生多色光，多色光在入射光纖中傳導(dǎo)到光譜共焦位移傳感探頭內(nèi)；通過(guò)光譜共焦位移傳感探頭內(nèi)的透鏡組和光學(xué)元件使多色光發(fā)生光譜色散，不同波長(zhǎng)的單色光聚焦到不同的軸向高度，使波長(zhǎng)與被測(cè)物體的位移產(chǎn)生對(duì)應(yīng)關(guān)系；
發(fā)光件和導(dǎo)光光纖的入光端之間，固定設(shè)置有濾光片，濾光片固定設(shè)置在發(fā)光件和導(dǎo)光光纖之間，濾光片用于過(guò)濾紅外線(xiàn)，以減少光熱效應(yīng)高的紅外線(xiàn)在傳遞到探頭殼體的位置時(shí)，使探頭殼體發(fā)熱變形而影響探頭精度。探頭殼體的側(cè)壁上開(kāi)設(shè)有沉孔，連接導(dǎo)光光纖的出光端的插槽開(kāi)設(shè)在沉孔底部，且導(dǎo)光光纖的出光端與沉孔的底部的插槽可拆卸連接；這樣，通過(guò)沉孔的設(shè)置，在探頭殼體上形成對(duì)導(dǎo)光光纖連接位進(jìn)行避讓?zhuān)苊馐褂谜咴谑褂眠^(guò)程中觸碰到導(dǎo)光光纖，從而影響影響導(dǎo)光光纖，或損傷導(dǎo)光光纖與探頭殼體的連接位。光譜共焦位移傳感器是一種高精度非接觸式位移傳感器。
激光位移傳感器的工作原理是利用激光發(fā)射光束投射到被測(cè)物體表面，接收反射光并將光信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)輸出，從而獲取被測(cè)物體空間位置信息。根據(jù)激光源發(fā)射光束的不同，激光傳感器可分為點(diǎn)、線(xiàn)兩種。點(diǎn)激光位移傳感器在一個(gè)采樣周期內(nèi)只能獲得被測(cè)量的一維信息，使用時(shí)通常依托于三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)或三坐標(biāo)機(jī)床等設(shè)備，通過(guò)設(shè)備機(jī)械運(yùn)動(dòng)及傳感器同步掃描來(lái)獲取被測(cè)物體三維信息。因此，激光位移傳感器在精密測(cè)量領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。。。該傳感器可被應(yīng)用于微納制造、生物醫(yī)學(xué)和半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域中的精密測(cè)量。?？诠庾V共焦位移傳感器的用途和特點(diǎn)
它可以應(yīng)用于材料的力學(xué)性能測(cè)試、微納加工、光學(xué)元件的制造等多個(gè)領(lǐng)域。嘉興光譜共焦位移傳感器產(chǎn)品基本性能要求
在探頭殼體的內(nèi)側(cè)壁上固定設(shè)置有反光鏡，所述反光鏡用于反射所述半透半反光學(xué)鏡所發(fā)出的反射光，即反光鏡對(duì)半透半反光學(xué)鏡所反射的光線(xiàn)進(jìn)行再次反射，所述接收光纖入光端位于所述反光鏡的上方，通過(guò)反光鏡所反射的反射光進(jìn)入到接收光纖的入光端，再通過(guò)接收光纖傳遞反射光到光譜儀。本實(shí)施例中采用的入射光纖和接收光纖的入光端和出光端的用于導(dǎo)光的纖芯直徑均為微米級(jí)，直徑通常為50-100毫米，導(dǎo)光直徑非常小，當(dāng)反射光的焦點(diǎn)落在接收光纖的纖芯之外時(shí)，無(wú)法對(duì)反射光進(jìn)行接收，而需要測(cè)量的相應(yīng)波長(zhǎng)的反射光可以順利通過(guò)接收光纖的纖芯，被順利接收和傳導(dǎo)，實(shí)現(xiàn)對(duì)不同波長(zhǎng)的反射光進(jìn)行選擇和物理過(guò)濾，因此可以通過(guò)縮小光纖的纖芯直徑來(lái)使采樣信號(hào)更銳利，從提高采樣信號(hào)的信噪比和測(cè)量精確度。嘉興光譜共焦位移傳感器產(chǎn)品基本性能要求