本實用新型解決的技術問題在于，針對現有技術的上述缺陷，提供一種光譜共焦位移傳感器，旨在通過光譜共焦工作原理，避免通過激光直接照射到物體表面而呈現顆粒狀的散斑，克服不易確定像點的質心位置的缺陷。本實用新型解決技術問題所采用的技術方案如下： 一種光譜共焦位移傳感器，包括底座，其中，還包括有：光源耦合器，所述光源耦合器用于產生多色光； 入射光纖，所述入射光纖的入光端固定連接在所述光源耦合器中并用于接收所述光源耦合器所發(fā)出的多色光；該傳感器的優(yōu)點包括高精度、非接觸式、不受溫度和振動等影響。高速光譜共焦位移傳感器供應
本實施例中通過采用可拆卸連接便于導光光纖的維護和更換。所述的發(fā)光件可設置為一個或多個，當設置為一個時，導光光纖均傳遞一個發(fā)光件的光，這樣會導致傳遞到探頭殼體上的光較弱，從而導致光線的辨識度不高，因此本實施例中的所述發(fā)光件設置有多個，根據數量不同按照不同排列方式排列在光源耦合器中，所述的導光光纖設置有多個，發(fā)光件和導光光纖的關系為一一對應連接關系，多個導光光纖呈對稱分布或圓周陣列分布在探頭殼體的側壁上，這樣由導光光纖一一對應傳遞發(fā)光件產生的光，使光從探頭殼體上發(fā)出后辨識度高。吉林質量光譜共焦位移傳感器該傳感器可用于微納制造、生物醫(yī)學和半導體制造等領域的精密測量。
光譜儀將波長、被測物體的位移和光譜波峰位置三者建立對應關系后進行分析，通過光譜波峰位置反推出被測物體的位移，實現通過光譜共焦的原理測量位移的過程。應當理解的是，本實用新型的應用不限于上述的舉例，對本領域普通技術人員來說，可以根據上述說明加以改進或變換，所有這些改進和變換都應屬于本實用新型所附權利要求的保護范圍。一條連接結構，實現便于裝配的同時，對入射光纖，接收光纖，多個導光光纖進行保護。創(chuàng)視智能嗯
3.根據權利要求2所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于，所述半透半反光學鏡包括有上三棱鏡，與上三棱鏡膠合的下三棱鏡，膠合面鍍有半透半反膜，所述半透半反膜與所述入射光纖的出光端射出的光線呈45°設置，所述上三棱鏡和所述下三棱鏡均采用等邊直角棱鏡，所述上三棱鏡和所述下三棱鏡的直角邊相等。4.根據權利要求3所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于，所述上三棱鏡上背向所述反光鏡的一面設置為啞光面。5.根據權利要求2所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于，所述探頭殼體的末端固定設置有用于對光線進行色散聚焦的色散鏡頭，所述色散鏡頭包括有準直鏡組和色散聚焦鏡組，所述準直鏡組設置在多色光光源的一側，用于多色光光源的準直；所述色散聚焦鏡組設置在被測物體的一側，用于將多色光分別聚焦，并產生軸向色散。光譜共焦技術消除了光學像差和色差的影響，提高了測量精度。
入射光纖，接收光纖，多個導光光纖外表面套設有保護套，所述保護套一端固定設置在探頭殼體內。這樣通過保護套使入射光纖，接收光纖，多個導光光纖形成通過光源耦合器產生多色光，多色光在入射光纖中傳導到光譜共焦位移傳感探頭內。通過光譜共焦位移傳感探頭內的半透半反光學鏡和色散鏡頭使多色光發(fā)生光譜色散，不同波長的單色光聚焦到不同的軸向位置，使波長與被測物體的位移產生對應關系；被測物體表面反射的反射光通過探頭接收并由接收光纖傳輸到光譜儀，光譜儀對反射光進行聚焦并通過設置在光譜儀中的感光元件對反射光進行量化處理，量化后的光波在光譜儀上產生一個光譜波峰，光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測物體表面的波長產生對應關系；它可以實現對材料的微觀結構進行高精度測量，對于研究材料的微觀性質具有重要意義。武漢直銷光譜共焦位移傳感器
該傳感器可用于微納制造、生物醫(yī)學、半導體制造等領域中的精密測量。高速光譜共焦位移傳感器供應
這樣，通過棱鏡組對接收光纖的出光端發(fā)出的多色光進行色散，色散后的光通過聚焦透鏡組進行聚焦，使焦點位于感光元件上，通過感光元件與控制電路電性連接，從而實現電信號輸出，即對反射光進行量化處理，量化后的光波在光譜儀上產生一個光譜波峰，光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測物體表面的波長產生對應關系；光譜儀將波長、被測物體的位移和光譜波峰位置三者建立對應關系后進行分析，通過波光譜波峰位置反推出被測物體的位移，實現使用光譜共焦原理測量位移的過程。本實施例采用棱鏡組進行色散，具有較小的光能量損失。高速光譜共焦位移傳感器供應