針對目前國內(nèi)自主研制的激光位移傳感器精度低,測量范圍小等問題,提出了一種采用光學設計軟件預先仿真整個激光位移傳感器光學系統(tǒng)的方法。在分析系統(tǒng)各部分的光學特性的基礎上,結(jié)合具體要求設計了一個激光位移傳感器的光學系統(tǒng),其工作范圍為(50±10)mm。采用系統(tǒng)分割的方法,將整個光學系統(tǒng)分為兩部分進行設計,No.1部分是激光束的整形透鏡,要求在有效的工作范圍內(nèi)得到小而均勻的出射光斑,設計結(jié)果表明,在測量范圍內(nèi),光斑大小能夠控 制在10-1mm量級;另一部分是被測面散射光接收的成像物鏡,該系統(tǒng)的特點是物面和像面相對于光軸都有一定的角度,實驗結(jié)果表明其成像滿足Scheimpflug條件。 激光位移傳感器的使用非常方便。楊浦區(qū)激光位移傳感器歡迎選購
通過將反光元件設置在成像物鏡與感光元件之間,能夠減小激光位移傳感器的設備體積,便于激光位移傳感器的使用和安裝;通過采用線陣感光元件,能夠降低激光位移傳感器的成本;另外,由于線陣感光元件的多個感光單元沿著直線排列,所以在該直線的延伸方向上的MTF值拉高而將與該直線垂直方向上的MTF值降低,并不會影響測量精度,還能夠讓光斑更加容易地被線陣感光元件所接收;通過采用帶通濾光片,能夠濾除或降低雜散光,避免激光位移傳感器收到干擾,保證測量的準確度。原裝激光位移傳感器定做它具有高精度、高靈敏度和快速響應的特點,適用于各種應用領域。
針對相關(guān)技術(shù)中的問題,本發(fā)明提出一種激光位移傳感器,能夠在不影響測量精度的情況下,降低成像物鏡的設計難度,同時讓測量系統(tǒng)能夠更有效地應對振動、機械變形等不良影響。根據(jù)本發(fā)明,提供了一種激光位移傳感器。根據(jù)本發(fā)明的激光位移傳感器包括激光器、成像物鏡以及感光元件,激光器用于射出激光束,由成像物鏡接收并出射的光入射到感光元件。其中,在對成像物鏡和感光元件CN1 06855391B3進行調(diào)制傳遞函數(shù)MTF解析時,解析結(jié)果滿足以下條件:[0011]在感光元件的多個感光單元的主要排列方向為弧矢方向的情況下,MTFS>MTFT;在感光元件的多個感光單元的主要排列方向為子午方向的情況下,MTFT>MTFS;其中,MTFS為弧矢方向上的MTF值,MTFT為子午方向上的MTF值。進一步地,在進行解析時,空間頻率為62.5lp/mm,如果多個感光單元的主要排列方向為弧矢方向,則MTFS>MTFT×10;如果多個感光單元的主要排列方向為子午方向,則MTFT>MTFS×10。[0015]可選地,空間頻率為62.5lp/mm,如果多個感光單元的主要排列方向為弧矢方向,則MTFS≥0.5,MTFT<0.05;如果多個感光單元的主要排列方向為子午方向,則MTFT≥0.5,MTFS<0.05。
一種激光位移傳感器檢驗校準裝置,其特征在于:包括一可伸縮導軌、一微調(diào)裝置、一傳感器夾持裝置、一激光位移傳感器以及一激光紅外線接收擋板;所述微調(diào)裝置和傳感器夾持裝置設于所述可伸縮導軌的上端;所述激光位移傳感器夾持在所述傳感器夾持裝置上,且使所述激光位移傳感器的激光發(fā)射端朝向所述微調(diào)裝置;所述激光紅外線接收擋板與所述微調(diào)裝置固接,且使所述激光紅外線接收擋板的接收面朝向所述傳感器夾持裝置。啊啊啊啊啊啊啊它可以測量各種類型的物體,包括金屬、塑料和液體等。
成像物鏡6和感光元件7組成的成像系統(tǒng)經(jīng)調(diào)制傳遞函數(shù)進行解析后會得到解析結(jié)果MTFS和MTFT,其中MTFS為弧矢方向上的MTF值,MTFT是子午方向上的MTF值。[0043]在一個實施例中,如果感光元件的多個感光單元為沿著S方向(弧矢方向,可以將弧矢向定義為水平方向)排列,則在光學系統(tǒng)設計時,可以利用成像物鏡6的像散拉高S方向(弧矢方向,可以將弧矢方向定義為水平方向)的MTF值,降低T方向MTF值。通過將成像系統(tǒng)的MTFS和MTFT設計為滿足MTFS>MTFT,能夠讓呈現(xiàn)的光斑在子午方向上被拉長,在弧矢方向上被縮短。這種傳感器還可以用于測量建筑物的結(jié)構(gòu)變形,以確保其安全性。原裝激光位移傳感器定做
此外,它們通常具有用戶友好的界面和操作方式,使得使用者能夠輕松地進行測量和數(shù)據(jù)分析。楊浦區(qū)激光位移傳感器歡迎選購
圖3a至圖3c示出了在弧矢(S)方向和(T)方向的MTF值被配置為滿足上述要求的情況下,被感光元件接收到的光斑的形狀。圖3a是被測物體在激光位移傳感器的best小量程處的情況下,感光元件接收到的光斑的形狀,OBJ:-2.1000mm,0.0000mm為物點在子午方向無偏離,在弧矢方向偏離-2.1mm,IMA:1.627,0.000mm為所成的像點在子午方向無偏離,在弧矢方向偏離1.627mm。圖3b是被測物體在激光位移傳感器的中間量程處的情況下,感光元件接收到的光斑的形狀,OBJ:0.0000,0.0000mm為物點在弧矢方向無偏離,在子午方向無偏離,IMA:-0.243,0.000mm為所成的像點在子午方向無偏離,在弧矢方向偏離-0.243mm。圖3c是被測物體在激光位移傳感器的比較大量程處的情況下,感光元件接收到的光斑的形狀,OBJ:2.1000,0.0000mm為物點在子午方向無偏離,楊浦區(qū)激光位移傳感器歡迎選購