白色光中所包括的多個可見光束彼此分離,并且從殼體部向著待測物體的測量點射出。應當注意,在圖中,RGB這三個顏色的光表示由物鏡分離的多個可見光束。當然,還射出其它顏色(其它波長)的光。 圖1所示的波長和聚焦位置P,表示多個可見光束中的具有shortest波長的可見光的波長和聚焦位置,并且例如與藍色光B相對應。波長入和聚焦位置P表示多個可見光數(shù)中的具有longest波長的可見光的波長和聚焦位置,并且例如與紅色光R相對應。波長和聚焦位置P表示多個可見光束中的任意可見光的波長和聚焦位置,并且在圖中例示出綠色光G(k=1~n).光譜共焦技術(shù)可以消除光學系統(tǒng)的像差和色差等影響，提高測量精度。蘇州光譜共焦位移傳感器廠家直銷價格
在能夠以這種方式執(zhí)行多點測量的光譜共焦傳感器中,需要能夠減少必要組件的數(shù)量的技術(shù)。有鑒于如上所述的情形,本發(fā)明旨在提供能夠利用少量的組件來執(zhí)行多點測量的光譜共焦傳感器以及使用該光譜共焦傳感器的測量方法。為了實現(xiàn)上述目的,根據(jù)本發(fā)明實施例的光譜共焦傳感器包括光源部、多個光學頭、分光器和位置計算部。光源部射出具有不同波長的多個光束。多個光學頭將從所述光源部射出的所述多個光束會聚于不同的聚焦位置處，并且射出在所述聚焦位置處被測量點反射的測量光。揚州光譜共焦位移傳感器工廠該傳感器適用于高分辨率成像系統(tǒng)，例如光學顯微鏡和掃描電子顯微鏡中的位移測量。
接收光纖，所述接收光纖的入光端固定設置在所述光譜共焦位移傳感探頭內(nèi)，所述接收光纖的入光端用于選擇性的接收所述光譜共焦位移傳感探頭傳導的被測物體的反射光；光譜儀，所述光譜儀固定連接所述接收光纖的出光端，所述光譜儀帶有感光元件并用于把被測物體的反射光進行色散聚焦到感光元件上且量化成光譜曲線。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于，所述光譜共焦位移傳感探頭包括有：探頭殼體，所述探頭殼體與入射光纖和接收光纖固定連接；半透半反光學鏡，所述半透半反光學鏡固定設置在所述入射光纖的出光端的正下方；反光鏡，所述反光鏡固定設置在所述探頭殼體的內(nèi)側(cè)壁上，所述反光鏡用于反射所述半透半反光學鏡所發(fā)出的反射光，所述接收光纖入光端位于所述反光鏡的上方。
隨著精密和超精密制造業(yè)的迅速發(fā)展,對高精密的檢測需求也越來越高,因此高精密的位移傳感器也應運而生。超精密的位移傳感器精度可達到微納米級別;傳統(tǒng)的接觸式測量雖然也有較高的精度,但是由于其可能會劃傷被測物體表面,而且當被測物體為弱剛性或是輕軟材料時,接觸式測量也會造成彈性形變,引入測量的誤差,而且接觸式測量速度較慢,難以實現(xiàn)自動化測量,基于接觸式測量存在的諸多不足,因此非接觸式位移傳感器受到了更大的關注。如今非接觸式測量主要有電磁式和光電式兩類,電磁式位移傳感器對被測物體的材料類型有要求,因此不具有wide適用性,而且外界的電磁信號的干擾也會對測量的精度造成影響;高精密光電式位移傳感器,目前常用的是基于激光三角法的位移傳感器,其測量原理是激光光源打在被測物體表面,反射的光經(jīng)過收光鏡簡,在光電探測器CCD上成像通過算法標定可以推算出被測物體的位移。目前的光譜共焦位移傳感器大多采用分光鏡和線陣CCD采集干涉條紋的方法,通過兩束光源產(chǎn)生干涉,干涉條紋的寬度信息可以反映被測物的位移量測量信息,此種方案結(jié)構(gòu)復雜,成本相對較高;傳統(tǒng)的激光三角法光路容易出現(xiàn)遮擋,導致接收反射光困難,對透明玻璃或表面有凹坑的材料等更是難以測量。光譜共焦技術(shù)消除了光學像差和色差的影響，提高了測量精度。
多個光入射口可以沿著與線傳感器的線方向相對應的預定方向設置。因此,可以容易地設計分光器。分光器可以包括設置有多個光入射口的光入射面。在這種情況下,多個光入射口可以設置在包括線方向和預定基準軸的方向的平面與光入射面相交的直線上。因此,可以容易地設計分光器。在針對多個光學頭中的各光學頭將如下區(qū)域假定為測量對象區(qū)域的情況下，多個受光區(qū)域可以與分別對應于多個光學頭的多個測量對象區(qū)域相對應,其中，該區(qū)域是線傳感器的從在射出多個光東中的具有shortest波長的光作為測量光的情況下的受光位置到在射出具有longest波長的光作為測量光的情況下的受光位置為止的區(qū)域。它使用光譜共焦技術(shù)來測量物體的微小位移，達到亞微米級的高精度。蘇州光譜共焦位移傳感器廠家直銷價格
它使用光譜共焦技術(shù)來測量物體的微小位移，能夠達到亞微米級的高精度。蘇州光譜共焦位移傳感器廠家直銷價格
激光位移傳感器的工作原理是利用激光發(fā)射光束投射到被測物體表面，接收反射光并將光信號轉(zhuǎn)換為電信號輸出，從而獲取被測物體空間位置信息。根據(jù)激光源發(fā)射光束的不同，激光傳感器可分為點、線兩種。點激光位移傳感器在一個采樣周期內(nèi)只能獲得被測量的一維信息，使用時通常依托于三坐標測量機或三坐標機床等設備，通過設備機械運動及傳感器同步掃描來獲取被測物體三維信息。因此，激光位移傳感器在精密測量領域有著廣泛的應用。。。蘇州光譜共焦位移傳感器廠家直銷價格