被測物體表面反射的反射光通過探頭接收并由接收光纖選擇性的傳輸?shù)焦庾V儀，光譜儀對反射光進行聚焦并通過設置在光譜儀中的感光元件對反射光進行量化處理，量化后的光波在光譜儀上產(chǎn)生一個光譜波峰，光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測物體表面的波長產(chǎn)生對應關系；光譜儀將波長、被測物體的位移和光譜波峰位置三者建立對應關系后進行分析，通過光譜波峰反推出被測物體的位移，實現(xiàn)利用光譜共焦原理測量位移的過程；因此本方案中的光譜共焦位移傳感器通過光譜共焦工作原理，避免使用激光直接照射到物體表面而呈現(xiàn)顆粒狀的散斑，克服不易確定像點的質心位置的缺陷。它使用光譜共焦技術來測量物體的微小位移，能夠達到亞微米級的高精度。直銷光譜共焦位移傳感器貨真價實
套筒限位在限位槽內(nèi),且與限位槽相匹配,套筒上設置有用于光纖連接的螺紋孔進一步,兩個雙凸球面鏡的凸面?zhèn)瘸瘍?nèi)對稱設置。進一步,兩個雙凸球面鏡之間的間距為2.5~5.5mm。進一步,位于中間的雙凸球面鏡與彎月透鏡之間的間距為3.5~6.0mm。進一步,鹵素燈光源的光譜波段范圍為360nm~2500nm。光譜共焦位移傳感器是一種具有超高精度和超高穩(wěn)定性的非接觸式位移傳感器與激光三角法相比,光譜共焦具有更高的分辨率,并且由于光發(fā)射和接收同光路,不會出現(xiàn)激光三角法光路容易被遮擋或被測目標表面過于光滑而接收不到目標反射光的情況,對被測物體適應性強,適用于手機玻璃的檢測,凹坑、小孔的測量以及表面形貌的掃描恢復。光譜共焦傳感器是一種基于光學色散原理的非接觸式位移傳感器,目的是建立距離與波長間的對應關系。傳統(tǒng)的激光三角法測量技術已經(jīng)比較成熟,運用也比較widely,但由于CCD相機接收反射光范圍的限制,不能用于可以透光的透明材料和表面有凹坑缺陷玻璃的測量。光譜共焦位移傳感器由于其運用同光路的光纖,只要光能照射的區(qū)域就能夠沿原路返回,可以解決傳統(tǒng)的激光三角法測量不了的領域,對一些高反射、高深寬比、陡峭內(nèi)壁表面有缺陷的玻璃間隙進行測量,且測量精度能夠達到亞微米級別。寶山區(qū)光譜共焦位移傳感器推薦光譜共焦位移傳感器是一種高精度、非接觸式的位移測量傳感器。
采用入射光纖和接收光纖分離的方式，發(fā)射光和反射光從不同的光路中傳輸，從而避免光線在傳輸過程中產(chǎn)生內(nèi)部干擾，提高了光譜共焦系統(tǒng)的信噪比；而且通過設置發(fā)射光和反射光的單獨通道，光路更順暢，發(fā)射光和反射光分別在入射光纖和接收光纖中傳播時不會出現(xiàn)自身反射，從而避免光信號的干擾和能量損失。而傳統(tǒng)的光路設置過程中，采用的是Y型光纖，入射光纖和接收光纖在探頭內(nèi)耦合成一條光纖，形成Y型光纖，這樣會產(chǎn)生內(nèi)部串擾，降低信噪比，影響有效信號的提取和整個系統(tǒng)的穩(wěn)定性。而本方案中的入射光纖和接收光纖單獨進行設置，可以避免傳統(tǒng)Y型光纖的問題，使光的傳播更加穩(wěn)定。
本實用新型解決的技術問題在于，針對現(xiàn)有技術的上述缺陷，提供一種光譜共焦位移傳感器，旨在通過光譜共焦工作原理，避免通過激光直接照射到物體表面而呈現(xiàn)顆粒狀的散斑，克服不易確定像點的質心位置的缺陷。本實用新型解決技術問題所采用的技術方案如下： 一種光譜共焦位移傳感器，包括底座，其中，還包括有：光源耦合器，所述光源耦合器用于產(chǎn)生多色光； 入射光纖，所述入射光纖的入光端固定連接在所述光源耦合器中并用于接收所述光源耦合器所發(fā)出的多色光；該傳感器的優(yōu)點包括高精度、非接觸式和抗溫度、抗振動等效應。
發(fā)光件和導光光纖的入光端之間，固定設置有濾光片，濾光片固定設置在發(fā)光件和導光光纖之間，濾光片用于過濾紅外線，以減少光熱效應高的紅外線在傳遞到探頭殼體的位置時，使探頭殼體發(fā)熱變形而影響探頭精度。探頭殼體的側壁上開設有沉孔，連接導光光纖的出光端的插槽開設在沉孔底部，且導光光纖的出光端與沉孔的底部的插槽可拆卸連接；這樣，通過沉孔的設置，在探頭殼體上形成對導光光纖連接位進行避讓，避免使用者在使用過程中觸碰到導光光纖，從而影響影響導光光纖，或損傷導光光纖與探頭殼體的連接位。該傳感器可用于微納制造、生物醫(yī)學和半導體制造等領域的精密測量。如何選光譜共焦位移傳感器調試
光譜共焦位移傳感器需要專門的光譜共焦顯微鏡來實現(xiàn)測量。直銷光譜共焦位移傳感器貨真價實
根據(jù)權利要求1所述的光譜共焦傳感器,其中所述線傳感器是在使用預定基準軸作為基準的情況下布置的,以及所述光學系統(tǒng)是在使用所述預定基準軸作為基準的情況下配置的,并且所述光學系統(tǒng)包括所述多個測量光束入射的多個光入射口,其中所述多個光入射口在使用所述預定基準軸作為基準的情況下設置在不同位置處。根據(jù)權利要求2所述的光譜共焦傳感器,其中，所述預定基準軸與在使所述測量光從所述分光器的虛擬光入射口入射至所述光學系統(tǒng)的情況下的光軸相對應。直銷光譜共焦位移傳感器貨真價實