為使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚、明確，以下參照附圖并舉實(shí)施例對本實(shí)用新型進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例only用以解釋本實(shí)用新型，并不用于限定本實(shí)用新型。本實(shí)用新型提出一種光譜共焦位移傳感器，包括光源耦合器1000，所述光源耦合器1000包括有用于產(chǎn)生多色光的多色光光源1100；多色光光源1100可使用激光熒光系統(tǒng)，也可使用LED燈發(fā)光照射熒光粉產(chǎn)生白光，還可以是LED燈直接產(chǎn)生白光，光源耦合器1000產(chǎn)生的光能可以適當(dāng)調(diào)節(jié)，同時(shí)通過反饋控制實(shí)現(xiàn)光源耦合器1000產(chǎn)生持續(xù)的、亮度恒定不變的多色光，從而使光能量和測量更加穩(wěn)定；光源耦合部分設(shè)置有帶通濾光片1200,讓有效的多色光通過,對無效的紅外光和熱量進(jìn)行過濾,避免進(jìn)入其他部件而造成熱變形，因此，對整體系統(tǒng)的性能有改善作用。該傳感器可用于微納制造、生物醫(yī)學(xué)和半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域的精密測量。常州光譜共焦位移傳感器定做
白色光中所包括的多個(gè)可見光束彼此分離,并且從殼體部向著待測物體的測量點(diǎn)射出。應(yīng)當(dāng)注意,在圖中,RGB這三個(gè)顏色的光表示由物鏡分離的多個(gè)可見光束。當(dāng)然,還射出其它顏色(其它波長)的光。 圖1所示的波長和聚焦位置P,表示多個(gè)可見光束中的具有shortest波長的可見光的波長和聚焦位置,并且例如與藍(lán)色光B相對應(yīng)。波長入和聚焦位置P表示多個(gè)可見光數(shù)中的具有longest波長的可見光的波長和聚焦位置,并且例如與紅色光R相對應(yīng)。波長和聚焦位置P表示多個(gè)可見光束中的任意可見光的波長和聚焦位置,并且在圖中例示出綠色光G(k=1~n).常州光譜共焦位移傳感器定做光譜共焦位移傳感器可以實(shí)現(xiàn)對材料的變形過程進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測，對于研究材料的力學(xué)行為具有重要意義。
當(dāng)光線射到半透半反膜上時(shí)，一部分光線進(jìn)行透射到下三棱鏡上，一部分光線進(jìn)行反射，反射到背向所述反光鏡的一面，在上三棱鏡背向所述反光鏡的一面上進(jìn)行涂黑處理從而成為啞光面，當(dāng)光被半透半反光學(xué)鏡反射到啞光面上時(shí)，被啞光面吸收，因此可以減少整個(gè)系統(tǒng)的雜散光，提高信噪比。由于半透半反膜的厚度很小，因此射到下三棱鏡上的折射光線的偏移量小，因此可認(rèn)為，多色光從下三棱鏡射出時(shí)，基本不發(fā)生位置偏移，從下三棱鏡上射出的光線的光軸與從入射光線的出光端射出的光軸重合。這樣實(shí)現(xiàn)所有多色光的波長共光軸，而且不發(fā)生光軸偏移，有利于后續(xù)對多色光進(jìn)行色散和聚焦。
根據(jù)權(quán)利要求1所述的光譜共焦傳感器,其中所述線傳感器是在使用預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下布置的,以及所述光學(xué)系統(tǒng)是在使用所述預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下配置的,并且所述光學(xué)系統(tǒng)包括所述多個(gè)測量光束入射的多個(gè)光入射口,其中所述多個(gè)光入射口在使用所述預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下設(shè)置在不同位置處。根據(jù)權(quán)利要求2所述的光譜共焦傳感器,其中，所述預(yù)定基準(zhǔn)軸與在使所述測量光從所述分光器的虛擬光入射口入射至所述光學(xué)系統(tǒng)的情況下的光軸相對應(yīng)。光譜共焦位移傳感器是一種高精度、高分辨率的位移測量技術(shù)，具有廣泛的應(yīng)用前景。
機(jī)殼設(shè)置有兩層，聚焦透鏡組位于所述機(jī)殼的上層，感光元件位于機(jī)殼的下層，所述聚焦透鏡組與所述感光元件的光路之間設(shè)置有用于轉(zhuǎn)變光線傳播方向的光線轉(zhuǎn)向鏡組，光線轉(zhuǎn)向鏡組包括有上反光鏡，設(shè)置在上反光鏡下方位置的下反光鏡，光線轉(zhuǎn)向鏡組用于使上層的聚焦透鏡組射出的光線聚焦到下層的感光元件上。這樣，通過光線轉(zhuǎn)向鏡組使光線實(shí)現(xiàn)掉頭轉(zhuǎn)向，從而充分利用上下空間，使原有的水平光路變換為上下光路，使光譜儀的長度變短，有利于光譜儀小型化和便攜化。該傳感器可以用于微納加工、生物醫(yī)學(xué)、半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域的精密測量。長春優(yōu)勢光譜共焦位移傳感器
該傳感器可以與其他測量設(shè)備相結(jié)合，實(shí)現(xiàn)多參數(shù)的綜合測量。常州光譜共焦位移傳感器定做
光譜儀將波長、被測物體的位移和光譜波峰位置三者建立對應(yīng)關(guān)系后進(jìn)行分析，通過光譜波峰位置反推出被測物體的位移，實(shí)現(xiàn)通過光譜共焦的原理測量位移的過程。應(yīng)當(dāng)理解的是，本實(shí)用新型的應(yīng)用不限于上述的舉例，對本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來說，可以根據(jù)上述說明加以改進(jìn)或變換，所有這些改進(jìn)和變換都應(yīng)屬于本實(shí)用新型所附權(quán)利要求的保護(hù)范圍。一條連接結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)便于裝配的同時(shí)，對入射光纖，接收光纖，多個(gè)導(dǎo)光光纖進(jìn)行保護(hù)。創(chuàng)視智能嗯常州光譜共焦位移傳感器定做