青浦區(qū)光譜共焦位移傳感器制作廠家

來源: 發(fā)布時(shí)間:2024-06-05

位于沉孔的開口端,通過粘接固定設(shè)置有透光鏡,透光鏡為玻璃材質(zhì)或塑料材質(zhì),透光鏡可以為平面鏡或凹透鏡,平面透光鏡的設(shè)置可以對導(dǎo)光光纖的出光端進(jìn)行保護(hù),本實(shí)施例中推薦凹透鏡,凹透鏡可以將導(dǎo)光光纖從發(fā)光件傳導(dǎo)過來的光發(fā)散傳導(dǎo)到探頭外,使光的指示范圍更廣,更有利于使用者觀察。探頭殼體設(shè)置為兩部分,包括有上殼體和下殼體,上殼體和下殼體均為圓柱形,上殼體和下殼體通過螺紋或卡扣實(shí)現(xiàn)可拆卸連接,導(dǎo)光光纖的出光端連接在上殼體的沉孔上;而探頭的其他精密光學(xué)部件設(shè)置在下殼體上,這樣導(dǎo)光光纖傳導(dǎo)從發(fā)光件發(fā)出來的光時(shí),不可避免的會產(chǎn)生熱量,通過上殼體與下殼體的分開設(shè)置,從而上殼體和下殼體之間裝配過程中產(chǎn)生配合間隙,導(dǎo)光光纖的熱量大部分會傳導(dǎo)到上殼體上,上殼體與下殼體的配合間隙會抵消上殼體因受熱而產(chǎn)生的形變量,從而減少產(chǎn)生的熱量對下殼體及對下殼體中的高精度元件的影響,提高探頭精度。它使用光譜共焦技術(shù)來測量物體的微小位移,能夠達(dá)到亞微米級的高精度。青浦區(qū)光譜共焦位移傳感器制作廠家

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本實(shí)用新型公開了光譜共焦位移傳感器系統(tǒng),傳感器系統(tǒng)由鹵素?zé)艄庠?、y型光纖、光譜共焦透鏡組、共焦小孔和光譜儀組成,鹵素?zé)艄庠催B接Y型光纖,光譜儀通過共焦小孔連接Y型光纖一端,Y型光纖另一端連接光譜共焦透鏡組,光譜共焦透鏡組包括盒蓋、盒體、兩個(gè)雙凸球面鏡、套筒和一個(gè)彎月透鏡,盒體內(nèi)設(shè)置有光路通道、限位槽和透光孔,光路通道上從左往右依次設(shè)置有較早卡槽和第二卡槽,兩個(gè)雙凸球面鏡分別限位在兩個(gè)較早卡槽內(nèi),彎月透鏡限位在第二卡槽內(nèi)。本實(shí)用新型采用價(jià)格便宜的Y型光纖和光譜共焦透鏡組,具有較強(qiáng)的實(shí)用性,減小傳感器探頭的體積,光源發(fā)射和接收同光路,適用于具有高深寬比、陡峭內(nèi)壁表面有缺陷的玻璃間隙表面進(jìn)行測量。河南光電光譜共焦位移傳感器該傳感器適用于高分辨率成像系統(tǒng),例如光學(xué)顯微鏡和掃描電子顯微鏡中的位移測量。

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光譜共焦位移傳感探頭還設(shè)置有提示組件,提示組件包括有:發(fā)光件,發(fā)光件設(shè)置在光源耦合器中;導(dǎo)光光纖,所述導(dǎo)光光纖的一端連接在光源耦合器中,且另一端延伸連接在探頭殼體的側(cè)壁上,所述導(dǎo)光光纖用于傳導(dǎo)發(fā)光件所發(fā)出的提示光。進(jìn)一步,入射光纖,接收光纖,導(dǎo)光光纖外表面套設(shè)有保護(hù)套,所述保護(hù)套一端固定設(shè)置在探頭殼體內(nèi)。采用上述方案的有益效果是:本實(shí)用新型提出的一種光譜共焦位移傳感器,通過光源耦合器產(chǎn)生多色光源,多色光源在入射光纖中傳導(dǎo)到光譜共焦位移傳感探頭內(nèi),通過光譜共焦位移傳感探頭內(nèi)的透鏡組和光學(xué)元件使多色光發(fā)生光譜色散,不同波長的單色光聚焦到不同的軸向位置,使波長與被測物體的位移產(chǎn)生對應(yīng)關(guān)系;

被測物體表面反射的反射光通過探頭選擇性的接收并由接收光纖傳輸?shù)焦庾V儀,光譜儀對反射光進(jìn)行聚焦并通過設(shè)置在光譜儀中的感光元件對反射光進(jìn)行量化處理,量化后的光波在光譜儀上產(chǎn)生一個(gè)光譜波峰,光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測物體表面的波長產(chǎn)生對應(yīng)關(guān)系;光譜儀將波長、被測物體的位移和光譜波峰位置三者建立對應(yīng)關(guān)系后進(jìn)行分析,通過光譜波峰位置反推出被測物體的位移,實(shí)現(xiàn)光譜共焦測量位移的過程,通過光譜共焦工作原理,避免激光直接照射到物體表面而呈現(xiàn)顆粒狀的散斑,克服不易確定像點(diǎn)的質(zhì)心位置的缺陷。該傳感器利用光學(xué)共焦原理,通過測量材料表面的光譜變化來確定位移大小。

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根據(jù)權(quán)利要求1所述的光譜共焦傳感器,其中所述線傳感器是在使用預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下布置的,以及所述光學(xué)系統(tǒng)是在使用所述預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下配置的,并且所述光學(xué)系統(tǒng)包括所述多個(gè)測量光束入射的多個(gè)光入射口,其中所述多個(gè)光入射口在使用所述預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下設(shè)置在不同位置處。根據(jù)權(quán)利要求2所述的光譜共焦傳感器,其中,所述預(yù)定基準(zhǔn)軸與在使所述測量光從所述分光器的虛擬光入射口入射至所述光學(xué)系統(tǒng)的情況下的光軸相對應(yīng)。光譜共焦位移傳感器可以實(shí)時(shí)監(jiān)測材料的變化情況,對于研究材料的力學(xué)性能具有重要意義。揚(yáng)州光譜共焦位移傳感器產(chǎn)品基本性能要求

光譜共焦位移傳感器是一種高精度非接觸位移測量傳感器。青浦區(qū)光譜共焦位移傳感器制作廠家

本發(fā)明提供一種光譜共焦傳感器和測量方法。該光譜共焦傳感器包括:光源部,用于射出具有不同波長的多個(gè)光束;多個(gè)光學(xué)頭,用于將從所述光源部射出的所述多個(gè)光束會聚于不同的聚焦位置處,并且射出在所述聚焦位置處被測量點(diǎn)反射的測量光:分光器,其包括:線傳感器,以及光學(xué)系統(tǒng),其包括用于使從所述多個(gè)光學(xué)頭射出的多個(gè)測量光束發(fā)生衍射的衍射光柵,并且向所述線傳感器的不同的多個(gè)受光區(qū)域射出通過所述衍射光柵所衍射的所述多個(gè)測量光束:以及位置計(jì)算部,用于基于所述線傳感器的所述多個(gè)受光區(qū)域各自的受光位置來計(jì)算作為所述多個(gè)光學(xué)頭的測量對象的多個(gè)測量點(diǎn)的位置青浦區(qū)光譜共焦位移傳感器制作廠家