長春光譜共焦位移傳感器性價比高

來源: 發(fā)布時間:2024-06-05

激光位移傳感器利用光學三角法原理,通過將激光發(fā)射光束投射到被測物體表面,利用漫反射效應接收反射光并將光信號轉(zhuǎn)換為電信號輸出,從而獲取被測物體空間位置信息。隨著現(xiàn)代技術(shù)的發(fā)展,激光位移傳感器已成為非接觸測量領域的重要手段,并可以通過與計算機及應用軟件配合實現(xiàn)測量數(shù)據(jù)實時處理,為工業(yè)生產(chǎn)制定相關決策提供幫助。激光位移傳感器具有結(jié)構(gòu)小巧、測量速度快、精度高、測量光斑小、抗干擾能力強和非接觸式的測量特點,廣泛應用于微位移測量領域。其應用主要是用于非標的檢測設備中,國內(nèi)所使用的激光非接觸測量儀器幾乎主要依靠國外進口。它可以應用于材料的力學性能測試、微納加工、光學元件的制造等多個領域。長春光譜共焦位移傳感器性價比高

當光線射到半透半反膜上時,一部分光線進行透射到下三棱鏡上,一部分光線進行反射,反射到背向所述反光鏡的一面,在上三棱鏡背向所述反光鏡的一面上進行涂黑處理從而成為啞光面,當光被半透半反光學鏡反射到啞光面上時,被啞光面吸收,因此可以減少整個系統(tǒng)的雜散光,提高信噪比。由于半透半反膜的厚度很小,因此射到下三棱鏡上的折射光線的偏移量小,因此可認為,多色光從下三棱鏡射出時,基本不發(fā)生位置偏移,從下三棱鏡上射出的光線的光軸與從入射光線的出光端射出的光軸重合。這樣實現(xiàn)所有多色光的波長共光軸,而且不發(fā)生光軸偏移,有利于后續(xù)對多色光進行色散和聚焦。閔行區(qū)認可光譜共焦位移傳感器傳感器需要使用的光譜共焦顯微鏡進行測量。

分光器包括線傳感器和光學系統(tǒng)。光學系統(tǒng)包括用于使從所述多個光學頭射出的多個測量光束發(fā)生衍射的衍射光柵,并且所述光學系統(tǒng)向所述線傳感器的不同的多個受光區(qū)域射出通過所述衍射光柵所衍射的所述多個測量光束中的各個測量光束。 所述位置計算部基于所述線傳感器的所述多個受光區(qū)域各自的受光位置來計算作為所述多個光學頭的測量對象的多個測量點各自的位置。該光譜共焦傳感器包括用于使用從光源部射出的光進行測量的多個光學頭。從光學頭各自射出的測量光由于衍射光柵而發(fā)生衍射,并且分別向線傳感器的多個受光區(qū)域射出。因此,可以基于線傳感器的多個受光區(qū)域的各受光位置來計算多個測量點各自的位置。結(jié)果,可以在不增加衍射光柵和線傳感器的數(shù)量的情況下,利用少量的組件來執(zhí)行多點測量

將光纖和光纖連接至白色LED。具體地,光纖和被布置成使得它們的端部在白色LED 的發(fā)光區(qū)域中彼此充分地接近。因此,可以從單個白色LED 向光纖和射出白色光W。應當注意,可以適當?shù)卦O計發(fā)光區(qū)域的面積和光纖的芯直徑等,并且還可以配置用于將白色光W向兩個光纖射出的光學系統(tǒng)等。光纖分束器將從光纖導入的白色光W導出至與No.1光學頭相連接的光纖。此外,光纖分束器34a將從光纖導入的測量光進行分支,并且將其導出至與分光器相連接的光纖。因此,使從No.1光學頭射出的測量光從光纖射出到分光器的內(nèi)部。它可以測量物體微小的位移,精度高達亞微米級別。

激光位移傳感器的工作原理是利用激光發(fā)射光束投射到被測物體表面,接收反射光并將光信號轉(zhuǎn)換為電信號輸出,從而獲取被測物體空間位置信息。根據(jù)激光源發(fā)射光束的不同,激光傳感器可分為點、線兩種。點激光位移傳感器在一個采樣周期內(nèi)只能獲得被測量的一維信息,使用時通常依托于三坐標測量機或三坐標機床等設備,通過設備機械運動及傳感器同步掃描來獲取被測物體三維信息。因此,激光位移傳感器在精密測量領域有著廣泛的應用。。。它可以實現(xiàn)對材料的表面形貌進行高精度測量,對于研究材料的表面性質(zhì)具有重要意義。金華光譜共焦位移傳感器源頭直供廠家

它可以測量物體的微小位移,精度可以達到亞微米級別。長春光譜共焦位移傳感器性價比高

根據(jù)權(quán)利要求2所述的光譜共焦傳感器,其中,所述預定基準軸與在使所述測量光從所述分光器的虛擬光入射口入射至所述光學系統(tǒng)的情況下的光軸相對應。根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的光譜共焦傳感器,其中,所述多個光入射口被設置成從所述多個光入射口入射的所述多個測量光束各自的光軸變得與所述預定基準軸大致平行。根據(jù)權(quán)利要求2至4中任一項所述的光譜共焦傳感器,其中,所述多個光入射口設置在相對于所述預定基準軸相互對稱的位置處。根據(jù)權(quán)利要求3所述的光譜共焦傳感器,其中,所述多個光入射口設置在相對于所述虛擬光入射口相互對稱的位置處。根據(jù)權(quán)利要求2至6中任一項所述的光譜共焦傳感器,其中,所述多個光入射口沿著與所述線傳感器的線方向相對應的預定方向設置。長春光譜共焦位移傳感器性價比高