本發(fā)明提出的激光位移傳感器的成像物鏡和感光元件的調(diào)制傳遞函數(shù)(MTF)解析結(jié)果滿足MTFS＞MTFT或MTFT＞MTFS，能夠利用像散，讓呈現(xiàn)在感光元件上的光斑在水平方向(即，弧矢方向，S方向)變窄，而在豎直方向(即，子午方向，T方向)變長(或者讓光斑在水平方向(即，弧矢方向，S方向)變寬，而在豎直方向(即，子午方向，T方向)變窄)，有助于更加容易地確定光斑在水平方向上的中心位置，從而提高測量的準確度；由于激光位移傳感器中感光元件的多個感光單元的陣列排布形狀為矩形或線形，將矩形長邊或直線的延伸方向上的MTF降低，也不會影響測量精度；不僅如此，由于在MTF值被拉高的方向上光斑變窄，而在MTF值被降低的方向上光斑變寬，所以光斑與像元之間的接觸面積增大，使得光斑更加容易地被感光元件所接收，能夠更好地應(yīng)對使用中因為振動或機械變形等隨帶來的不良影響；此外，由于本發(fā)明提出的激光位移傳感器所采用的成像物鏡無需兼顧水平方向和CN1 06855391B4豎直方向的MTF值，所以能夠降低物鏡的設(shè)計難度，節(jié)省制造和維護成本；無論是在工業(yè)生產(chǎn)、醫(yī)療診斷還是科學(xué)研究，它都發(fā)揮著巨大作用，為我們提供了準確而可靠的測量數(shù)據(jù)。好的激光位移傳感器量大從優(yōu)
進一步地，所述蝸輪蝸桿機構(gòu)包括一橫向蝸桿、一蝸輪以及一位移調(diào)節(jié)把手；所述橫向蝸桿的一端與所述激光紅外線接收擋板的背面固接，另一端與所述電子測量儀抵接；所述位移調(diào)節(jié)把手與所述蝸輪的中心固接。進一步地，所述電子測量儀包括一電子千分表以及一千分表夾持裝置；所述電子千分表夾持在所述千分表夾持裝置上，所述千分表夾持裝置一端抵接于所述延伸部，另一端抵接于所述橫向蝸桿上。 進一步地，所述傳感器夾持裝置包括一縱向螺桿以及一夾持器；所述夾持器套設(shè)在所述縱向螺桿上，所述激光位移傳感器夾持在所述夾持器上。
優(yōu)點在于：1、通過所述電子千分表，使得所述激光位移傳感器的檢驗精度極大提高。2、通過所述電動伸縮雙直線導(dǎo)軌，簡化了檢驗流程、當設(shè)備閑置時收縮導(dǎo)軌可節(jié)約占地面積。 無錫激光位移傳感器行情它們的穩(wěn)定性使得測量結(jié)果具有較高的重復(fù)性和可信度。
非接觸式激光平面檢測采用的是集光、機電一體化的測量設(shè)備系統(tǒng)，系統(tǒng)中的激光位移傳感器是一種代替?zhèn)鹘y(tǒng)接觸式測量的新型位移檢測裝置，具有分辨率高，線性度高和穩(wěn)定性好等特點，可實現(xiàn)對對象物的高精度、高可靠性的測量。本文中定性檢測試驗較好地反映出對象物平面實際起伏情況，定量檢測試驗結(jié)果達到了儀器的理論精度為6μm范圍內(nèi)的要求。該系統(tǒng)能滿足現(xiàn)代化生產(chǎn)和科學(xué)研究的需要，具有廣闊的應(yīng)用前景。創(chuàng)視智能技術(shù)創(chuàng)視智能技術(shù)
隨著科學(xué)技術(shù)的迅猛發(fā)展，具有非接觸、高精度、穩(wěn)定性好、可自動化及易于與計算機相結(jié)合等特點的激光位移檢測技術(shù)在自動檢測、機器人視覺、計算機輔助設(shè)計與制造等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用，已將逐漸取代傳統(tǒng)的接觸式檢測技術(shù)，成為現(xiàn)代檢測技術(shù)很重要的手段和方法。非接觸式激光平面檢測系統(tǒng)主要利用激光位移傳感器與平臺運動控制系統(tǒng)來檢測對象物平面平整度。位移傳感器用來測量目標物體的距離，按與對象物的接觸類型它分為兩類：主要有使用差動電壓等形式的接觸式與使用磁場、超聲波、激光等形式的非接觸式。由于非接觸式激光位移傳感器具有高精度表面掃描的特點，系統(tǒng)選擇基恩士公司的LT一9001Series型激光位移傳感器，該激光位移傳感器可以對任何對象物進行高精密度的位移測定，例如可以對微細工件、粗面工件的高度進行測定，還可以測量電路板上的焊錫以及測定透明體的表面和厚度。平臺運動控制系統(tǒng)選擇丹納赫公司的ULTIMAC—G型控制器和二維電動平移臺。云南麗江天文工作站2.4mm天文望遠鏡終端的拼接CCD相機為了得到更清晰的天體圖像，將采用該非接觸式激光平面檢測系統(tǒng)，對拼接CCD相機平面平整度進行檢測。它具有較長的使用壽命，能夠長時間穩(wěn)定地運行。
針對相關(guān)技術(shù)中的問題，本發(fā)明提出一種激光位移傳感器，能夠在不影響測量精度的情況下，降低成像物鏡的設(shè)計難度，同時讓測量系統(tǒng)能夠更有效地應(yīng)對振動、機械變形等不良影響。根據(jù)本發(fā)明，提供了一種激光位移傳感器。根據(jù)本發(fā)明的激光位移傳感器包括激光器、成像物鏡以及感光元件，激光器用于射出激光束，由成像物鏡接收并出射的光入射到感光元件。其中，在對成像物鏡和感光元件CN1 06855391B3進行調(diào)制傳遞函數(shù)MTF解析時，解析結(jié)果滿足以下條件：[0011]在感光元件的多個感光單元的主要排列方向為弧矢方向的情況下，MTFS＞MTFT；在感光元件的多個感光單元的主要排列方向為子午方向的情況下，MTFT＞MTFS；其中，MTFS為弧矢方向上的MTF值，MTFT為子午方向上的MTF值。進一步地，在進行解析時，空間頻率為62.5lp/mm，如果多個感光單元的主要排列方向為弧矢方向，則MTFS＞MTFT×10；如果多個感光單元的主要排列方向為子午方向，則MTFT＞MTFS×10。[0015]可選地，空間頻率為62.5lp/mm，如果多個感光單元的主要排列方向為弧矢方向，則MTFS≥0.5，MTFT＜0.05；如果多個感光單元的主要排列方向為子午方向，則MTFT≥0.5，MTFS＜0.05。非接觸式位移傳感器的出現(xiàn)推動了現(xiàn)有技術(shù)的適應(yīng)，以滿足新的測量要求并提高測量的準確性和分辨率。閔行區(qū)激光位移傳感器廠家現(xiàn)貨
光譜共焦位移傳感器是一種高精度的光學(xué)測量儀器，能夠?qū)崿F(xiàn)非接觸式的表面形貌測量。好的激光位移傳感器量大從優(yōu)
根據(jù)本發(fā)明實施例的激光位移傳感器主要包括激光器(例如，可以是CN1 06855391B5激光二極管)1、聚焦透鏡2、窗口玻璃3、帶通濾光片5、成像物鏡(也可稱為接收物鏡)6、感光元件7以及反光元件8。其中，該激光位移傳感器用于對被測物體4進行測量。在圖1所示的結(jié)構(gòu)中，省略了激光位移傳感器的外殼。實際上，上述窗口玻璃3可以設(shè)置在激光位移傳感器的外殼上，供激光器所發(fā)出的光通過。激光位移傳感器的工作過程如下：由激光二極管1發(fā)射的激光束通過聚焦透鏡2聚焦、窗口玻璃3濾光后，照射在被測物體4的表面形成一個測量光斑，激光束可以垂直入射到被測物體4表面(即垂直入射)，也可與被測物體4表面成一定的角度(即斜入射)。該測量光斑由成像物鏡6成像，并在感光元件7形成測量信號。好的激光位移傳感器量大從優(yōu)