差動共焦拉曼光譜測試方法是一種通過激光激發(fā)樣品產(chǎn)生拉曼散射信號,并利用差動共焦顯微鏡提高空間分辨率、抑制激光背景和表面散射等干擾信號的非接觸式拉曼光譜測試方法。該方法將樣品放置于差動共焦顯微鏡中,利用兩束激光在焦平面聚焦下的共焦點對樣品進行局部激發(fā),產(chǎn)生拉曼散射信號。其中一束激光在焦平面發(fā)生微小振動,通過檢測二者之間的光路差異,可以抑制激光背景和表面散射等干擾信號。該方法具有高空間分辨率和高信噪比等特點,可以實現(xiàn)微區(qū)域的化學組成分析和表征。該方法可用于單個納米顆粒、生物組織、納米線、nanofilm等微型樣品的表征,以及材料科學、生物醫(yī)學、環(huán)境科學等領(lǐng)域的研究。需要注意的是,在差動共焦拉曼光譜測試中,樣品的濃度、表面性質(zhì)、對激光的散射能力等都會影響測試結(jié)果,因此需要對不同樣品進行適當?shù)奶幚砗蛢?yōu)化 。光譜共焦技術(shù)在生物醫(yī)學、材料科學、環(huán)境監(jiān)測等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。高速光譜共焦應(yīng)用案例
在塑料薄膜和透明材料薄厚測量方面,研究人員探討了光譜共焦傳感器在全透明平板電腦平整度測量中由于不同折射率引入的測量誤差并進行了補償,在機器視覺技術(shù)方面利用光譜共焦傳感器檢測透明材料的薄厚及弧形玻璃曲面的薄厚。在外表粗糙度測量方面,研究人員闡述了不同方式測量外表粗糙度的優(yōu)缺點,并選擇了基于光譜共焦傳感器的測量方式進行試驗,為外表粗糙度的高精密測量提供了一種新方法 。研究人員利用小二乘法計算校準誤差并進行了離散系統(tǒng)誤差測算,以減少光譜共焦傳感器校準后的誤差,并在不同精度標準器下探尋了光譜共焦傳感器的校準誤差變化情況,這對于今后光譜共焦傳感器的應(yīng)用和科學研究具有重要意義。高速光譜共焦行情光譜共焦位移傳感器可以實現(xiàn)對材料的變形過程進行實時監(jiān)測,對于研究材料的力學行為具有重要意義。
隨著工業(yè)快速的發(fā)展 ,對精密測量技術(shù)的要求越來越高,位移測量技術(shù)作為幾何量精密測量的基礎(chǔ),不僅需要超高測量精度,而且需要對環(huán)境和材料的大量適應(yīng)性,并且逐步趨于實時、無損檢測。與傳統(tǒng)接觸式測量方法相比,光譜共焦位移傳感器具有高速度,高精度,高適應(yīng)性等明顯優(yōu)勢。本文通過對光譜共焦傳感器應(yīng)用場景的分析,有助于廣大讀者進一步加深對光譜共焦傳感器技術(shù)的理解。得益于納米級精度及超好的角度特性,光譜共焦位移傳感器可用于對表面粗糙度進行高精度測量。相對于傳統(tǒng)的接觸式粗糙度儀,光譜共焦位移傳感器以更高的速度采集粗糙度輪廓,并且對產(chǎn)品表面無任何損傷。
光譜共焦位移傳感器是一種基于共焦原理,采用復色光作為光源的傳感器,其測量精度可達到納米級,適用于測量物體表面漫反射或反射的情況。此外,光譜共焦位移傳感器還可以用于單向厚度測量透明物體。由于其具有高精度的測量位移特性,因此對于透明物體的單向厚度測量以及高精度的位移測量都有著很好的應(yīng)用前景。將光譜共焦位移傳感器應(yīng)用于位移測量中,并通過實驗驗證,表明其能夠滿足高精度的位移測量要求,這對于將整個系統(tǒng)小型化、產(chǎn)品化具有重要意義。光譜共焦位移傳感器采用的是非接觸式測量方式,可以避免傳統(tǒng)測量方式中的接觸誤差。
在硅片柵線的厚度測量過程中,創(chuàng)視智能TS-C系列光譜共焦傳感器和CCS控制器被使用。TS-C系列光譜共焦位移傳感器具有0.025 μm的重復精度,±0.02%的線性精度,10kHz的測量速度和±60°的測量角度。它適用于鏡面、透明、半透明、膜層、金屬粗糙面和多層玻璃等材料表面,支持485、USB、以太網(wǎng)和模擬量數(shù)據(jù)傳輸接口。在測量太陽能光伏板硅片柵線厚度時,使用單探頭在二維運動平臺上進行掃描測量。柵線厚度可通過柵線高度與基底高度之差獲得,通過將需要掃描測量的硅片標記三個區(qū)域并使用光譜共焦C1200單探頭單側(cè)測量來完成測量。由于柵線不是平整面,并且有一定的曲率,因此對于測量區(qū)域的選擇具有較大的隨機性影響 。光譜共焦位移傳感器可以用于材料、結(jié)構(gòu)和生物等領(lǐng)域的位移和形變測量。高速光譜共焦應(yīng)用案例
國內(nèi)外已經(jīng)有很多光譜共焦技術(shù)的研究成果發(fā)表。高速光譜共焦應(yīng)用案例
隨著社會的發(fā)展,智能設(shè)備不斷進化,人們對個性化的追求日益增加。復雜的形狀意味著對點膠設(shè)備提出更高的精度和靈活性要求。當前在手機中板和屏幕模組貼合時,需要在中板上面點一圈透明的UV膠,由于其白色反光特性 ,只能使用光譜共焦傳感器進行完美測量。光譜共焦傳感器的復合光特性可以完美高速地測量膠水的高度和寬度。由于膠水自身特性是液體,成型特性是弧形,材料特性是透明或半透明。因此,采用光譜共焦傳感器是當前解決高精度點膠需求的好方案之一,它具有非常高的分辨率和測量精度,并同時能夠應(yīng)對形狀的復雜性和材料特性的多樣性,能夠滿足各種行業(yè)的高精度測量要求。高速光譜共焦應(yīng)用案例