在硅片柵線的厚度測(cè)量過(guò)程中，創(chuàng)視智能TS-C系列光譜共焦傳感器和CCS控制器被使用。TS-C系列光譜共焦位移傳感器具有0.025 μm的重復(fù)精度，±0.02%的線性精度，10kHz的測(cè)量速度和±60°的測(cè)量角度。它適用于鏡面、透明、半透明、膜層、金屬粗糙面和多層玻璃等材料表面，支持485、USB、以太網(wǎng)和模擬量數(shù)據(jù)傳輸接口。在測(cè)量太陽(yáng)能光伏板硅片柵線厚度時(shí)，使用單探頭在二維運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上進(jìn)行掃描測(cè)量。柵線厚度可通過(guò)柵線高度與基底高度之差獲得，通過(guò)將需要掃描測(cè)量的硅片標(biāo)記三個(gè)區(qū)域并使用光譜共焦C1200單探頭單側(cè)測(cè)量來(lái)完成測(cè)量。由于柵線不是平整面，并且有一定的曲率，因此對(duì)于測(cè)量區(qū)域的選擇具有較大的隨機(jī)性影響 。光譜共焦技術(shù)可以解決以往傳感器和測(cè)量系統(tǒng)精度與視場(chǎng)不能兼容的問(wèn)題。推薦光譜共焦供應(yīng)鏈
光譜共焦測(cè)量技術(shù)是共焦原理和編碼技術(shù)的結(jié)合。白色光源和光譜儀可以完成一個(gè)相對(duì)高度范圍的準(zhǔn)確測(cè)量。光譜共焦位移傳感器的準(zhǔn)確測(cè)量原理如圖1所示。在光纖和超色差鏡片的幫助下，產(chǎn)生一系列連續(xù)而不重合的可見(jiàn)光聚焦點(diǎn)。當(dāng)待測(cè)物體放置在檢測(cè)范圍內(nèi)時(shí)，只有一種光波長(zhǎng)能夠聚焦在待測(cè)物表面并反射回來(lái)，產(chǎn)生波峰信號(hào)。其他波長(zhǎng)將失去對(duì)焦 。使用干涉儀的校準(zhǔn)信息可以計(jì)算待測(cè)物體的位置，并創(chuàng)建對(duì)應(yīng)于光譜峰處波長(zhǎng)偏移的編碼。超色差鏡片通過(guò)提高縱向色差，可以在徑向分離出電子光學(xué)信號(hào)的不同光譜成分，因此是傳感器的關(guān)鍵部件，其設(shè)計(jì)方案非常重要。光譜共焦市場(chǎng)價(jià)格光譜共焦位移傳感器可以實(shí)現(xiàn)對(duì)材料的表面形貌進(jìn)行高精度測(cè)量，對(duì)于研究材料的表面性質(zhì)具有重要意義；
隨著精密儀器制造業(yè)的發(fā)展，對(duì)工業(yè)生產(chǎn)測(cè)量的精度和適應(yīng)性要求越來(lái)越高，需要具有高精度、適應(yīng)性強(qiáng)和實(shí)時(shí)無(wú)損檢測(cè)等特性的位移傳感器。光譜共焦位移傳感器的問(wèn)世解決了這個(gè)問(wèn)題，它是一種非接觸式光電位移傳感器，可達(dá)到亞微米級(jí)甚至更高的測(cè)量精度。傳感器對(duì)于雜光等干擾光線并不敏感，具有較強(qiáng)的抵抗能力，適應(yīng)性強(qiáng)，且具有小型化的特點(diǎn)，應(yīng)用前景廣闊。光學(xué)色散鏡頭是光譜共焦位移傳感器的重要組成部分之一 ，其性能參數(shù)對(duì)于位移傳感器的測(cè)量精度和分辨率具有決定性作用。
高像素傳感器的設(shè)計(jì)取決于對(duì)焦水平和圖像室內(nèi)空間NA的要求。同時(shí)，在光譜共焦位移傳感器中，屏幕分辨率通常采用全半寬來(lái)進(jìn)行精確測(cè)量。高NA可以降低半寬，提高分辨率。因此，在設(shè)計(jì)超色差攝像鏡頭時(shí)，需要盡可能提高NA。高圖像室內(nèi)空間NA可以提高傳感器系統(tǒng)的燈源使用率 ，并允許待測(cè)表面在相對(duì)大的角度或某些方向上傾斜。但是，同時(shí)提高NA也會(huì)導(dǎo)致球差擴(kuò)大，并增加電子光學(xué)設(shè)計(jì)的優(yōu)化難度。傳感器的檢測(cè)范圍主要取決于超色差鏡片的縱向色差。因?yàn)楣庾V儀在各個(gè)波長(zhǎng)的像素應(yīng)該是一致的，如果縱向色差與波長(zhǎng)之間存在離散系統(tǒng)，這種離散系統(tǒng)也會(huì)對(duì)傳感器的像素或靈敏度在不同波長(zhǎng)上造成較大的差別，從而損害傳感器的特性。通過(guò)使用自然散射的玻璃或者衍射光學(xué)元件(DOE)可以形成足夠強(qiáng)的色差。然而，制造難度和成本相對(duì)較高，且在可見(jiàn)光范圍內(nèi)透射損耗也非常高。光譜共焦位移傳感器可以用于材料的彈性模量、形變和破壞等參數(shù)的測(cè)量。
共焦測(cè)量方法由于具有高精度的三維成像能力，已經(jīng)大量用于表面輪廓與三維精細(xì)結(jié)構(gòu)的精密測(cè)量。本文通過(guò)分析白光共焦光譜的基本原理，建立了透明靶丸內(nèi)表面圓周輪廓測(cè)量校準(zhǔn)模型;同時(shí)，基于白光共焦光譜并結(jié)合精密旋轉(zhuǎn)軸系，建立了靶丸內(nèi)表面圓周輪廓精密測(cè)量系統(tǒng)和靶丸圓心精密定位方法 ，實(shí)現(xiàn)了透明靶丸內(nèi)、外表面圓周輪廓的納米級(jí)精度測(cè)量。用白光共焦光譜測(cè)量靶丸殼層內(nèi)表面輪廓數(shù)據(jù)時(shí)，其測(cè)量結(jié)果與白光共焦光譜傳感器光線的入射角、靶丸殼層厚度、殼層材料折射率、靶丸內(nèi)外表面輪廓的直接測(cè)量數(shù)據(jù)等因素緊密相關(guān)。激光位移傳感器的應(yīng)用主要是用于非標(biāo)的特定檢測(cè)設(shè)備中。高采樣速率光譜共焦安裝操作注意事項(xiàng)
光譜共焦技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)高分辨率的成像和分析。推薦光譜共焦供應(yīng)鏈
玻璃基板是液晶顯示屏必不可少的零部件之一，一張液晶顯示屏要用二張玻璃基板，各自做為底層玻璃基板和彩色濾底版應(yīng)用。玻璃基板的品質(zhì)對(duì)控制面板成品屏幕分辨率、透光性、厚度、凈重、可視角度等數(shù)據(jù)都是有關(guān)鍵危害。玻璃基板是組成液晶顯示屏元器件一個(gè)基本上構(gòu)件。這是一種表層極為平坦的方法生產(chǎn)制造薄玻璃鏡片?，F(xiàn)階段在商業(yè)上運(yùn)用的玻璃基板，其厚度為0.7 mm及0.5m m，且將要邁進(jìn)特薄厚度之制造。大部分，一片TFT-LCD控制面板需用到二片玻璃基板。因?yàn)椴ＡЩ搴穸群鼙?，而厚度?guī)格監(jiān)管又比較嚴(yán)格，一般在0.01mm的公差，關(guān)鍵清晰地測(cè)量夾層玻璃厚度、漲縮和平面度。選用創(chuàng)視智能自主生產(chǎn)研發(fā)的高精度光譜共焦位移傳感器可以非常好的處理這一難題，一次測(cè)量就可以完成了相對(duì)高度值、厚度系數(shù)的收集，再加上與此同時(shí)選用多個(gè)感應(yīng)器測(cè)量，不僅提高了效率，并且防止觸碰測(cè)量所造成的二次損害 。推薦光譜共焦供應(yīng)鏈