新品光譜共焦詳情

三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)是加工現(xiàn)場(chǎng)常用的高精度產(chǎn)品尺寸及形位公差檢測(cè)設(shè)備，具有通用性強(qiáng)，精確可靠等優(yōu)點(diǎn)。本文面向一種特殊材料異型結(jié)構(gòu)零件內(nèi)曲面的表面粗糙度測(cè)量要求，提出一種基于高精度光譜共焦位移傳感技術(shù)的表面粗糙度集成在線測(cè)量方法，利用工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)常用的三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)平臺(tái)執(zhí)行輪廓掃描，并記錄測(cè)量掃描位置實(shí)時(shí)空間橫坐標(biāo)，根據(jù)空間坐標(biāo)關(guān)系，將測(cè)量掃描區(qū)域的微觀高度信息和掃描采樣點(diǎn)組織映射為微觀輪廓，經(jīng)高斯濾波處理和評(píng)價(jià)從而得到測(cè)量對(duì)象的表面粗糙度信息。光譜共焦技術(shù)可以測(cè)量位移，利用返回光譜的峰值波長(zhǎng)位置；新品光譜共焦詳情

位移是在光軸方向上從預(yù)定的基準(zhǔn)位置到測(cè)量對(duì)象的距離。通過(guò)計(jì)算位移能夠測(cè)量表面上的凹凸的深度或高度、透明體的厚度等。在一些共焦位移傳感器中，包括共焦光學(xué)系統(tǒng)的頭單元以及包括投光用光源和分光器的約束裝置由單獨(dú)的裝置構(gòu)成。投光用光源的光經(jīng)由包括光纖的線纜傳送到頭單元。在該類型的位移計(jì)中，頭單元通常設(shè)置在測(cè)量對(duì)象附近并且遠(yuǎn)離約束裝置。在以上說(shuō)明的傳統(tǒng)共焦位移傳感器中，難以在設(shè)置頭單元期間辨識(shí)頭單元是否被適當(dāng)?shù)卦O(shè)置。即使在約束裝置側(cè)設(shè)置了顯示部，操作者也難以進(jìn)行設(shè)置作業(yè)以從頭單元的設(shè)置位置附近的位置確認(rèn)約束裝置的顯示。因此，為了確認(rèn)顯示，操作者必須移動(dòng)到約束裝置的設(shè)置位置。如果頭單元的設(shè)置狀態(tài)不合適，則操作者必須反復(fù)作業(yè)，以移動(dòng)到頭單元的設(shè)置位置并調(diào)整頭單元的位置和姿勢(shì)，之后再次移動(dòng)到約束裝置的設(shè)置位置并確認(rèn)顯示在傳統(tǒng)的共焦位移傳感器中,還難以在頭單元的設(shè)置位置附近辨識(shí)約束裝置是否正常操作。線陣光譜共焦主要功能與優(yōu)勢(shì)光譜共焦位移傳感器通常由光源、光譜儀、探測(cè)器和信號(hào)處理器等組成。

根據(jù)對(duì)光譜共焦位移傳感器原理的理解和分析，可以得出理想的鏡頭應(yīng)具備以下性能：首先，產(chǎn)生較大的軸向色差，通常需要對(duì)鏡頭進(jìn)行消色差措施，而該傳感器需要利用色差進(jìn)行測(cè)量，需要將其擴(kuò)大化；其次，產(chǎn)生軸向色差后，焦點(diǎn)在軸上會(huì)因單色光的球差問(wèn)題而導(dǎo)致光譜曲線響應(yīng)的FWHM（半峰全寬）變大，影響分辨率；同時(shí)，為確保單色光在軸上匯聚到單一點(diǎn)，需要控制其球差；為保證傳感器的線性度并平衡其各聚焦位置的靈敏度，焦點(diǎn)位置應(yīng)盡量與波長(zhǎng)成線性關(guān)系。

光譜共焦測(cè)量技術(shù)由于其高精度、允許被測(cè)表面有更大的傾斜角、測(cè)量速度快、實(shí)時(shí)性高、對(duì)被測(cè)表面狀況要求低以及高分辨率等特點(diǎn)，已成為工業(yè)測(cè)量的熱門傳感器，在生物醫(yī)學(xué)、材料科學(xué)、半導(dǎo)體制造、表面工程研究、精密測(cè)量和3C電子等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。本次測(cè)量場(chǎng)景采用了創(chuàng)視智能TS-C1200光譜共焦傳感頭和CCS控制器。TS-C系列光譜共焦位移傳感器能夠?qū)崿F(xiàn)0.025 μm的重復(fù)精度、±0.02%的線性精度、30kHz的采樣速度和±60°的測(cè)量角度，適用于鏡面、透明、半透明、膜層、金屬粗糙面、多層玻璃等材料表面，支持485、USB、以太網(wǎng)和模擬量的數(shù)據(jù)傳輸接口。光譜共焦位移傳感器可以應(yīng)用于材料科學(xué)、醫(yī)學(xué)、納米技術(shù)等多個(gè)領(lǐng)域；

光譜共焦技術(shù)是在共焦顯微術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展而來(lái)的技術(shù)，在測(cè)量過(guò)程中無(wú)需軸向掃描，直接由波長(zhǎng)對(duì)應(yīng)軸向距離信息，因此可以大幅提高測(cè)量速度。基于光譜共焦技術(shù)的傳感器是近年來(lái)出現(xiàn)的一種高精度、非接觸式的新型傳感器，精度理論上可達(dá)到納米級(jí)。由于光譜共焦傳感器對(duì)被測(cè)表面狀況要求低、允許被測(cè)表面有更大的傾斜角、測(cè)量速度快、實(shí)時(shí)性高，因此迅速成為工業(yè)測(cè)量的熱門傳感器，大量應(yīng)用于精密定位、薄膜厚度測(cè)量、微觀輪廓精密測(cè)量等領(lǐng)域。本文介紹了光譜共焦技術(shù)的原理，并列舉了光譜共焦傳感器在幾何量計(jì)量測(cè)試中的典型應(yīng)用。同時(shí)，對(duì)共焦技術(shù)在未來(lái)精密測(cè)量的進(jìn)一步應(yīng)用進(jìn)行了探討，并展望了其發(fā)展前景。光譜共焦技術(shù)具有軸向按層分析功能；推薦光譜共焦制造公司

光譜共焦技術(shù)具有很大的市場(chǎng)潛力；新品光譜共焦詳情

本文提出了一種基于高精度光譜共焦位移傳感技術(shù)的表面粗糙度集成在線測(cè)量方法，適用于一種特殊材料異型結(jié)構(gòu)零件內(nèi)曲面的表面粗糙度測(cè)量要求。該方法利用三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)平臺(tái)對(duì)零件進(jìn)行輪廓掃描，并記錄測(cè)量掃描位置的空間橫坐標(biāo)，然后根據(jù)空間坐標(biāo)關(guān)系，將微觀高度信息和采樣點(diǎn)組合成微觀輪廓，通過(guò)高斯濾波和評(píng)價(jià)得到表面粗糙度信息。三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)具有通用性強(qiáng)、精度可靠，自動(dòng)化程度高等優(yōu)點(diǎn)，這種方法可以實(shí)現(xiàn)在線測(cè)量，提高測(cè)量效率和精度。  新品光譜共焦詳情