隨后安裝在貼裝臺(tái)單元上的激光位移傳感器403檢測(cè)鍵合頭370上拾取的芯片的傾角，結(jié)合兩位移傳感器360和403的初始角度差值，利用調(diào)平機(jī)構(gòu)340對(duì)芯片做出與貼裝臺(tái)401上貼裝位間的平行調(diào)整；其調(diào)平的具體實(shí)現(xiàn)過程如下：音圈電機(jī)343動(dòng)作，從而實(shí)現(xiàn)音圈模組341產(chǎn)生平行于電機(jī)軸向的位移，繼而導(dǎo)致下方動(dòng)平臺(tái)342產(chǎn)生繞u軸或者v軸（與u軸垂直）方向的轉(zhuǎn)動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)動(dòng)平臺(tái)342傾角的調(diào)整，使得連接在動(dòng)平臺(tái)上的鍵合頭370與貼裝臺(tái)401上基板貼裝位平行，保證鍵合壓力均勻；激光位移傳感器通常用于工業(yè)生產(chǎn)自動(dòng)化控制、質(zhì)量檢測(cè)、機(jī)器人、醫(yī)療等領(lǐng)域。原裝位移傳感器制造廠家
激光三角法原理激光三角法原理框圖如圖所示，由光源發(fā)出的一束激光照射在待測(cè)物體平面上，通過反射之后在檢測(cè)器上成像。當(dāng)物體表面的位置發(fā)生改變時(shí)，其所成的像在檢測(cè)器上也發(fā)生相應(yīng)的位移。通過像移和實(shí)際位移之間的關(guān)系式，真實(shí)的物位移可以由對(duì)像移的檢測(cè)和計(jì)算得到，計(jì)算公式為：
x=ax'/（bsinθ-x'cosθ）（1）
式中：x，x'分別是被測(cè)物位移和光敏器件上像斑的位移；a，b，θ是系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)參數(shù)，是根據(jù)具體使用要求而選定的。由此可見精確地測(cè)量X7就可以得到被測(cè)物體的位移量，這就是激光三角法測(cè)量位移的原理。 小型位移傳感器工廠激光位移傳感器可以實(shí)現(xiàn)非接觸式測(cè)量，對(duì)物體不會(huì)產(chǎn)生實(shí)際接觸，避免對(duì)其造成損傷或污染。
二維激光位移傳感器是一種用于測(cè)量物件位移大小及對(duì)動(dòng)態(tài)物件位移量進(jìn)行實(shí)時(shí)測(cè)量的光、機(jī)、電一體化系統(tǒng)口]。高精度的二維激光傳感器采用的是激光三角反射式原理，采集不同材質(zhì)表面的二維輪廓信息，通過特殊的透鏡組，激光束被放大形成一條靜態(tài)激光線投射到被測(cè)物體表面上。激光線在被測(cè)物體表面形成漫反射，反射光透過高質(zhì)量光學(xué)系統(tǒng)，被投射到敏感感光矩陣上。除了傳感器到被測(cè)表面的距離信息(Z軸)，控制器還可以通過圖像信息計(jì)算得出沿著激光線的位置信息(x軸)。二維激光位移傳感器測(cè)量輸出一組二維坐標(biāo)值，可通過轉(zhuǎn)動(dòng)被測(cè)物體或輪廓儀探頭得到一組三維測(cè)量值。本文的目標(biāo)是利用二維激光位移傳感器，通過傳感器繞轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)，線掃描圓柱孔內(nèi)表面來實(shí)現(xiàn)圓柱孔內(nèi)表面信息的測(cè)量，進(jìn)而求得同軸度。如圖3所示，二維激光位移傳感器有X軸小、大量程，以及Z軸小、大量程。用傳感器測(cè)量減速器兩端軸承孑L內(nèi)表面信息時(shí)，需保證傳感器到孔內(nèi)表面的距離在傳感器的Z軸測(cè)量范圍內(nèi)，并且對(duì)應(yīng)著該Z軸測(cè)量量程的X軸測(cè)量范圍應(yīng)大于孔的高度，即激光線旋轉(zhuǎn)一周應(yīng)能包含軸承孑L內(nèi)表面。
智能車系統(tǒng)以飛思卡爾16位單片機(jī)MC9S12XSl28為重要管控器，該款處理器標(biāo)稱40MHz總線頻率，片內(nèi)集成128KB的FLASH，8KB的RAM，集成8信道脈寬調(diào)制模塊(PWM)，10位模／數(shù)轉(zhuǎn)換器(ADC)，周期性中斷定時(shí)器(PIT)，增強(qiáng)型捕捉定時(shí)器(ECT)以及SCI、SP|等多種通信接口，工作溫度范圍大，為n]一40～125℃，管控器性能優(yōu)越，能夠滿足本設(shè)計(jì)的需求。智能車系統(tǒng)主要包括單片機(jī)樶小系統(tǒng)、路徑識(shí)別模塊(激光傳感器陣列)、舵機(jī)管控模塊，電機(jī)驅(qū)動(dòng)模塊、測(cè)速模塊、電源管理模塊等，硬件總體設(shè)計(jì)方案如圖】所示。其中MC9S12XSl28管控器是智能車的重要部件，負(fù)責(zé)接收激光傳感器陣列獲取的路徑信息、小車速度、撥碼開關(guān)等輸入信息，進(jìn)行數(shù)據(jù)處理后依據(jù)管控策略，輸出相應(yīng)管控量對(duì)舵機(jī)和直流驅(qū)動(dòng)電機(jī)進(jìn)行管控，完成智能車的轉(zhuǎn)向、前進(jìn)、減速等功能。激光位移傳感器可以測(cè)量物體的線性位移、旋轉(zhuǎn)角度、傾斜度、彎曲度、振動(dòng)等參數(shù)，具有多種功能。
激光位移傳感器作為一種高精度、高靈敏度的傳感器，已成為武器裝備制造和維護(hù)中必不可少的工具。它可以測(cè)量武器裝備的位置和位移，以及其運(yùn)動(dòng)狀態(tài)、速度和加速度等動(dòng)態(tài)參數(shù)，并實(shí)時(shí)輸出準(zhǔn)確的控制信號(hào)，實(shí)現(xiàn)對(duì)武器裝備的精密定位和運(yùn)動(dòng)控制。在武器裝備制造中，激光位移傳感器可以用于檢測(cè)武器裝備的加工和裝配精度，并提供實(shí)時(shí)反饋信號(hào)，以保證其精度和可靠性。在武器裝備維護(hù)中，激光位移傳感器可以用于檢測(cè)武器裝備的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)、位置和位移變化，以及其結(jié)構(gòu)和組件的磨損情況，以確保其性能和可靠性。激光位移傳感器可以通過多種反射板、透鏡、精密磁盤、刀具等配套組件實(shí)現(xiàn)不同的測(cè)量要求。品牌位移傳感器制造廠家
激光位移傳感器可以測(cè)量物體的線性位移、角位移、傾斜和振動(dòng)等參數(shù)。原裝位移傳感器制造廠家
激光位移傳感器在工業(yè)生產(chǎn)中扮演著重要的角色，主要應(yīng)用于非標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè)設(shè)備中。由于國(guó)內(nèi)激光非接觸測(cè)量?jī)x器主要依賴進(jìn)口，因此研究和生產(chǎn)激光位移傳感器具有非常重要的意義，可以提高國(guó)內(nèi)工業(yè)生產(chǎn)的自主創(chuàng)新能力和技術(shù)水平。激光位移傳感器的測(cè)量原理是利用激光單色和準(zhǔn)直特性將垂直入射測(cè)距面上的激光點(diǎn)通過光學(xué)系統(tǒng)將其縮小的實(shí)像成像在接收光敏面上。通過計(jì)算光斑實(shí)際的位移大小，就可以實(shí)現(xiàn)對(duì)物件位移量的測(cè)量。因此，研究激光位移傳感器的系統(tǒng)特點(diǎn)和工作原理非常重要，可以提高其測(cè)量精度和穩(wěn)定性。原裝位移傳感器制造廠家