光譜共焦傳感器是專為需要高精度測量任務而設計的，通常應用于研發(fā)任務、實驗室和醫(yī)療、半導體制造、玻璃生產和塑料加工。除了對高反射、有光澤的金屬部件進行距離測量以外，這些傳感器還可用于測量深色、漫反射材料、以及透明薄膜、板或層的單面厚度測量。傳感器還受益于較大的間隔距離（高達100毫米），從而為用戶在使用傳感器的各種應用方面提供更大的靈活性。另外，傳感器的傾斜角度已顯著增加，這在測量表面特征的變化時帶來更好的性能。光譜共焦位移傳感器可以實現(xiàn)對不同材料的位移測量，包括金屬、陶瓷、塑料等；高速光譜共焦技術
三坐標測量機是加工現(xiàn)場常用的高精度產品尺寸及形位公差檢測設備，具有通用性強，精確可靠等優(yōu)點。本文面向一種特殊材料異型結構零件內曲面的表面粗糙度測量要求，提出一種基于高精度光譜共焦位移傳感技術的表面粗糙度集成在線測量方法，利用工業(yè)現(xiàn)場常用的三坐標測量機平臺執(zhí)行輪廓掃描，并記錄測量掃描位置實時空間橫坐標，根據(jù)空間坐標關系，將測量掃描區(qū)域的微觀高度信息和掃描采樣點組織映射為微觀輪廓，經高斯濾波處理和評價從而得到測量對象的表面粗糙度信息。原裝光譜共焦常見問題光譜共焦技術可以在醫(yī)學診斷中發(fā)揮重要作用；
光譜共焦傳感器在數(shù)碼相機中的應用包括相位測距，可大幅提高相機的對焦精度和成像質量，并通過檢測相機的微小振動，實現(xiàn)圖像的防抖和抗震功能。同時，光譜共焦傳感器還可用于計算機硬盤的位移和振動測量，從而實現(xiàn)對硬盤存儲數(shù)據(jù)的穩(wěn)定性和可靠性的實時監(jiān)控。在硬盤的生產過程中，光譜共焦傳感器也可用于進行各種機械結構件的位移、振動和形變測試。在3C電子行業(yè)中，光譜共焦傳感器的應用領域非常廣，可用于各種管控和檢測環(huán)節(jié)，在實現(xiàn)高精度和高可靠性的測量和檢測方面發(fā)揮著重要作用。
靶丸內表面輪廓是激光核聚變靶丸的關鍵參數(shù)，需要精密檢測。本文首先分析了基于白光共焦光譜和精密氣浮軸系的靶丸內表面輪廓測量基本原理，建立了靶丸內表面輪廓的白光共焦光譜測量方法。此外，搭建了靶丸內表面輪廓測量實驗裝置，建立了基于靶丸光學圖像的輔助調心方法，實現(xiàn)了靶丸內表面輪廓的精密測量，獲得了準確的靶丸內表面輪廓曲線;對測量結果的可靠性進行了實驗驗證和不確定度分析，結果表明，白光共焦光譜能實現(xiàn)靶丸內表面低階輪廓的精密測量.光譜共焦技術可以實現(xiàn)對樣品內部結構的觀察和分析；
客戶一直使用安裝在潔凈室的激光測量設備來檢查對齊情況，每個組件大約需要十分鐘才能完成必要的對齊檢查，耗時太久。因此，客戶要求我們開發(fā)一種特殊用途的測試和組裝機器，以減少校準檢查所需的時間?，F(xiàn)在，我們使用機器人搬運系統(tǒng)將閥門、閥瓣和銷組件轉移到專門的自動裝配機中。為了避免由于移動機器人的振動引起的任何測量干擾，我們將光譜共焦位移傳感器安裝在單獨的框架和支架上，盡管仍然靠近要測量的部件。該機器現(xiàn)已經通過測試和驗證。該傳感器基于光譜共焦原理，能夠實現(xiàn)對微小物體表面的位移變化進行高精度的非接觸式測量。高精度光譜共焦的用途
光譜共焦技術可以對材料表面和內部進行非接觸式的檢測和分析；高速光譜共焦技術
硅片柵線的厚度測量方法我們還用創(chuàng)視智能TS-C系列光譜共焦傳感器和CCS控制器，TS-C系列光譜共焦位移傳感器能夠實現(xiàn)0.025 μm的重復精度，±0.02% of F.S.的線性精度，10kHz的測量速度，以及±60°的測量角度，能夠適應鏡面、透明、半透明、膜層、金屬粗糙面、多層玻璃等材料表面，支持485、USB、以太網、模擬量的數(shù)據(jù)傳輸接口。我們主要測量太陽能光伏板硅片刪線的厚度，所以這次用單探頭在二維運動平臺上進行掃描測量。柵線測量方法：首先我們將需要掃描測量的硅片選擇三個區(qū)域進行標記如圖1，用光譜共焦C1200單探頭單側測量，柵線厚度是柵線高度-基底的高度差。二維運動平臺掃描測量（由于柵線不是一個平整面，自身有一定的曲率，對測量區(qū)域的選擇隨機性影響較大）。高速光譜共焦技術