光譜共焦測(cè)量技術(shù)由于其高精度、允許被測(cè)表面有更大的傾斜角、測(cè)量速度快、實(shí)時(shí)性高、對(duì)被測(cè)表面狀況要求低、以及高分辨率的獨(dú)特優(yōu)勢(shì)，迅速成為工業(yè)測(cè)量的熱門傳感器，在生物醫(yī)學(xué)、材料科學(xué)、半導(dǎo)體制造、表面工程研究、精密測(cè)量、3C電子等領(lǐng)域得到大量應(yīng)用。本次測(cè)量場(chǎng)景使用的是創(chuàng)視智能TS-C1200光譜共焦傳感頭和CCS控制器。TS-C系列光譜共焦位移傳感器能夠?qū)崿F(xiàn)0.025μm的重復(fù)精度，±0.02% of F.S.的線性精度， 30kHz的采樣速度，以及±60°的測(cè)量角度，能夠適應(yīng)鏡面、透明、半透明、膜層、金屬粗糙面、多層玻璃等材料表面，支持485、USB、以太網(wǎng)、模擬量的數(shù)據(jù)傳輸接口。光譜共焦技術(shù)在汽車制造中可以用于零件的精度檢測(cè)和測(cè)量。防水光譜共焦廠家供應(yīng)
光譜共焦位移傳感器是基于共焦原理采用復(fù)色光為光源的傳感器，其測(cè)扯精度能夠達(dá)到nm量級(jí)，可用于表面呈漫反射或鏡反射的物體的測(cè)匱。此外，光譜共焦位移傳感器還可以對(duì)透明物體進(jìn)行單向厚度測(cè)量。由于其在測(cè)量位 移方面具有高精度的特性，對(duì)千單層和多層透明物體，除準(zhǔn)確測(cè)量該物體的位移之外，還可以單方向測(cè)量其厚度。本文將光譜共焦位移傳感器應(yīng)用于位移測(cè)量中，通過實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證光譜共焦測(cè)量系統(tǒng)能夠滿足高精度的位移測(cè)蜇要求，對(duì)今后將整個(gè) 小型化、產(chǎn)品化有著重要的意義。高速光譜共焦行情光譜共焦技術(shù)在材料科學(xué)領(lǐng)域可以用于材料表面和內(nèi)部的成像和分析。
光譜共焦測(cè)量技術(shù)是共焦原理和編碼技術(shù)的融合。一個(gè)完整的相對(duì)高度范疇能夠通過使用白光燈燈源照明燈具和光譜儀完成精確測(cè)量。光譜共焦位移傳感器的精確測(cè)量原理如下圖1所顯示，燈源發(fā)出光經(jīng)過光纖，再通過超色差鏡片，超色差鏡片能夠聚焦在直線光軸上，產(chǎn)生一系列可見光聚焦點(diǎn)。這種可見光聚焦點(diǎn)是連續(xù)的，不重合的。當(dāng)待測(cè)物放置檢測(cè)范圍內(nèi)時(shí)，只有一種光波長(zhǎng)能夠聚焦在待測(cè)物表層并反射面，依據(jù)激光光路的可逆回到光譜儀，產(chǎn)生波峰焊。全部別的波長(zhǎng)也將失去焦點(diǎn)。運(yùn)用單頻干涉儀的校準(zhǔn)信息計(jì)算待測(cè)物體的部位，創(chuàng)建光譜峰處波長(zhǎng)偏移的編號(hào)。該超色差鏡片通過提升，具備比較大的縱向色差，用以在徑向分離出來電子光學(xué)信號(hào)的光譜成份。因而，超色差鏡片是傳感器關(guān)鍵部件，其設(shè)計(jì)方案尤為重要。
非球面中心偏差的測(cè)量手段主要包括接觸式(百分表)和非接觸式(光學(xué)傳感器)。文章基于自準(zhǔn)直定心原理和光譜共焦位移傳感技術(shù)，對(duì)高階非球面的中心偏差進(jìn)行了非接觸精密測(cè)量。光學(xué)加工人員根據(jù)測(cè)量出的校正量和位置方向?qū)η蛎孢M(jìn)行拋光，使非球面透鏡的中心偏差滿足光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)的要求。由于非球面已加工到一定精度要求，因此對(duì)球面的拋光和磨削是糾正非球面透鏡中心偏差的主要方法。利用軸對(duì)稱高階非球面曲線的數(shù)學(xué)模型計(jì)算被測(cè)環(huán)D帶的旋轉(zhuǎn)角度θ，即光譜共焦位移傳感器的工作角。光譜共焦技術(shù)的應(yīng)用可以提高生產(chǎn)效率和質(zhì)量。
主要是對(duì)光譜共焦傳感器的校準(zhǔn)后的誤差進(jìn)行分析。各自利用干涉儀與高精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)對(duì)光譜共焦傳感器開展測(cè)量，用曲面測(cè)針確保光譜共焦傳感器的激光光路坐落于測(cè)針，以確保光譜共焦傳感器在測(cè)量時(shí)安裝精密度，隨后拆換平面圖歪頭，對(duì)光譜共焦傳感器開展校準(zhǔn)。用小二乘法對(duì)測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行解決，獲得測(cè)量數(shù)據(jù)庫(kù)的離散系統(tǒng)誤差。結(jié)果顯示：高精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)校準(zhǔn)后的離散系統(tǒng)誤差為 0.030%，激光器于涉儀校準(zhǔn)時(shí)的分析線形誤差為0.038%。利用小二乘法開展數(shù)據(jù)處理方法及離散系統(tǒng)誤差的計(jì)算，減少校準(zhǔn)時(shí)產(chǎn)生的平行度誤差及光譜共焦傳感器的系統(tǒng)誤差，提高對(duì)光譜共焦傳感器的校準(zhǔn)精密度。光譜共焦三維形貌儀用超大色散線性物鏡組設(shè)計(jì)是一項(xiàng)重要的研究?jī)?nèi)容。深圳光譜共焦產(chǎn)品基本性能要求
光譜共焦位移傳感器可以實(shí)現(xiàn)對(duì)材料的變形過程進(jìn)行精確測(cè)量，對(duì)于研究材料的變形行為具有重要意義。防水光譜共焦廠家供應(yīng)
光譜共焦位移傳感器作為一種新型位移傳感器，因?yàn)槠錅y(cè)量精度高，對(duì)于雜光等干擾光線傳感器不敏感具有較強(qiáng)的抵抗能力等特點(diǎn)，應(yīng)用前景十分大量。文章通過對(duì)原理的分析，設(shè)計(jì)了一款色散鏡頭使用H-K9L和H-ZF4A玻璃，采用正負(fù)透鏡組分離結(jié)構(gòu)組合形成鏡頭組，使用凹凸透鏡補(bǔ)償法該鏡，在486,.._,656nm波長(zhǎng)范圍內(nèi)，色散范圍約為焦量與波長(zhǎng)之間通過線性擬合所得其線性性達(dá)到0.9976，很好的平衡了傳感器各個(gè)聚焦位置的靈敏度，配以合適的光譜儀，傳感器的分辨率可達(dá)到5nm的測(cè)量精度。符合設(shè)計(jì)要求產(chǎn)生了較大的線性軸向色散，在保證大色散范圍的同時(shí)軸向色散與波長(zhǎng)之間也存在著好的線性。防水光譜共焦廠家供應(yīng)