隨著科技的不斷發(fā)展,光譜共焦技術(shù)已經(jīng)成為了現(xiàn)代制造業(yè)中不可或缺的一部分。作為一種高精度、高效率的檢測手段,光譜共焦技術(shù)在點膠行業(yè)中的應(yīng)用也日益大量。光譜共焦技術(shù)是一種基于光學(xué)原理的檢測方法,通過將白光分解為不同波長的光波,實現(xiàn)對樣品的精細(xì)光譜分析。在制造業(yè)中,點膠是一道重要的工序,主要用于產(chǎn)品的密封、固定和保護(hù)。隨著制造業(yè)的不斷發(fā)展,對于點膠的質(zhì)量和精度要求也越來越高。光譜共焦技術(shù)的應(yīng)用,可以有效地提高點膠的品質(zhì)和效率。光譜共焦技術(shù)具有軸向按層分析功能,精度可以達(dá)到納米級別。黑龍江光譜共焦廠家現(xiàn)貨
硅片柵線的厚度測量方法我們還用創(chuàng)視智能TS-C系列光譜共焦傳感器和CCS控制器,TS-C系列光譜共焦位移傳感器能夠?qū)崿F(xiàn)0.025 μm的重復(fù)精度,±0.02% of F.S.的線性精度,10kHz的測量速度,以及±60°的測量角度,能夠適應(yīng)鏡面、透明、半透明、膜層、金屬粗糙面、多層玻璃等材料表面,支持485、USB、以太網(wǎng)、模擬量的數(shù)據(jù)傳輸接口。。我們主要測量太陽能光伏板硅片刪線的厚度,所以我們這次用單探頭在二維運動平臺上進(jìn)行掃描測量。柵線測量方法:首先我們將需要掃描測量的硅片選擇三個區(qū)域進(jìn)行標(biāo)記如圖1,用光譜共焦C1200單探頭單側(cè)測量,柵線厚度是柵線高度-基底的高度差。二維運動平臺掃描測量(由于柵線不是一個平整面,自身有一定的曲率,對測量區(qū)域的選擇隨機(jī)性影響較大)哈爾濱光譜共焦生產(chǎn)商光譜共焦透鏡組設(shè)計和性能優(yōu)化是光譜共焦技術(shù)研究的重要內(nèi)容之一。
光譜共焦位移傳感器原理,由光源、透鏡組、控制箱等組成。光源發(fā)出1束白光,透鏡組先將白光發(fā)散成一系列波長不同的單色光,然后經(jīng)同軸聚焦在一定范圍內(nèi)形成1個連續(xù)的焦點組,每個焦點的單色光波長對應(yīng)1個軸向位置。當(dāng)樣品處于焦點范圍內(nèi)時,樣品表面將聚焦后的光反射回去。這些反射回來的光經(jīng)過與鏡頭組焦距相同的聚焦鏡再次聚焦后通過狹縫進(jìn)入控制箱中的單色儀。因此,只有焦點位置正好處于樣品表面的單色光才能聚焦在狹縫上。單色儀將該波長的光分離出來,由控制箱中的光電組件識別并 得到樣品的軸向位置。采用高數(shù)值孔徑的聚焦鏡頭可以使傳感器達(dá)到較高分辨率,滿足薄膜厚度分布測量要求。
靶丸內(nèi)表面輪廓是激光核聚變靶丸的關(guān)鍵參數(shù),需要精密檢測。本文首先分析了基于白光共焦光譜和精密氣浮軸系的靶丸內(nèi)表面輪廓測量基本原理,建立了靶丸內(nèi)表面輪廓的白光共焦光譜測量方法。此外,搭建了靶丸內(nèi)表面輪廓測量實驗裝置,建立了基于靶丸光學(xué)圖像的輔助調(diào)心方法,實現(xiàn)了靶丸內(nèi)表面輪廓的精密測量,獲得了準(zhǔn)確的靶丸內(nèi)表面輪廓曲線; 對測量結(jié)果的可靠性進(jìn)行了實驗驗證和不確定度分析,結(jié)果表明,白光共焦光譜能實現(xiàn)靶丸內(nèi)表面低階輪廓的精密測量.光譜共焦三維形貌儀用超大色散線性物鏡組設(shè)計是一項重要的研究內(nèi)容。
為了提高加工檢測效率,實現(xiàn)尺寸形位公差與微觀輪廓的同平臺測量,提出一種基于光譜共焦位移傳感器在現(xiàn)場坐標(biāo)測量平臺上集成表面粗糙度測量的方法。搭建實驗測量系統(tǒng)且在Lab VIEW平臺上開發(fā)系統(tǒng)的硬件通訊控制模塊,并配套了高斯輪廓濾波處理及表面粗糙度的評價環(huán)境,建立了非接觸的表面粗糙度測量能力。對標(biāo)準(zhǔn)臺階、表面粗糙度標(biāo)準(zhǔn)樣塊和曲面輪廓樣品進(jìn)行了測量,實驗結(jié)果表明:該測量系統(tǒng)具有較高的測量精度和重復(fù)性,粗糙度參數(shù)Ra的測量重復(fù)性為0.0026μm,在優(yōu)化零件檢測流程和提高整體檢測效率等方面具有一定的應(yīng)用前景。光譜共焦技術(shù)可以對材料表面和內(nèi)部進(jìn)行非接觸式的檢測和分析。順義區(qū)光譜共焦品牌企業(yè)
該技術(shù)可以采集樣品不同深度處的光譜信息進(jìn)行測量。黑龍江光譜共焦廠家現(xiàn)貨
光譜共焦傳感器是采用復(fù)色光為光源的傳感器,其測量精度能夠達(dá)到微米量級,可用于對漫反射或鏡反射被測物體的測量。此外,光譜共焦位移傳感器還可以對透明物體進(jìn)行單向厚度測量,光源和接收光鏡為同軸結(jié)構(gòu),有效地避免了光路遮擋,并使傳感器適于測量直徑4.5mm以上的孔及凹槽的內(nèi)部結(jié)構(gòu)。光譜共焦位移傳感器在測量透明物體的位移時,由于被測物體的上、下兩個表面都會反射,而傳感器接收到的位移信號是通過其上表面計算出來的,從而會引起一定的誤差。本文基于測量平行平板的位移,對其進(jìn)行了誤差分析。黑龍江光譜共焦廠家現(xiàn)貨