MEMS即微機電系統(tǒng)(MicroelectroMechanicalSystems),是MEMS傳感器在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的多學(xué)科交叉的前沿研究領(lǐng)域。經(jīng)過四十多年的發(fā)展,已成為世界矚目的重大科技領(lǐng)域之一。它涉及電子、機械、材料、物理學(xué)、化學(xué)、生物學(xué)、醫(yī)學(xué)等多種學(xué)科與技術(shù),具有廣闊的應(yīng)用前景。MEMS傳感器是采用微電子和微機械加工技術(shù)制造出來的新型傳感器。與傳統(tǒng)的傳感器相比,它具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產(chǎn)、易于集成和實現(xiàn)智能化的特點。同時,在微米量級的特征尺寸使得它可以完成某些傳統(tǒng)機械傳感器所不能實現(xiàn)的功能。觸覺傳感器的適用范圍將拓寬,在人機交互系統(tǒng)、智能機器人、移動醫(yī)療等領(lǐng)域具有巨大的應(yīng)用前景。浙江溫度傳感器
對于位移傳感器參數(shù)指標(biāo)主要有以下幾點:1、靈敏度方面的技術(shù)指標(biāo):對于一個儀器來說,一般都是靈敏度越高越好的,因為越靈敏,對周圍環(huán)境發(fā)生的加速度的變化就越容易感受到,加速度變化大,很自然地,輸出的電壓的變化相應(yīng)地也變大,這樣測量就比較容易方便,而測量出來的數(shù)據(jù)也會比較精確的。2、零點溫漂:環(huán)境溫度的變化引起的零點平衡變化。一般以溫度每變化10℃時,引起的零點平衡變化量對額定輸出的百分比來表示,即傳感器不受壓時的輸入由溫度變更引起的漂移。3、帶寬方面的技術(shù)指標(biāo):帶寬指的的是傳感器可以測量的有效的頻帶,比如,一個傳感器有上百HZ帶寬的就可以測量振動了,一個具有五十HZ帶寬的傳感器就可以有效測量傾角了。4、輸出方式的技術(shù)指標(biāo):數(shù)字輸出和模擬輸出兩種方式。數(shù)字式傳感器向儀表輸入的是數(shù)字信號,如數(shù)量、重量等;模擬式傳感器向儀表輸入的是模擬量信號,如電壓、電流等。5、量程方面的技術(shù)指標(biāo):測量不一樣的事物的運動所需要的量程都是不一樣的,要根據(jù)實際情況來衡量。6、極限過載:傳感器能承受的不使其喪失工作能力的最大負(fù)荷。意思是當(dāng)工作超過此值時,傳感器將會受到長久損壞。遼寧負(fù)荷傳感器凡是利用磁性質(zhì)、磁通量變化來制作的傳感器叫磁性傳感器。
負(fù)溫度系數(shù)熱敏電阻的工作原理負(fù)溫度系數(shù)熱敏電阻是以氧化錳、氧化鈷、氧化鎳、氧化銅和氧化鋁等金屬氧化物為主要原料,采用陶瓷工藝制造而成。這些金屬氧化物材料都具有半導(dǎo)體性質(zhì),完全類似于鍺、硅晶體材料,體內(nèi)的載流子(電子和空穴)數(shù)目少,電阻較高;溫度升高,體內(nèi)載流子數(shù)目增加,自然電阻值降低。負(fù)溫度系數(shù)熱敏電阻類型很多,使用區(qū)分低溫(-60~300℃)、中溫(300~600℃)、高溫(>600℃)三種,有靈敏度高、穩(wěn)定性好、響應(yīng)快、壽命長、價格低等優(yōu)點,廣泛應(yīng)用于需要定點測溫的溫度自動控制電路,如冰箱、空調(diào)、溫室等的溫控系統(tǒng)。熱敏電阻與簡單的放大電路結(jié)合,就可檢測千分之一度的溫度變化,所以和電子儀表組成測溫計,能完成高精度的溫度測量。普通用途熱敏電阻工作溫度為-55℃~+315℃,特殊低溫?zé)崦綦娮璧墓ぷ鳒囟鹊陀?55℃,可達-273℃。
傳感器(Sensor)是一種常見的卻又很重要的器件,它是感受規(guī)定的被測量的各種量并按一定規(guī)律將其轉(zhuǎn)換為有用信號的器件或裝置。對于傳感器來說,按照輸入的狀態(tài),輸入可以分成靜態(tài)量和動態(tài)量。我們可以根據(jù)在各個值的穩(wěn)定狀態(tài)下,輸出量和輸入量的關(guān)系得到傳感器的靜態(tài)特性。傳感器的靜態(tài)特性的主要指標(biāo)有線性度、遲滯、重復(fù)性、靈敏度和準(zhǔn)確度等。傳感器的動態(tài)特性則指的是對于輸入量隨著時間變化的響應(yīng)特性。動態(tài)特性通常采用傳遞函數(shù)等自動控制的模型來描述。通常,傳感器接收到的信號都有微弱的低頻信號,外界的干擾有的時候的幅度能夠超過被測量的信號,因此消除串入的噪聲就成為了一項關(guān)鍵的傳感器技術(shù)。汽車上常用傳感器的作用與識別。
傳感器分類按技術(shù)分類超聲波傳感器、溫度傳感器、濕度傳感器、氣體傳感器、氣體報警器、壓力傳感器、加速度傳感器、紫外線傳感器、磁敏傳感器、磁阻傳感器、圖像傳感器、電量傳感器、位移傳感器。按應(yīng)用分類壓力傳感器、溫濕度傳感器、溫度傳感器、流量傳感器、液位傳感器、超聲波傳感器、浸水傳感器、照度傳感器、差壓變送器、加速度傳感器、位移傳感器、稱重傳感器。電子式傳感器有IR紅外線近接、測距循線循跡Sensor超音波距離檢測雷射區(qū)域距離測量儀室內(nèi)定位系統(tǒng)碰撞傳感器緊急、保護帶狀開關(guān)可撓曲傳感器、壓力傳感器、溫濕度傳感器、表面溫度量測器、數(shù)位電子羅盤(方向)GPS衛(wèi)星定位模組計數(shù)&PWM產(chǎn)生器、陀螺儀與加速度計傾斜儀與定向計Piezo壓電震動傳感器、RFIDReader模組PIR物體移動檢知TSL230光To頻率霍爾效應(yīng)傳感器、氣體偵測器。電流測量,可能是TMR傳感器主要的應(yīng)用方向了。寧波拉力傳感器
磁旋轉(zhuǎn)傳感器在家用電器中也有大的應(yīng)用潛力。浙江溫度傳感器
傳感器由敏感元器件(感知元件)和轉(zhuǎn)換器件兩部分組成,有的半導(dǎo)體敏感元器件可以直接輸出電信號,本身就構(gòu)成傳感器。敏感元器件品種繁多,就其感知外界信息的原理來講,可分為①物理類,基于力、熱、光、電、磁和聲等物理效應(yīng)。②化學(xué)類,基于化學(xué)反應(yīng)的原理。③生物類,基于酶、抗體、和等分子識別功能。通常據(jù)其基本感知功能可分為熱敏元件、光敏元件、氣敏元件、力敏元件、磁敏元件、濕敏元件、聲敏元件、放射線敏感元件、色敏元件和味敏元件等幾大類(還有人曾將傳感器分46類)。下面對常用的熱敏、光敏、氣敏、力敏和磁敏傳感器及其敏感元件介紹如下。浙江溫度傳感器
杭州鑫高科技有限公司致力于儀器儀表,以科技創(chuàng)新實現(xiàn)***管理的追求。公司自創(chuàng)立以來,投身于試驗機伺服測控系統(tǒng),計量檢測儀器儀表,基坑軸力伺服監(jiān)測系統(tǒng),智能張拉壓漿設(shè)備控制系統(tǒng),是儀器儀表的主力軍。杭州鑫高科技致力于把技術(shù)上的創(chuàng)新展現(xiàn)成對用戶產(chǎn)品上的貼心,為用戶帶來良好體驗。杭州鑫高科技始終關(guān)注自身,在風(fēng)云變化的時代,對自身的建設(shè)毫不懈怠,高度的專注與執(zhí)著使杭州鑫高科技在行業(yè)的從容而自信。