氦檢儀(HeliumMassSpectrometerLeakDetector)為氣體工業(yè)名詞術語,用氦氣或者氫氣作示漏氣體,以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低,分子量及粘滯系數(shù)小,因而易通過漏孔并易擴散;另外,氦系惰性氣體,不腐蝕設備,故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調(diào)整到只對氦氣反應的工作狀態(tài))的被檢容器上,若容器有漏孔,則分析儀即有所反應,從而可知漏孔所在及漏氣量大小。專業(yè)用于電廠檢漏的氦檢儀。關鍵部件均為進口,性能穩(wěn)定可靠。不只靈敏度高,而且操作方便,能夠雙燈絲自動切換、自動調(diào)零、自動校準和自動量程切換。氦質(zhì)譜檢漏儀應按照說明書的要求定期進行保養(yǎng)。常州客制化氦質(zhì)譜檢漏儀生產(chǎn)廠家
氦質(zhì)譜檢漏儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體,以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低,分子量及粘滯系數(shù)小,因而易通過漏孔并易擴散;另外,氦系惰性氣體,不腐蝕設備,故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調(diào)整到只對氦氣反應的工作狀態(tài))的被檢容器上,若容器有漏孔,則分析儀即有所反應,從而可知漏孔所在及漏氣量大小。氦質(zhì)譜檢漏儀可以對具有內(nèi)腔的微電子或半導體器件封裝的氣密性進行細檢漏。此檢測方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣,氦氣具有質(zhì)量數(shù)小重量輕并且有滲透能力強的優(yōu)點,達到了細檢漏的目的。溫州小型氦質(zhì)譜檢漏儀廠家在結(jié)構(gòu)組成上,大部分氦檢儀就是由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)以及電氣系統(tǒng)3部分組成的;
氦檢儀漏率的校準方法:一、環(huán)境條件,校準環(huán)境溫度為(23±5)℃,校準過程中室溫變化不超過±1℃,環(huán)境相對濕度不大于80%。校準設備周圍應無明顯的溫差、氣流和強電磁場等外部干擾。環(huán)境溫度較好控制在23℃附近,因為標準漏孔的出廠標稱漏率對應的環(huán)境溫度一般為23℃。二、標準器的選擇,標準器采用滲氦型標準漏孔,漏率標稱值在(10-6~10-10)Pa·m3/s,不確定度不大于10%。精密玻璃溫度計,測量范圍(0~50)℃,不確定度U=0.04℃,k=2。
氦檢儀在使用過程中,較常見的故障就是燈絲脆斷,氦檢儀燈絲多采用鎢錸合金絲制作。氦檢儀燈絲壽命如何延長?造成氦檢儀燈絲脆斷的原因:1.真空度低;2.燈絲電流過大;3.對燈絲有害的氣體氣壓太高(氧化性氣體、水蒸氣、氫氣)。那么,在使用中盡量避免燈絲在上述惡劣環(huán)境下長時間開啟,或者說盡量提高燈絲的上述使用條件就可以有效延長氦檢儀的燈絲壽命。如:1.使用中盡量將預置真空開關空擋;2.避免電離室泄入有害氣體(氧化性氣體、水蒸氣、氫氣)。噴氦法、吸氦法是氦檢儀在電阻爐檢漏中較常用的兩種方法。
氦檢儀作為一種磁偏轉(zhuǎn)型質(zhì)譜分析儀器,結(jié)構(gòu)上分單級磁偏轉(zhuǎn)型和雙級串聯(lián)偏轉(zhuǎn)性,而在結(jié)構(gòu)組成上,大部分氦檢儀就是由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)以及電氣系統(tǒng)3部分組成的:質(zhì)譜室是這種真空氦檢儀器的心臟,又包括離子源、分析器、收集器、前級放大器、冷陰極電離真空計等組成部分;真空系統(tǒng)用于為質(zhì)譜室提供真空工作條件,保證氦離子的傳輸率;電氣系統(tǒng)的重點功能就是為質(zhì)譜室供電與測量。另外在有些條件下,氦質(zhì)譜檢漏可能還會需要輔助真空系統(tǒng),完成一些預抽、保證氦檢儀真空度等工作。氦檢儀普遍應用于壓力容器、航空航天、原子能、發(fā)電廠、制冷工業(yè)等領域。溫州小型氦質(zhì)譜檢漏儀廠家
噴氦法、吸氦法是氦質(zhì)譜檢漏儀在電阻爐檢漏中常用的兩種方法。常州客制化氦質(zhì)譜檢漏儀生產(chǎn)廠家
氦檢儀靈敏度高、操作便捷、低維護,使您放心得到準確可靠的測試結(jié)果。產(chǎn)品普遍應用于科研院所、航空航天、動力鋰電池,閥門、精密儀表、機械加工、電力、半導體、光伏、真空鍍膜、真空熱處理等。氦檢儀關鍵部件均為進口,性能穩(wěn)定可靠。不只靈敏度高,而且操作方便,能夠雙燈絲自動切換、自動調(diào)零、自動校準和自動量程切換。氦檢儀是對比性測試儀器,其工作原理是對進入質(zhì)譜室的氦氣分子電離,轟擊靶心產(chǎn)生電離,并放大,通過電流大小的判斷氦氣分子的多少!進入質(zhì)譜室氦氣分子的比例(分流比),還有電氣參數(shù)的不同,電流相同,漏率可能不同;或漏率不同,電流相同;所有氦檢儀本身并不知道放大后的電流對應的漏率是多少,需要參照物,這個參照物就是標準漏孔。常州客制化氦質(zhì)譜檢漏儀生產(chǎn)廠家