蘇州客制化氦質(zhì)譜檢漏儀技術(shù)指導(dǎo)

氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種，一種為常規(guī)檢漏，另一種為逆擴散檢漏。逆擴散檢漏是把被檢件接在分子泵出氣口一端，漏入的氦氣由分子泵出氣口逆著泵的排氣方向進入安裝在泵的進氣口端的質(zhì)譜管內(nèi)而被檢測。這一檢漏方式是基于分子泵對不同質(zhì)量的氣體具有不同壓縮比(氣體在分子泵出氣口壓強與進氣口壓強之比)即利用不同氣體的逆擴散程度不同程度而設(shè)計的。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)被檢工件的不同它所使用的檢漏方法也是不同的。對產(chǎn)品檢漏前首先要對工件的結(jié)構(gòu)和制造工業(yè)有所了解，了解有哪些漏源，才能快，準(zhǔn)，狠的完成檢漏。氦檢儀為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏，提供了有利條件。蘇州客制化氦質(zhì)譜檢漏儀技術(shù)指導(dǎo)

氦檢儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過漏孔并易擴散;另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設(shè)備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調(diào)整到只對氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài))的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。影響氦檢儀靈敏度的因素包括實際檢測條件、輔助真空系統(tǒng)以及操作人員的技術(shù)等多方面。當(dāng)發(fā)現(xiàn)氦檢儀的靈敏度降低，而氦檢儀的工作真空度狀態(tài)良好，放大器的各級工作電壓也符合標(biāo)準(zhǔn)要求，就基本上可以確定氦檢儀靈敏度降低的問題來源于離子源的質(zhì)譜分析管受到了嚴(yán)重污染。揚州進口氦質(zhì)譜檢漏儀氦檢儀適用于工業(yè)、分析研究、鍍膜市場等。

使用氦檢儀需注意的幾個問題：(1)檢漏方法的選擇:目前,電廠采用氦檢儀檢漏通常采用負(fù)壓采樣法,該方法操作簡便,但儀器的清理時間較長。根據(jù)被檢系統(tǒng)的不同也可以采用真空法檢漏,即將氦檢儀的測試口直接接至真空系統(tǒng)的抽氣管道上,通過節(jié)流閥調(diào)節(jié)氣流以衰減氦檢儀與真空系統(tǒng)間的壓差,使氦檢儀正常工作,該方法檢漏效率稍高,但安裝較為復(fù)雜。(2)儀器靈敏度:靈敏度的高低直接影響檢漏的效果。氦檢儀經(jīng)過一段時間的使用后,靈敏度會有所下降,嚴(yán)重時對純氦無反應(yīng)。因此,平時應(yīng)該經(jīng)常保持儀器,特別是質(zhì)譜室的清潔,定期打開氣鎮(zhèn)閥運行一段時間,并給旋片真空泵換油,這樣可以減少儀器對氦的記憶效應(yīng)。另外還要定期用標(biāo)準(zhǔn)漏孔對儀器的靈敏度進行校驗,使氦檢儀始終保持較佳的工作狀態(tài)。

氦檢儀作為一種磁偏轉(zhuǎn)型質(zhì)譜分析儀器，結(jié)構(gòu)上分單級磁偏轉(zhuǎn)型和雙級串聯(lián)偏轉(zhuǎn)性，而在結(jié)構(gòu)組成上，大部分氦檢儀就是由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)以及電氣系統(tǒng)3部分組成的：質(zhì)譜室是這種真空氦檢儀器的心臟，又包括離子源、分析器、收集器、前級放大器、冷陰極電離真空計等組成部分；真空系統(tǒng)用于為質(zhì)譜室提供真空工作條件，保證氦離子的傳輸率；電氣系統(tǒng)的重點功能就是為質(zhì)譜室供電與測量。另外在有些條件下，氦質(zhì)譜檢漏可能還會需要輔助真空系統(tǒng)，完成一些預(yù)抽、保證氦檢儀真空度等工作。氦質(zhì)譜檢漏儀適用于超高真空系統(tǒng)、零部件及元器件的檢漏。

氦檢儀現(xiàn)已普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備檢漏。半導(dǎo)體設(shè)備及材料需要檢漏原因：1、半導(dǎo)體設(shè)備要求高真空，比如磁控濺射臺、電子束蒸發(fā)臺、ICP、PECVD等設(shè)備。出現(xiàn)泄漏就會導(dǎo)致高真空達不到或需要大量的時間，耗時耗力；2、在高真空環(huán)境潔凈度高、水蒸氣很少。一旦出現(xiàn)泄漏周圍環(huán)境中的灰塵和懸浮顆?；驂m埃就會對晶元造成污染，對半導(dǎo)體的特性改變并破壞其性能，因此在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中必須進行氦質(zhì)譜檢漏；3、一些半導(dǎo)體設(shè)備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體，經(jīng)過氦質(zhì)譜檢漏后，在低漏率真空條件下，這些氣體不易外泄，設(shè)備能及時抽走未反應(yīng)氣體和氣態(tài)反應(yīng)產(chǎn)物，保障工作人員安全和大氣環(huán)境。4、芯片封裝，一旦出現(xiàn)泄漏，芯片就會失效。綜上所述，氦檢儀在半導(dǎo)體行業(yè)起著至關(guān)重要的作用。氦檢儀自動化程度高；南京智能氦質(zhì)譜檢漏儀價格

氦檢儀的實際應(yīng)用方案很多，常用的三種檢漏方法有負(fù)壓法（抽真空），正壓法（吸入法）和背壓法（壓氦法）。蘇州客制化氦質(zhì)譜檢漏儀技術(shù)指導(dǎo)

氦檢儀常用的幾種檢漏方法有：氦質(zhì)譜檢漏方法較多，根據(jù)被檢工件的測量目的可分為兩種類型，一種是漏點型，另一種是漏率型；在實際檢驗過程中，應(yīng)根據(jù)檢驗?zāi)康倪x擇較合理的方法，并根據(jù)被檢件的具體情況靈活運用各種檢漏方法。測定漏點型氦質(zhì)譜檢漏方法。確定漏點型既是確定要檢部件的具體漏點或漏孔的位置,在大部件或大型部件中較為常見,如衛(wèi)星、導(dǎo)彈彈體、彈頭、輸氣管道、氣罐、油罐、鍋爐等。噴氦法氦質(zhì)譜檢漏方法。噴氦法又叫噴吹法，較常用、較方便的檢漏方法。一般用于檢測體積相對較小的部件,將被檢器件和儀器連通,在抽好真空后,在被檢器件可能存在漏孔的地方(如密封接頭,焊縫等)用噴頭噴氦。蘇州客制化氦質(zhì)譜檢漏儀技術(shù)指導(dǎo)