選擇氦質譜檢漏儀時主要考慮以下問題:1、儀器的功能能滿足檢漏的要求。如有些儀器沒有逆流檢漏功能,就不適合檢漏;有些儀器沒有報廢漏率的設置功能,不宜作為批量產品篩選檢漏用;流水線上要求一定的檢漏速度,此時應選擇有雙工位的檢漏儀。2、儀器的靈敏度能滿足檢漏的要求。國內外生產的不同類型的氦質譜檢漏儀的靈敏度是不一樣的,如果檢漏要求的靈敏度較高,就要認真選擇。3、被檢件如果害怕油的污染,就應選擇無油真空系統(tǒng)的檢漏儀。4、被檢件容積如果較大,必須選用抽泵抽速大的檢漏儀,否則就要外加預抽泵。為防止油污、粉塵和雜物進入氦質譜檢漏儀,應在氦質譜檢漏儀下方設置過濾器。上海模塊式氦質譜檢漏儀哪家好
氦檢儀是什么?氦檢儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器,它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點。是真空檢漏技術中靈敏度較高,用得較普遍的氦檢儀器。氦檢儀是磁偏轉型的質譜分析計。單級磁偏轉型儀器普遍地用于各種真空系統(tǒng)及零部件的檢漏。雙級串聯(lián)磁偏轉型儀器與單級磁偏轉型儀器相比較,本底噪聲明顯減小。適用于超高真空系統(tǒng)、零部件及元器件的檢漏。氦檢儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。浙江自動氦質譜檢漏儀原理氦檢儀不只靈敏度高,而且操作方便;
氦質譜檢漏儀的優(yōu)點體現(xiàn)在以下幾個方面:(1)便攜式:很多小型便攜式檢漏儀不但靈敏度高,而且便于攜帶,給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。(2)高壓強下檢漏:檢漏口壓強可高達數(shù)百帕左右,對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。(3)自動化程度高:自動校準氦峰,自動調節(jié)零點,量程自動轉換,自動數(shù)據(jù)處理,可外接打印機。整機由微機控制,菜單選擇功能,一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。(4)全無油的干式檢漏:有些國家生產的檢漏儀,可采用干式泵,達到無油蒸氣的效果,為無油系統(tǒng)及芯片等半導體器件的檢漏,提供了有利條件。
氦檢儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體,以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦氣的本底噪聲低,分子量及粘滯系數(shù)小,因而易通過漏孔并易擴散;另外,氦系惰性氣體,不腐蝕設備,故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調整到只對氦氣反應的工作狀態(tài))的被檢容器上,若容器有漏孔,則分析儀即有所反應,從而可知漏孔所在及漏氣量大小。影響氦檢儀靈敏度的因素包括實際檢測條件、輔助真空系統(tǒng)以及操作人員的技術等多方面。當發(fā)現(xiàn)氦檢儀的靈敏度降低,而氦檢儀的工作真空度狀態(tài)良好,放大器的各級工作電壓也符合標準要求,就基本上可以確定氦檢儀靈敏度降低的問題來源于離子源的質譜分析管受到了嚴重污染。氦質譜檢漏儀是根據(jù)質譜學原理,用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。
氦質譜檢漏儀檢漏時,產生測量誤差的主要來源主要包括幾個方面:一、氦質譜檢漏儀在校準靈敏度時,標準漏孔所在的位置與被檢漏孔的位置不同,即,標準漏孔與被檢漏孔至檢漏儀的距離相差太大,漏入氦氣在途中損失不相等,這會導致經二者進入檢漏儀的氦氣量可比性差。二、進入被檢漏孔和標準漏孔的氦氣壓力或分壓比不相等,或者不能準確地給出氦氣壓力和分壓比的數(shù)值而導致無法換算,這時也會產生漏率測量誤差。三、所用標準漏孔的標稱漏率有誤差。四、氦質譜檢漏儀輸出指示與漏率的線性關系差。氦檢儀內部配有一臺旋片式真空泵,用以維持儀器內部的高真空。江西氦質譜檢漏儀供應商
氦檢儀怎么選擇適合的檢漏方法?上海模塊式氦質譜檢漏儀哪家好
氦檢儀分子泵出現(xiàn)故障如何快速定位維修?1.TMP(分子泵工作頻率)在儀器的顯示界面提示為0,即為分子泵不工作??赡苁乔凹墘毫^高(分子泵啟動壓力為200Pa)導致分子泵不能正常啟動。2.檢查真空表是不是出現(xiàn)了問題,分子泵出口是否打開,機械泵油是否太臟,機械泵是否旋轉,系統(tǒng)是否漏氣。分子泵的葉片或轉子也可能損壞。您可以使用自己的工具移動刀片來判斷它是否可以旋轉。分子泵加速指示燈不亮。電路板上的保險絲被燒毀了。更換保險絲或檢查是否有短路。3.分子泵故障燈亮。檢查電路板設置開關是否在R位置,此時應在N位置。檢查風扇是否停止。如果風扇正常,可能是分子泵電源故障。請聯(lián)系制造商。4.氦泄漏檢測儀的燈絲不能正常啟動。在確認機械泵和分子泵處于正常工作狀態(tài)后,如果燈絲仍不能發(fā)射離子流,則需要更換離子源。如果燈絲指示燈閃爍,請檢查航空插座和離子源端子是否開啟。如果開路,請更換燈絲。如果沒有,請檢查端子是否與其他連接器連接,以消除短路。上海模塊式氦質譜檢漏儀哪家好
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