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氦檢儀具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點。靈敏度、反應(yīng)時間、清零時間、工作真空度、極限真空度及儀器入口處抽速是評價氦檢儀的主要性能指標(biāo)。檢測氣體使用氦氣的主要原因如下:(1)對人體和自然環(huán)境沒有毒害;(2)不能燃燒,作業(yè)安全;(3)惰性氣體,和被檢測對象不會發(fā)生化學(xué)反應(yīng);(4)分子直徑和質(zhì)量小,容易穿過微小縫隙,便于檢漏;(5)通常環(huán)境下保持氣體狀態(tài),不會堵住微漏孔;(6)真空腔體自身放出的氣體中幾乎不包含氦氣;(7)氦氣在空氣中的存在量只為5ppm,容易定點查清漏氣位置。由于氦氣比空氣輕很多,向真空腔體噴氦氣檢漏時要從上往下依次操作,否則不利于判定漏點所在。當(dāng)腔體構(gòu)造復(fù)雜,或漏率極小時,可針對重點部位用塑料袋套住,然后向塑料袋內(nèi)部充入氦氣,實現(xiàn)對特定重點部位的檢漏。氦檢儀是真空檢漏技術(shù)中靈敏度較高,用得較普遍的氦檢儀器。常州國產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀原理
氦檢儀噪聲是哪兒來的?高靈敏度氦檢儀的噪聲來源大體上可以分為兩種,一個是離子流接收放大機輸出電路的噪聲,另一個就是本底噪聲。實際上,目前通過對電子線路的改進(jìn),儀器中離子流接收放大及輸出電路引起的噪聲已經(jīng)降到很低的一個程度,因此已經(jīng)不是限制設(shè)備靈敏度的主要因素,如果特殊情況下仍然是限制靈敏度的主要因素的話,可以通過放大信號的辦法來提高信噪比來改善靈敏度。而本底噪聲則是由本底峰的不穩(wěn)定造成,與本底的大小以及電磁場參數(shù)的穩(wěn)定度有關(guān),具體的包括:1、離子源發(fā)射電子流的不穩(wěn)定性,加速電壓、分析器電磁參數(shù)的不穩(wěn)定性;2、氦氣在真空系統(tǒng)內(nèi)的吸附和再放出(如真空油脂、人造橡膠、有機絕緣材料都可以吸附和再放出氦氣),電離真空計特別是磁放電真空計對氦氣的記憶效應(yīng)(被污染的情況下更為嚴(yán)重);3、抽氣系統(tǒng)中氦氣的反擴散與對氦氣抽速的不穩(wěn)定性;4、氦檢儀本身漏氣和氦氣的滲透;5、殘余氣體分子對氦離子的散射等等。這些因素對本底噪聲及靈敏度的影響都很大。重慶氦質(zhì)譜檢漏儀推薦廠家氦質(zhì)譜檢漏儀定期保養(yǎng)該怎么做?
氦質(zhì)譜檢漏儀是180°磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計,其基本原理是根據(jù)離子在磁場中運動時,不同質(zhì)荷比的離子具有不同的偏轉(zhuǎn)半徑來實現(xiàn)不同種類離子的分離。檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)及電氣控制部分組成。檢漏工作時先打開抽空閥前級泵對檢漏接口抽真空,當(dāng)真空度P1優(yōu)于200Pa時,打開入口閥1、2,關(guān)閉抽空閥,氦氣將逆著分子泵的抽氣方向進(jìn)入質(zhì)譜室中被檢測出來,此時檢漏儀的可檢漏率為10-10Pa·m3/s。前級泵繼續(xù)對檢漏接口抽真空,當(dāng)P1降至20Pa時,入口閥2關(guān)閉,入口閥3打開,分子泵的高抽速用于抽空試件,檢漏儀的反應(yīng)時間縮短,此時檢漏儀的可檢漏率為10-12Pa·m3/s。
氦檢儀分子泵出現(xiàn)故障如何快速定位維修?1.TMP(分子泵工作頻率)在儀器的顯示界面提示為0,即為分子泵不工作。可能是前級壓力過高(分子泵啟動壓力為200Pa)導(dǎo)致分子泵不能正常啟動。2.檢查真空表是不是出現(xiàn)了問題,分子泵出口是否打開,機械泵油是否太臟,機械泵是否旋轉(zhuǎn),系統(tǒng)是否漏氣。分子泵的葉片或轉(zhuǎn)子也可能損壞。您可以使用自己的工具移動刀片來判斷它是否可以旋轉(zhuǎn)。分子泵加速指示燈不亮。電路板上的保險絲被燒毀了。更換保險絲或檢查是否有短路。3.分子泵故障燈亮。檢查電路板設(shè)置開關(guān)是否在R位置,此時應(yīng)在N位置。檢查風(fēng)扇是否停止。如果風(fēng)扇正常,可能是分子泵電源故障。請聯(lián)系制造商。4.氦泄漏檢測儀的燈絲不能正常啟動。在確認(rèn)機械泵和分子泵處于正常工作狀態(tài)后,如果燈絲仍不能發(fā)射離子流,則需要更換離子源。如果燈絲指示燈閃爍,請檢查航空插座和離子源端子是否開啟。如果開路,請更換燈絲。如果沒有,請檢查端子是否與其他連接器連接,以消除短路。噴氦法、吸氦法是氦檢儀在電阻爐檢漏中較常用的兩種方法。
氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理,用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子,在室內(nèi)來回地振蕩,并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進(jìn)人室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子,這些氦離子在加速電場作用下進(jìn)人磁場,由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn),形成圓弧形軌道,改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過磁場和接收縫到達(dá)接收極而被檢測。噴氦法、吸氦法是氦質(zhì)譜檢漏儀在電阻爐檢漏中常用的兩種方法。氦檢儀整機由微機控制,菜單選擇功能,一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。進(jìn)口氦質(zhì)譜檢漏儀大概多少錢
氦質(zhì)譜檢漏儀的噪聲主要來源于電路噪聲和本底噪聲。常州國產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀原理
氦質(zhì)譜檢漏儀的保養(yǎng)注意事項:1.如果儀器不是每天使用,建議每周開機檢查一下,使儀器高真空系統(tǒng)保持真空,縮短儀器使用時的開機時間2.拆卸儀器部件(如離子源)后,安裝時要避免安裝部位出現(xiàn)泄漏,可用儀器進(jìn)行自身檢漏。3.適時對儀器可能出現(xiàn)的泄漏處(如放氣閥等)進(jìn)行自身檢漏,發(fā)現(xiàn)漏點后要及時取下清洗或固緊,以免在檢漏時干擾檢漏工作。4.氦質(zhì)譜檢漏儀維修每隔一段時間保養(yǎng)油泵。(散熱口灰塵處理,和泵油的檢查更換)。5.禁止任何外來物掉在或灑在氦質(zhì)譜檢漏儀上,尤其是進(jìn)氣口中,由于氦質(zhì)譜檢漏儀為高精度精密儀器,其存放和使用環(huán)境要保持干凈、衛(wèi)生。常州國產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀原理
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