山東電子廠房環(huán)境檢測認真負責(zé)

B.3.3.3.2離散粒子計數(shù)器（DPC）測量使用離散粒子計數(shù)器測量大粒子的方法與B.1中的空氣懸浮粒子計數(shù)方法基本相同，不同點只有一處，由于只需要大粒子的計數(shù)數(shù)據(jù)，因此對1μm以下粒子的儀器靈敏度無要求。注意離散粒子計數(shù)器的樣本需是直接采自采樣點的空氣；計數(shù)器采樣管的長度不得超過1m；離散粒子計數(shù)器的采樣流量至少0.00047m/s。單向流潔凈室中，計數(shù)器采樣口的尺寸應(yīng)適應(yīng)等動力采樣。在非單向流區(qū)域，離散粒子計數(shù)器的采樣口應(yīng)朝上，采樣口直徑應(yīng)不小于30mm。設(shè)定計數(shù)器的粒徑范圍，使其只測量大粒子。為了保證所測粒子的濃度不大于出現(xiàn)重疊誤差的濃度，應(yīng)保留一個低于5μm（見GB/T25915.1-2010中表1）的粒徑檔。將這個小于5μm粒徑檔的濃度數(shù)據(jù)加到大粒徑數(shù)據(jù)中，濃度之和不應(yīng)超過所用粒子計數(shù)器比較大濃度建議值的50%。引進先進的檢測技術(shù)，提升潔凈室檢測的效率和準確性。山東電子廠房環(huán)境檢測認真負責(zé)

B.2.1.2計數(shù)效率測量U描述符所用體系的計數(shù)效率應(yīng)落在圖B.1的陰影之內(nèi)[1]。該陰影區(qū)為性能達標區(qū)，其中心對應(yīng)的選定粒徑超微粒子的計數(shù)效率為50%，粒徑示為U。超微粒徑U的允差為土10%，見圖B.1中的1.1U和0.9U。這一計數(shù)效率允差的規(guī)定，是基于對擴散元件透過率的計算，該擴散元件對粒徑大于選定超微粒徑10%的粒子的透過率不低于40%，對粒徑小于選定超微粒徑10%的粒子的透過率不高于60%。若離散粒子計數(shù)器（DPC）或凝聚核計數(shù)器（CNC）的計數(shù)效率曲線落在圖B.1陰影區(qū)之外的右側(cè)，則不能用其測量或驗證U描述符。若曲線落在陰影區(qū)之外的左側(cè)，則可使用B.2.1.3介紹的粒徑限制器來降低計數(shù)效率。此時，經(jīng)改進的離散粒子計數(shù)器或凝聚核計數(shù)器的計數(shù)效率就成為原計數(shù)器的計數(shù)效率與粒徑限制器透過率的乘積。河北生物安全柜檢測值得推薦對潔凈室的送風(fēng)必須是有很高潔凈度的空氣。

五、潔凈室檢測的應(yīng)用1.醫(yī)藥行業(yè)：醫(yī)藥制造需要在無菌環(huán)境下完成，因此需要設(shè)立無菌車間（即“百級”車間）。該車間內(nèi)所有通風(fēng)系統(tǒng)均需符合GMP規(guī)范，并經(jīng)常性地受到監(jiān)管機構(gòu)審核。2.電子行業(yè)：由于微型芯片制造需要極為干燥無塵且高溫高壓條件下完成，在微電子制造廠中必須建立超純水站（UPW）以及超純氮氣站（NG）等設(shè)施來滿足生產(chǎn)需要。3.航天航空行業(yè)：航天器發(fā)射前需要進入“百萬級”或“十萬級”無菌車間進行組裝與測試。這些車間具有完成**終裝配所需條件（如真空環(huán)境），并能夠有效防止外界雜質(zhì)進入艙體內(nèi)部。

潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度，使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造，從而我們稱之為潔凈室。按照國際慣例，無塵凈化等級主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標準的顆粒數(shù)量來規(guī)定的。也就是說，所謂的無塵，并不是100%沒有一點灰塵，而是控制在極少量的單位。當然，這個標準中符合粉塵標準的顆粒物，相對于我們常見的粉塵來說是非常小的，但是對于光學(xué)結(jié)構(gòu)來說，哪怕是一點點的粉塵也會產(chǎn)生非常大的負面影響定期對潔凈室管理人員進行培訓(xùn)和考核，提升其專業(yè)素養(yǎng)。

②沉降菌的測試對單向流如5級凈化房間內(nèi)及層流工作臺測試應(yīng)在凈化空調(diào)系統(tǒng)正常運行不少于10分鐘后開始；對非單向流如7級、8級以上的凈化房間測試應(yīng)在凈化空調(diào)系統(tǒng)正常運行不少于30分鐘開始。a.采樣方法：將已制備好的培養(yǎng)皿放置在預(yù)先確定的取樣點，打開培養(yǎng)皿蓋使培養(yǎng)基表面暴露0.5小時再將培養(yǎng)皿蓋上蓋后倒置。b.培養(yǎng)全部采樣結(jié)束，將培養(yǎng)皿倒置于恒溫培養(yǎng)箱中培養(yǎng)。在30-35℃培養(yǎng)時間不少于48小時。每批培養(yǎng)基應(yīng)有對照試驗檢查培養(yǎng)基本身是否污染可每批選定3只培養(yǎng)皿作對照培養(yǎng)。c.菌落計數(shù)用肉眼直接計數(shù)然后用5-10倍放大鏡檢查有否遺漏。若培養(yǎng)皿上有2個或2個以上菌落重疊可分辨時仍以2個或2個以上的菌落計數(shù)。通過潔凈室檢測，可以有效降低產(chǎn)品生產(chǎn)過程中的污染風(fēng)險。河北生物安全柜檢測值得推薦

合格的第三方潔凈室檢測機構(gòu)普遍要求要有具體的潔凈相關(guān)檢測。山東電子廠房環(huán)境檢測認真負責(zé)

B.1.2.2空氣懸浮粒子計數(shù)規(guī)程將離散粒子計數(shù)器的采樣探頭放在預(yù)定位置，設(shè)定計數(shù)器的流量，選擇符合GB/T25915.1-2010規(guī)定的粒徑閾值。在單向流區(qū)域，所選擇的采樣探頭應(yīng)接近等動力采樣[1]，進入采樣探頭的風(fēng)速與被采空氣的風(fēng)速偏差不應(yīng)超過20%。若無法做到這一點，將采樣口正對氣流的主方向。在風(fēng)速不受控或不可預(yù)測(例如非單向流)的采樣點，采樣口應(yīng)豎直向上。采樣口至粒子計數(shù)器傳感器的連接管應(yīng)盡量短。采樣粒子大于或等于1μm時，連接管的長度和直徑不應(yīng)超過制造商的建議值。采樣過程中，因擴散造成的小粒子損失、因沉降與撞擊造成的大粒子損失所產(chǎn)生的采樣誤差不應(yīng)大于5%。山東電子廠房環(huán)境檢測認真負責(zé)