近年來,國內(nèi)外一些潔凈廠房中一級用電負(fù)荷因雷擊及電源瞬時變動而引起停電事故頻繁發(fā)生,造成了較大的經(jīng)濟(jì)損失,其原因不是主電源斷電,而是控制電源失電造成保護(hù)系統(tǒng)失靈而造成事故。電氣照明在潔凈廠房設(shè)計中也很重要。從工藝性質(zhì)來看,潔凈廠房內(nèi)一般從事精密視覺工作,需要高照度高質(zhì)量照明。為了獲得良好和穩(wěn)定的照明條件,除了解決好照明形式、光源、照度等一系列問題外,極重要的是保證供電電源的可靠性和穩(wěn)定性。........空氣過濾器安裝方式應(yīng)嚴(yán)密、簡便、可靠,易于檢漏和更換。北京半導(dǎo)體凈化車間潔凈室檢測服務(wù)至上
1)單層潔凈室,在單向流潔凈生產(chǎn)區(qū)的上部、下部設(shè)有上下技術(shù)夾層,上技術(shù)夾層內(nèi)設(shè)置空氣過濾裝置、風(fēng)管和公用動力管線;下技術(shù)夾層為回風(fēng)道。這種形式適用于規(guī)模較小的潔凈室。2)多層潔凈室,在單向流潔凈生產(chǎn)區(qū)吊頂格柵以上設(shè)有送風(fēng)靜壓箱或循環(huán)空氣處理設(shè)備或空氣過濾單元機(jī)組等的上技術(shù)層;在單向流潔凈生產(chǎn)區(qū)的活動地板以下設(shè)有回風(fēng)靜壓箱或輔助生產(chǎn)設(shè)備或公用動力設(shè)備、管線等的下技術(shù)層。有的電子工業(yè)潔凈廠房的下技術(shù)層根據(jù)需要可為一層或二層。電子廠房環(huán)境潔凈室檢測范圍工業(yè)潔凈室--以無生命的微粒作為控制對象。
從收集的國內(nèi)外潔凈室噪聲標(biāo)準(zhǔn)來看,有以下幾個特點:潔凈室的噪聲標(biāo)準(zhǔn)一般均嚴(yán)于保護(hù)健康的標(biāo)準(zhǔn)。在潔凈室的環(huán)境下,噪聲條件主要在于保障正常操作運(yùn)行,滿足必要的談話聯(lián)系,提供舒適的工作環(huán)境。絕大多數(shù)標(biāo)準(zhǔn)給出的允許值在65dB(A)~70dB(A)范圍,醫(yī)療行業(yè)則更低?,F(xiàn)行的大多數(shù)標(biāo)準(zhǔn)均以A聲壓級作為評價指標(biāo),也有少數(shù)標(biāo)準(zhǔn)對各頻帶聲壓級提出了限制。少數(shù)標(biāo)準(zhǔn)按不同的空氣潔凈度等級分別給出了噪聲容許值,而大多數(shù)標(biāo)準(zhǔn)對不同的空氣潔凈度等級潔凈室提出了一個統(tǒng)一的容許值。
4.4.3~4.4.6控制設(shè)備噪聲首先要從聲源上考慮,設(shè)計時應(yīng)選用低噪聲設(shè)備。在某些情況下,由于技術(shù)或經(jīng)濟(jì)上的原因而難以做到時,則應(yīng)從噪聲傳播途徑上采取降噪措施,如把高噪聲工藝設(shè)備遷出潔凈室或隔離布置于隔聲間內(nèi)。有些由于與生產(chǎn)聯(lián)系密切,必須置于潔凈區(qū)內(nèi)的高噪聲設(shè)備,亦可采用隔聲罩隔絕噪聲。國內(nèi)現(xiàn)有潔凈廠房中,不少潔凈室將機(jī)械泵一類高噪聲設(shè)備置于潔凈室外套間或技術(shù)夾道內(nèi),潔凈室內(nèi)噪聲有明顯降低。潔凈室的靜態(tài)噪聲主要來源于凈化空調(diào)系統(tǒng)和局部凈化設(shè)備運(yùn)行噪聲,靜態(tài)噪聲的大小與潔凈室氣流流型、換氣次數(shù)等因素有關(guān)。但關(guān)鍵在于凈化空調(diào)系統(tǒng)的布置及合理的降噪措施,不合理的設(shè)計方案必然導(dǎo)致較高的靜態(tài)噪聲。凈化空調(diào)系統(tǒng)的風(fēng)機(jī)宜采取變頻措施。
3.1.1電子工業(yè)潔凈廠房生產(chǎn)環(huán)境的設(shè)計應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝的要求控制微粒和對產(chǎn)品質(zhì)量有害的雜質(zhì),同時還應(yīng)提出溫度、濕度、壓差、噪聲、振動、靜電防護(hù)、照度等參數(shù)要求。3.1.2生產(chǎn)環(huán)境設(shè)計應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品品種及生產(chǎn)工藝要求,對電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程需用的包括化學(xué)品、常用氣體和特種氣體、純水等各種介質(zhì)的質(zhì)量進(jìn)行控制。3.1.3潔凈室(區(qū))內(nèi)產(chǎn)品生產(chǎn)過程所使用的工具、器具和物料儲運(yùn)裝置,其制作的材質(zhì)和清潔方式應(yīng)按生產(chǎn)工藝要求選擇。。。潔凈室(區(qū))與周圍的空間必須維持一定的壓差,并應(yīng)按工藝要求決定維持正壓差或負(fù)壓差。電子廠房環(huán)境潔凈室檢測范圍
單向流潔凈室氣流的特征是流線平行,以單一方向流動。北京半導(dǎo)體凈化車間潔凈室檢測服務(wù)至上
1近年來,在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)(前工序)用潔凈廠房、TFT-LCD生產(chǎn)用潔凈廠房的建造、設(shè)計中,基本上采用多層的布置方式,在潔凈生產(chǎn)層吊頂格柵以上的上技術(shù)夾層常常作為送風(fēng)靜壓箱,潔凈空氣通過FFU向潔凈生產(chǎn)層送風(fēng),實際上,潔凈生產(chǎn)層與上技術(shù)夾層是相通的;而潔凈生產(chǎn)層的下部是活動地板及其支撐件和鋼筋混凝土多孔板,在活動地板等以下是作為回風(fēng)靜壓箱的下技術(shù)夾層,在下技術(shù)夾層常常還設(shè)置一些公用動力設(shè)備、輔助生產(chǎn)設(shè)備和公用動力管線等,潔凈生產(chǎn)層的回風(fēng)通過活動地板、多孔板回至下技術(shù)夾層,實際上,下技術(shù)夾層與潔凈生產(chǎn)層是相通的,所以可以認(rèn)為:電子工廠潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間包括活動地板以下的下技術(shù)夾層,潔凈生產(chǎn)層和吊頂以上的上技術(shù)夾層。北京半導(dǎo)體凈化車間潔凈室檢測服務(wù)至上